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MEMS傳感器的主要應用領域有哪些？ 消費電子產(chǎn)品在MEMSDrive出現(xiàn)之前，手機攝像頭主要由音圈馬達移動鏡頭組的方式實現(xiàn)防抖(簡稱鏡頭防抖技術)，受到很大的局限。而另一個在市場上較好的防抖技術：多軸防抖，則是利用移動圖像傳感器(ImageSens...

加速度傳感器是很早廣泛應用的MEMS之一。MEMS，作為一個機械結(jié)構(gòu)為主的技術，可以通過設計使一個部件(圖中橙色部件)相對底座substrate產(chǎn)生位移（這也是絕大部分MEMS的工作原理），這個部件稱為質(zhì)量塊（proofmass）。質(zhì)量塊通過錨anchor，鉸...

超薄石英玻璃雙面套刻加工技術解析：在厚度100μm以上的超薄石英玻璃基板上進行雙面套刻加工，是實現(xiàn)高集成度微流控芯片與光學器件的關鍵技術。公司采用激光微加工與紫外光刻結(jié)合工藝，首先通過CO?激光切割實現(xiàn)玻璃基板的高精度成型（邊緣誤差＜±5μm），然后利用雙面光...

MEMS四種刻蝕工藝的不同需求： 絕緣層上的硅蝕刻即SOI器件刻蝕：先進的微機電組件包含精細的可移動性零組件，例如應用于加速計、陀螺儀、偏斜透鏡(tiltingmirrors).共振器(resonators)、閥門、泵、及渦輪葉片等組件的懸臂梁。這些...

在腦科學與精細醫(yī)療領域，公司開發(fā)的MEA柔性電極采用超薄MEMS工藝，兼具物相容性與高導電性，可定制化設計“觸凸”電極陣列，***降低植入式腦機接口的手術創(chuàng)傷，同時提升神經(jīng)信號采集的信噪比。針對藥物遞送與檢測需求，通過干濕結(jié)合刻蝕技術制備的微針器件，既可實現(xiàn)組...

微流控芯片的自動化檢測與統(tǒng)計分析：公司建立了基于機器視覺的微流控芯片自動化檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)尺寸測量、缺陷識別與性能統(tǒng)計的全流程智能化。檢測設備配備6MPUSB3.0攝像頭與遠心光學鏡頭，配合步進電機平移臺（精度±1μm），可對芯片流道、微孔、電極等結(jié)構(gòu)進行掃描。...

超薄石英玻璃雙面套刻加工技術解析：在厚度100μm以上的超薄石英玻璃基板上進行雙面套刻加工，是實現(xiàn)高集成度微流控芯片與光學器件的關鍵技術。公司采用激光微加工與紫外光刻結(jié)合工藝，首先通過CO?激光切割實現(xiàn)玻璃基板的高精度成型（邊緣誤差＜±5μm），然后利用雙面光...

MEMS制作工藝-太赫茲傳感器： 超材料(Metamaterial)是一種由周期性亞波長金屬諧振的單元陣列組成的人工復合型電磁材料,通過合理的設計單元結(jié)構(gòu)可實現(xiàn)特殊的電磁特性,主要包括隱身、完美吸和負折射等特性。目前,隨著太赫茲技術的快速發(fā)展,太赫茲...

基于MEMS技術的SAW器件： 聲表面波(SAW)傳感器是近年來發(fā)展起來的一種新型微聲傳感器，是種用聲表面波器件作為傳感元件，將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來，并轉(zhuǎn)換成電信號輸出的傳感器。聲表面波傳感器能夠精確測量物...

芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA產(chǎn)品 單分子POCT產(chǎn)品-數(shù)字化ELISA芯片，幫您數(shù)字化高靈敏檢測，且微量樣本多重指標檢 數(shù)字化高靈敏ELISA芯片，低成本、便捷、快速進行微量樣本的檢測；我公司推出的數(shù)字化高靈敏ELISA芯片，可進行低成本、便...

