在精密光學平臺上對反射光的處理要在光路中檢測對象的反射角度,檢測不同光波波段光路中的反射率,用電學透鏡圖片來處理多光線路徑的不同光路,建立角度矩陣、波長矩陣、光源矩陣等,確定光路系統中不同光路的光學模型。雖然利用光路光學儀器可以對光路進行單個或組合的光路模擬,...
光學平臺中的重復定位精度同精密位移臺中概念不同,光學平臺的重復定位精度,是指在空載和在一定條件下加上負載并去除負載,光學平臺穩定后的高度差。這個指標同負載的大小、加載的位置、加載時的速度、加速度、卸載時的速度、加速度等等指標有很大的關系,對于充氣式平臺,還有一...
光學平臺的隔振性能取決于臺面本身和支架的隔振性能,總體上說,光學平臺的隔振,通過三個方面來實現:隔振支架:通常來說,氣浮式隔振支架性能優于阻尼式隔振支架,部分性能優異的隔振支架可以將外界振動(常見10~200Hz)減少一至兩個數量級臺面物理性能:要求臺面有一定...
固有頻率(Natural Frequency):平臺振動的周期或頻率與初始(或外界)條件無關,而只與系統的固有特性有關,稱為光學平臺的固有頻率或者固有周期。通常來說,固有頻率越低,系統的隔振性能就越強。外界振動同物體的固有頻率相同時,通常會引起共振,往往不是好...
優良的精密光學平臺不僅需要高精度的機器設備來加工,更需要有高精度檢測手段與檢測儀器來保證,也只有優良的光學平臺才能保證高精度的科學實驗、研究的正常進行。1、試驗目的:檢測氣墊隔振垂直方向和水平固有頻率、振幅、振動速度、振動效果。2、試驗方式:采用三點均布試驗。...
氣墊式隔振支架是利用氣墊的原理,將光學平臺架在氣墊上以達到隔振的效果。特點是:隔振效果好。但是造價較高,使用和維護繁瑣。針對維護繁瑣的情況又出現了自平衡(主動隔振)系統。原理是利用各種傳感器提供的平臺平衡狀況,通過控制系統調節各個隔振支撐的氣壓來達到平衡的目的...
精密光學平臺的桌腿中裝有氣動單元,它與平臺的材料及設計相結合可以減少環境中的物體(例如人員走動、建筑物內其它設備以及行駛的汽車等)造成的大幅度低頻振動。這些外部力會使平臺發生剛體運動,這種運動本質上是2維的并且對大多數光學實驗不會造成影響。在千赫茲頻段的高頻振...
手動探針臺應用領域:Failure analysis集成電路失效分析;Wafer level reliability晶元可靠性認證;Device characterization元器件特性量測;Process modeling塑性過程測試(材料特性分析);IC...
光學平板通常作為分光鏡或窗口等透過型元件或被用作全反射鏡或光學測量中的基準平面。其中大部分產品有各種指標的組合:形狀,面精度,多種厚度和平行度。臺面采用陣列的M6標準螺紋孔,便于固定各種調整架、支撐架、光具座、位移臺等,是一種便利且性價比高的平臺。產品特點:光...
表面粗糙度(Surface Roughness):有部分廠家,在光學平臺的指標中,標稱表面粗糙度的概念,往往存在一些誤導。國家標準GB/T3505-2000中規定了評定表面粗糙度的各種參數,其中常用的是輪廓算術平均偏差Ra。輪廓算術平均偏差Ra是指在取樣長度內...
氣墊式隔振支架是利用氣墊的原理,將光學平臺架在氣墊上以達到隔振的效果。特點是:隔振效果好。但是造價較高,使用和維護繁瑣。針對維護繁瑣的情況又出現了自平衡(主動隔振)系統。原理是利用各種傳感器提供的平臺平衡狀況,通過控制系統調節各個隔振支撐的氣壓來達到平衡的目的...
