MEMS多重轉印工藝與硬質塑料芯片快速成型:針對硬質塑料芯片的快速開發需求,公司**MEMS多重轉印工藝。通過紫外光固化膠將硅母模上的微結構(精度±1μm)轉印至PMMA、COC等工程塑料,10個工作日內即可完成從設計到成品的全流程交付。以器官芯片為例,該工藝...
數字ELISA芯片的標準化生產與質量控制,依托自研的單分子PDMS芯片產線,數字ELISA芯片實現了從材料制備到成品質檢的全流程標準化。硅模制備精度控制在±1μm,確保磁珠捕獲結構的一致性;PDMS預聚體真空脫氣處理消除氣泡干擾,鍵合強度>3MPa保障反應體系...
太赫茲柔性電極的雙面結構設計與加工:太赫茲柔性電極以PI為基底,采用雙面結構設計,上層實現太赫茲波發射/接收,下層集成信號處理電路,解決了傳統剛性太赫茲器件的便攜性難題。加工工藝包括:首先在雙面拋光的PI基板上,利用電子束光刻制備亞微米級金屬天線陣列(如蝴蝶結...
MEMS制作工藝-聲表面波器件的特點: 1.由于聲表面波器件是在單晶材料上用半導體平面工藝制作的,所以它具有很好的一致性和重復性,易于大量生產,而且當使用某些單晶材料或復合材料時,聲表面波器件具有極高的溫度穩定性。 2.聲表面波器件的抗輻射能力...
MEMS四種刻蝕工藝的不同需求: 絕緣層上的硅蝕刻即SOI器件刻蝕:先進的微機電組件包含精細的可移動性零組件,例如應用于加速計、陀螺儀、偏斜透鏡(tiltingmirrors).共振器(resonators)、閥門、泵、及渦輪葉片等組件的懸臂梁。這些...
MEMS制作工藝-太赫茲超材料器件應用前景: 在通信系統、雷達屏蔽、空間勘測等領域都有著重要的應用前景,近年來受到學術界的關注。基于微米納米技術設計的周期微納超材料能夠在太赫茲波段表現出優異的敏感特性,特別是可與石墨烯二維材料集成設計,獲得更優的頻譜...
微納結構的多圖拼接測量技術:針對大尺寸微納結構的完整表征,公司開發了多圖拼接測量技術,結合SEM與圖像算法實現亞微米級精度的全景成像。首先通過自動平移臺對樣品進行網格掃描,獲取多幅局部SEM圖像(分辨率5nm,視野范圍10-100μm);然后利用特征點匹配算法...
MEMS組合慣性傳感器不是一種新的MEMS傳感器類型,而是指加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等的組合,利用各種慣性傳感器的特性,立體運動的檢測。組合慣性傳感器的一個被廣為熟悉的應用領域就是慣性導航,比如飛機/導彈飛行控制、姿態控制、偏航阻尼等控制應用、以及中...
神經電子芯片的MEMS微納加工技術與臨床應用:神經電子芯片作為植入式醫療設備的**組件,對微型化、生物相容性及功能集成度提出了極高要求。公司依托0.35/0.18μm高壓工藝,成功開發多通道神經電刺激SoC芯片,可實現無線充電與通訊功能,將控制信號轉化為精細電...
MEMS特點: 1.微型化:MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。 2.以硅為主要材料,機械電器性能優良:硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當,密度類似鋁,熱傳導率接近鉬和鎢。 3.批量生產:用硅微加工工藝在一片...
MEMS制作工藝-聲表面波器件SAW: 聲表面波是一種沿物體表面傳播的彈性波,它能夠在兼作傳聲介質和電聲換能材料的壓電基底材料表面進行傳播。它是聲學和電子學相結合的一門邊緣學科。由于聲表面波的傳播速度比電磁波慢十萬倍,而且在它的傳播路徑上容易取樣和進...
芯棄疾JX-8B數字化高靈敏ELISA芯片檢測產品為什么能做到? 先進新型的單分子檢測方法的普及版;每個生物/醫學實驗室都用得起的單分子免疫檢測;使用現有平臺就能做的單分子免疫檢測且具有以下特點:多重、超敏微量、極速靈活、開放; 我們的芯棄疾....
神經退行性疾病的超早期診斷突破:單分子芯片通過檢測血清中**豐度生物標志物(如NfL濃度<1pg/mL、pTau181低至),可在阿爾茨海默癥(AD)臨床癥狀出現前16年發現病理異常。臨床研究顯示,AD患者血清NfL水平較健康對照組升高3-5倍(p...
加速度傳感器是很早廣泛應用的MEMS之一。MEMS,作為一個機械結構為主的技術,可以通過設計使一個部件(圖中橙色部件)相對底座substrate產生位移(這也是絕大部分MEMS的工作原理),這個部件稱為質量塊(proofmass)。質量塊通過錨anchor,鉸...
創新性的解決方案:芯棄疾JX-8B數字ELISA 我公司推出的數字化高靈敏ELISA芯片檢測產品應用場景:適合生物實驗室、醫學實驗室、科研市場、產品預研、產品開發、ELISA檢測、動物病情檢測等各種應用場景應用范圍:各種高靈敏多重免疫檢測,可替代各種...