芯棄疾JX-8B數(shù)字化高靈敏ELISA芯片檢測產(chǎn)品；具有以下特點：多重、超敏微量、極速靈活、開放； 我們?nèi)绾巫龅剑繂畏肿蛹夹g的小型化、POCT化？二維有序的陣列化：全球唯二技術路線；我們使用simoa同樣的單分散單分子陣列檢測方案，創(chuàng)新性芯片改進，使...

超聲影像芯片的全集成MEMS設計與性能突破：針對超聲PZT換能器及CMUT/PMUT新型傳感器的收發(fā)需求，公司開發(fā)了**SoC超聲收發(fā)芯片，采用0.18mm高壓SOI工藝實現(xiàn)發(fā)射與開關復用，大幅節(jié)省芯片面積的同時提升性能。在發(fā)射端，通過MEMS高壓驅(qū)動電路設計...

MEMS發(fā)展的目標在于，通過微型化、集成化來探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng)，開辟一個新技術領域和產(chǎn)業(yè)。MEMS可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務，也可嵌入大尺寸系統(tǒng)中，把自動化、智能化和可靠性水平提高到一個新的水平。21世紀MEMS將逐步從實驗室走向?qū)嵱没?..

超多重檢測的臨床數(shù)據(jù)價值：標記物組合的精細篩選，超多重檢測芯片通過21項指標的同步檢測，為疾病診斷提供了多維數(shù)據(jù)支持。在肺*普查中，同時分析29種標記物的表達模式，可構(gòu)建特異性>80%的三聯(lián)檢測模型（如CEA+SA+CA242），較單一指標檢測準確率提升40%...

MEMS制作工藝-聲表面波器件的原理：聲表面波器件是在壓電基片上制作兩個聲一電換能器一叉指換能器。所謂叉指換能器就是在壓電基片表面上形成形狀像兩只手的手指交叉狀的金屬圖案，它的作用是實現(xiàn)聲一電換能。聲表面波SAW器件的工作原理是，基片左端的換能器(輸入換能器)...

芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA產(chǎn)品 每個生物實驗室都用得起的單分子免疫檢測 由于活性珠子的百分比接近50%（酶與微球的比例大于~1：1.5)，然而，使用圖像分析軟件區(qū)分“開啟”和“關閉”孔變得具有挑戰(zhàn)性，我們達到了數(shù)字動態(tài)范圍的實際上限。例如，...

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料： 碳納米管（CNT）由于其高的本征載流子遷移率，導電性和機械靈活性而成為用于柔性電子學的有前途的材料，既作為場效應晶體管（FET）中的溝道材料又作為透明電極。管狀碳基納米結(jié)構(gòu)可以被設想成石墨烯卷成一個無縫的圓柱體，...

加速度傳感器是很早廣泛應用的MEMS之一。MEMS，作為一個機械結(jié)構(gòu)為主的技術，可以通過設計使一個部件(圖中橙色部件)相對底座substrate產(chǎn)生位移（這也是絕大部分MEMS的工作原理），這個部件稱為質(zhì)量塊（proofmass）。質(zhì)量塊通過錨anchor，鉸...

熱敏柔性電極的PI三明治結(jié)構(gòu)加工技術：熱敏柔性電極采用PI（聚酰亞胺）三明治結(jié)構(gòu)，底層PI作為柔性基板，中間層為金屬電極，上層PI實現(xiàn)絕緣保護，開窗漏出Pad引線位置，兼具柔韌性與電學性能。加工過程中，首先在25μm厚度的PI基板上通過濺射沉積5μm厚度的銅/...

芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA產(chǎn)品 每個生物實驗室都用得起的單分子免疫檢測 數(shù)字ELISA測量蛋白質(zhì)濃度遠低于傳統(tǒng)ELISA的能力源于兩種效應：1）SiMoA對酶標記的高度敏感性；以及2）通過數(shù)字化蛋白質(zhì)檢測可以實現(xiàn)的低背景信號。任何免疫測定的...