固有頻率(Natural Frequency):平臺振動的周期或頻率與初始(或外界)條件無關,而只與系統的固有特性有關,稱為光學平臺的固有頻率或者固有周期。通常來說,固有頻率越低,系統的隔振性能就越強。外界振動同物體的固有頻率相同時,通常會引起共振,往往不是好...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可...
全自動探針臺相比手動探針臺和自動探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運單元(MHU)和模式識別(自動對準)。負責晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試。可以24小時連續工作,通常用于芯片量產或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格...
主要應用于半導體行業、光電行業、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區分有:手動,半自動,全自動從功能上來區分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的...
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒...
探針臺由哪些部分組成?樣品臺(載物臺):是定位晶圓或芯片的部件設備。通常會根據晶圓的尺寸來設計大小,并配套了相應的精密移動定位功能。光學元件:這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物,以便精確地將探針尖銳端對準并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用...
探針臺工作臺由兩個步進電機分別驅動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運動,導向部分采用精密直線滾動導軌。由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,...
探針臺的作用是什么?探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導體測試系統配合來測試芯片/半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續性或隔離檢查,也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試...
固有頻率,顧名思義,為系統本身發生的振動的頻率。數值上來看,固有頻率等于共振頻率。考慮物塊與彈性懸臂梁組成的系統,固有頻率取決于兩個因素——物塊質量,以及充當彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數。質量減小或彈性系數減小可增大固有頻率;質量增大或懸臂梁彈性系數增大可降低固...
滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養:由于運動部分全部采用滾動功能部件,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特點。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,無有害氣體的環境中,滾珠絲杠、直線導軌應定期加精密儀表油,但不可過多,值得指...
重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電機的步進精度及使用壽命,對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,整個過程操作要十分地細心,不可使定子表面出現凹凸不平的現象。另外也可用沒有腐蝕性,不損壞定...
晶圓是制作硅半導體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導體工業對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準確,能夠捕捉有效缺陷,...
光學平臺或面包板很重要的特性為其共振頻率。共振頻率和振幅是負相關的,因此共振頻率應盡可能地增大,從而將振動強度至小化。平臺和面包板會在一個特定的頻率范圍內發生振動。為了改善性能,每種尺寸的平臺和面包板的阻尼效果都需要進行優化。平臺阻尼需要進行各種測試,對其厚度...
平面電機x-y步進工作臺:平面電機由定子和動子組成,它和傳統的步進電機相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎平臺,動子和定子間有一層氣墊,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結構的x-y工作臺,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長。而...
光學平臺的磨削是有極限的,這個加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個平面度,同大理石平臺的平面度相差甚遠。大理石平臺根據平面度指標一般分為:000級(平面度≤3μm/m2)、00級(平面度...
精密光學平臺的功能介紹?小編先給大家舉個例子,在好萊塢電影里面你可以看到攝影機、巨型鏡頭、cgi仿真動畫、3d渲染、vr虛擬現實等,當前基于dem的光路模擬技術已經取得了很大的發展。在電影光學設計中,對復雜線路的測量、仿真,isi等檢測系統以及光電模塊的檢測,...
光學平臺的磨削是有極限的,這個加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個平面度,同大理石平臺的平面度相差甚遠。大理石平臺根據平面度指標一般分為:000級(平面度≤3μm/m2)、00級(平面度...
光學平臺的很大相對位移值,主要同平臺的結構和材料剛性相關,在同樣測試條件,且光學平臺的結構和材料相近的情況下,很大相對位移的值相差不大。勤確漢光的光學平臺臺面,采用三層夾心結構,上臺面厚度4~6mm,采用鐵磁不銹鋼材質,此時測試的很大相對位移,在10-7mm量...
振幅在數值上等于位移的大小。對于光學平臺系統,臺面受外力作用時,離開平衡位置的距離,同光學平臺系統的結構、受力大小、受力的位置、瞬時加速度、速度、持續時間、臺面的剛性、隔振系統的阻尼比等諸多因素有著非常復雜的非線性函數關系,如果標稱振幅的具體指標,需要注明上述...