加速度傳感器是很早廣泛應用的MEMS之一。MEMS,作為一個機械結構為主的技術,可以通過設計使一個部件(圖中橙色部件)相對底座substrate產生位移(這也是絕大部分MEMS的工作原理),這個部件稱為質量塊(proofmass)。質量塊通過錨anchor,鉸...
創新性的解決方案:芯棄疾JX-8B數字ELISA應用范圍:各種高靈敏多重免疫檢測,可替代各種ELISA試劑盒,及其他免疫檢測產品。循環血液轉化為~2×10?15M(或2飛摩爾,fM);早期HIV傳染血清中每mL含有10-3000個病毒顆粒,相當于p...
MEA柔性電極:MEMS工藝開發的MEA(微電極陣列)柔性電極,是腦機接口(BCI)與類***電生理研究的**技術載體。該電極采用超薄柔性基底材料(如聚酰亞胺或PDMS),厚度可精細控制在10-50微米范圍內,表面通過光刻與金屬沉積工藝集成高密度“觸凸”式微電...
抗體篩選芯片的正交驗證能力,抗體篩選芯片支持同一反應體系下不同樣本的交叉反應測試,為抗體的正交驗證提供了高效平臺。在篩選IL-6抗體對時,可同時測試8種捕獲抗體與8種標記抗體的組合,通過陰性質控品與陽性質控品的比值分析,快速排除非特異性配對,篩選出親和力常數(...
微機電系統是指集微型傳感器、執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統,是一個智能系統。主要由傳感器、作動器和微能源三大部分組成。微機電系統具有以下幾個基本特點,微型化、智能化、多功能、高集成度。微機電系統。它是通過系統的微型化、集...
MEA柔性電極:MEMS工藝開發的MEA(微電極陣列)柔性電極,是腦機接口(BCI)與類***電生理研究的**技術載體。該電極采用超薄柔性基底材料(如聚酰亞胺或PDMS),厚度可精細控制在10-50微米范圍內,表面通過光刻與金屬沉積工藝集成高密度“觸凸”式微電...
MEMS組合慣性傳感器不是一種新的MEMS傳感器類型,而是指加速度傳感器、陀螺儀、磁傳感器等的組合,利用各種慣性傳感器的特性,立體運動的檢測。組合慣性傳感器的一個被廣為熟悉的應用領域就是慣性導航,比如飛機/導彈飛行控制、姿態控制、偏航阻尼等控制應用、以及中...
高壓SOI工藝在MEMS芯片中的應用創新:高壓SOI(絕緣體上硅)工藝是制備高耐壓、低功耗MEMS芯片的**技術,公司在0.18μm節點實現了發射與開關電路的集成創新。通過SOI襯底的埋氧層(厚度1μm)隔離高壓器件與低壓控制電路,耐壓能力達200V以上,漏電...
MEMS多重轉印工藝與硬質塑料芯片快速成型:針對硬質塑料芯片的快速開發需求,公司**MEMS多重轉印工藝。通過紫外光固化膠將硅母模上的微結構(精度±1μm)轉印至PMMA、COC等工程塑料,10個工作日內即可完成從設計到成品的全流程交付。以器官芯片為例,該工藝...
通過MEMS技術制作的生物傳感器,圍繞細胞分選檢測、生物分子檢測、人工聽覺微系統等方向,突破了高通量細胞圖形化、片上細胞聚焦分選、耳蝸內聲電混合刺激、高時空分辨率相位差分檢測等一批具有自主知識產權的關鍵技術,取得了一批原創性成果,研制了具有世界很高水平的高通量...
PDMS金屬流道芯片的復合加工工藝:PDMS金屬流道芯片通過在柔性PDMS流道內集成金屬鍍層,實現流體控制與電信號檢測的一體化設計。加工流程包括:首先利用軟光刻技術在硅模上制備50-200μm寬度的流道結構,澆筑PDMS預聚體并固化成型;然后通過氧等離子體處理...
MEMS微納加工的產業化能力與技術儲備:公司在MEMS微納加工領域構建了完整的技術體系與產業化能力,涵蓋從設計仿真(使用COMSOL、Lumerical等軟件)到工藝開發(10+種主流加工工藝)、批量生產(萬級潔凈車間,月產能50,000片)的全鏈條服務。技術...
在腦科學與精細醫療領域,公司開發的MEA柔性電極采用超薄MEMS工藝,兼具物相容性與高導電性,可定制化設計“觸凸”電極陣列,***降低植入式腦機接口的手術創傷,同時提升神經信號采集的信噪比。針對藥物遞送與檢測需求,通過干濕結合刻蝕技術制備的微針器件,既可實現組...
MEA柔性電極的MEMS制造工藝:公司開發的腦機接口用MEA(微電極陣列)柔性電極,采用聚酰亞胺或PDMS作為柔性基底,通過光刻、金屬蒸鍍與電化學沉積工藝,構建高密度“觸凸”式電極陣列。電極點直徑可縮至20微米,間距50微米,表面修飾PEDOT:PSS導電聚合...
芯棄疾JX-8B數字化高靈敏ELISA芯片檢測產品應用場景:適合生物實驗室、醫學實驗室、科研市場、產品預研、產品開發、ELISA檢測、動物疫病檢測等各種應用場景; 生物實驗室、醫學實驗室常見問題:您是否遇到珍稀樣本檢測時,樣本量不夠,不舍得測試的問題...