多指標檢測POCT芯片：急診場景的即時檢測先鋒，多指標檢測POCT芯片以卡片式緊湊設計與自動化操作，實現(xiàn)15-20分鐘快速出結(jié)果，兼具高靈敏度與便捷性，成為院前急救、急診場景的**工具。其沿用單分子捕獲技術，靈敏度達pg/ml級別，可準確檢測超敏肌鈣蛋白T（h...

國內(nèi)政策大力推動MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展：國家政策大力支持傳感器發(fā)展，國內(nèi)MEMS企業(yè)擁有好的發(fā)展環(huán)境。我國高度重視MEMS和傳感器技術發(fā)展，在2017年工信部出臺的《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動指南（2017-2019）》中，明確指出要著力突破硅基MEMS加工技術、MEM...

在MEMS微納加工領域，公司通過“材料創(chuàng)新+工藝突破”雙輪驅(qū)動，為醫(yī)療健康、生物傳感等場景提供高精度、定制化的微納器件解決方案。公司依托逾700平米的6英寸MEMS產(chǎn)線，可加工玻璃、硅片、PDMS、硬質(zhì)塑料等多種基材的微納結(jié)構(gòu)，覆蓋從納米級（0.5-5μm）到...

MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點： 1.由于聲表面波器件是在單晶材料上用半導體平面工藝制作的，所以它具有很好的一致性和重復性，易于大量生產(chǎn)，而且當使用某些單晶材料或復合材料時，聲表面波器件具有極高的溫度穩(wěn)定性。 2.聲表面波器件的抗輻射能力...

國內(nèi)政策大力推動MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展：國家政策大力支持傳感器發(fā)展，國內(nèi)MEMS企業(yè)擁有好的發(fā)展環(huán)境。我國高度重視MEMS和傳感器技術發(fā)展，在2017年工信部出臺的《智能傳感器產(chǎn)業(yè)三年行動指南（2017-2019）》中，明確指出要著力突破硅基MEMS加工技術、MEM...

新材料或?qū)⒊蔀閲a(chǎn)MEMS發(fā)展的新機會。截止到目前，硅基MEMS發(fā)展已經(jīng)有40多年的發(fā)展歷程，如何提高產(chǎn)品性能、降低成本是全球企業(yè)都在思考的問題，而基于新材料的MEMS器件則成為擺在眼前的大奶酪，PZT、氮化鋁、氧化釩、鍺等新材料MEMS器件的研究正在進行中，...

微流控芯片的自動化檢測與統(tǒng)計分析：公司建立了基于機器視覺的微流控芯片自動化檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)尺寸測量、缺陷識別與性能統(tǒng)計的全流程智能化。檢測設備配備6MPUSB3.0攝像頭與遠心光學鏡頭，配合步進電機平移臺（精度±1μm），可對芯片流道、微孔、電極等結(jié)構(gòu)進行掃描。...

芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA產(chǎn)品 每個生物實驗室都用得起的單分子免疫檢測 單分子酶檢測到的比較低酶分子數(shù)假設蛋白質(zhì)檢測分析的更終靈敏度為背景信號可能由非特異性相互作用產(chǎn)生。為了評估內(nèi)在敏感性，我們通過將400,000個帶有生物素的珠子與不同濃...

玻璃與硅片微流道精密加工：深圳市勃望初芯半導體科技有限公司依托深硅反應離子刻蝕（DRIE）技術，實現(xiàn)玻璃與硅片基材的高精度微流道加工。針對玻璃芯片，通過光刻掩膜與氫氟酸濕法刻蝕工藝，可制備深寬比達10:1、表面粗糙度低于50nm的微通道網(wǎng)絡，適用于高通量單細胞...

創(chuàng)新性的解決方案：芯棄疾JX-8B數(shù)字ELISA應用范圍：各種高靈敏多重免疫檢測，可替代各種ELISA試劑盒，及其他免疫檢測產(chǎn)品。循環(huán)血液轉(zhuǎn)化為~2×10?15M（或2飛摩爾，fM)；早期HIV傳染血清中每mL含有10-3000個病毒顆粒，相當于p...