熱穩定性的關鍵之處在于各軸方向上都具有對稱、各向均勻的鋼制結構。鋼制部件在熱交換過程中的延伸性和收縮性是相似的,可以在溫度變化過程中保持良好的平整度。鋼制的蜂窩芯結構從頂板延伸到底板,中間并無塑料或鋁質泄露管理結構,因此不會降低平臺整體的剛度或是引入更高的熱膨...
探針臺是檢測芯片的重要設備,在芯片的設計驗證階段,主要工作是檢測芯片設計的功能是否能夠達到芯片的技術指標,在檢測過程中會對芯片樣品逐一檢查,只有通過設計驗證的產品型號才會量產。晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或專門的測試代工廠進行,主要用到的設備為測試機和探針臺。...
晶圓探針器是用于測試集成電路的機器(自動測試設備)。對于電氣測試,一組稱為探針卡的微觀觸點或探針被固定在適當的位置,同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態。當一個管芯(或管芯陣列)經過電氣測試后,探針臺將晶片移動到下一個管芯(或管芯),下一個測試就可...
有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在只對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。平面電機x-y步進工作臺的維護與保養:平面電機由定...
高性能密閉微暗室有效屏蔽:腔體采用導電的處理工藝,確保了各零件之間的導通狀態從而達到全屏蔽的效果,降低系統噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了合理的測試環境;同時也注意零件配合以及裝配的同時,保證內部的密封性。對于一些特殊的器件/...
對于平臺上的光學元件來說,平面度引起的高度差,通常可以忽略不計,若確有必要考慮高度差,則完全可以通過勤確精密調整的位移臺來實現。綜上所述,光學平臺的平面度,同光學平臺的隔振性能不相關,只能做為光學平臺的一個輔助指標,供參考。振動物體離開平衡位置的距離叫振動的振...
手動探針臺的使用方式:待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,以防動作過大誤傷芯片,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋...
手動探針臺:普遍應用于,科研單位研發測試、院校教學操作、企業實驗室芯片失效分析等領域。一般使用于研發測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導體參數測試儀、示波器、網分等測試源表,量測半導體器件IV CV脈沖/動態...
取樣長度若取0.25mm時,精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra>0.02~0.1μm;當取樣長度取0.8mm時,普通精加工表面Ra>0.1~2μm。根據上述說明,取樣長度為0.8mm,表面粗糙度為0.5~0.8μm時,表面加工精度屬于一般水平。勤確的光學平臺...
半導體設備的技術壁壘高。隨著半導體行業的迅速發展,半導體產品的加工面積成倍縮小,復雜程度與日俱增,生產半導體產品所需的制造設備需要綜合運用光學、物理、化學等科學技術,具有技術壁壘高、制造難度大及研發投入高等特點。半導體器件生產中,從半導體單晶片到制成成品,須經...
頂燈安裝方法考慮變化問題,套車燈照明總成就可以,一定要記得記線線盒一定要選擇穩固的,紅色也就是有固定螺絲接口的,如果安裝不到位,可能導致手伸進去受力不均勻,安裝不上的情況,尤其小長輩們看到十寸偏光鏡沒有固定的兩端螺絲,一定不要選擇帶了偏光鏡固定螺絲的。小編的意...
探針測試臺x-y工作臺的分類:縱觀國內外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結構的不同可為兩大類,即:...
光學平臺的磨削是有極限的,這個加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個平面度,同大理石平臺的平面度相差甚遠。大理石平臺根據平面度指標一般分為:000級(平面度≤3μm/m2)、00級(平面度...
固有頻率(Natural Frequency):平臺振動的周期或頻率與初始(或外界)條件無關,而只與系統的固有特性有關,稱為光學平臺的固有頻率或者固有周期。通常來說,固有頻率越低,系統的隔振性能就越強。外界振動同物體的固有頻率相同時,通常會引起共振,往往不是好...
以往如果需要測試電子元器件或系統的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態,測試人員一般會采用表筆去點測。隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件...
光學平臺又稱光學桌面,供水平、穩定的臺面,一般平臺都需要進行隔振等措施,保證其不受外界因素干擾,使科學實驗正常進行。目前來說,有主動與被動兩大類。而被動又有橡膠與氣浮兩大類。固體阻尼隔震光學平臺和自動充氣平衡隔震光學平臺。光學平臺追求水平,首先加工的時候整個臺...
光學平臺精密隔振系統設計需要考慮的環境微振動干擾是復雜的,包括:大型建筑物本身的擺動、地面或樓層間傳來的振動、電動儀器和設備的振動、各類機械振動、聲音引起的振動、外界街道交通引起的振動,甚至包括人員走動所引起的振動等。精密的光學實驗依賴于可靠的定位穩定性,工作...
定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工...
高精度探針臺:目前世界出貨量的型號吸收了很新的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關技術,這種全新的高精度系統為下一代小型化的設計及多種測試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對正系統(光學目標對準)OTS通過對照相機相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非...
頂燈安裝方法考慮變化問題,套車燈照明總成就可以,一定要記得記線線盒一定要選擇穩固的,紅色也就是有固定螺絲接口的,如果安裝不到位,可能導致手伸進去受力不均勻,安裝不上的情況,尤其小長輩們看到十寸偏光鏡沒有固定的兩端螺絲,一定不要選擇帶了偏光鏡固定螺絲的。小編的意...
晶圓是制作硅半導體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導體工業對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準確,能夠捕捉有效缺陷,...
夾心光學平板主要是由帶磁不銹鋼(不銹鐵)及填充材料組成(目前使用Z多的填充材料是蜂窩巢結構材料及型鋼框架結構)。特點是:固有頻率低,吸振性能強。光學平臺支架按其隔振形式主要分為:機械式隔振支架與氣墊式隔振支架。機械式隔振支架主要是利用各種隔振材料(如:減震彈簧...
x-y工作臺的維護與保養:無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很中心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的,所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。現在...
探針臺的分類:探針臺可以按照使用類型與功能來劃分,也可以按照操作方式來劃分成:手動探針臺、半自動探針臺、全自動探針臺。手動探針臺:手動探針臺系統顧名思義是手動控制的,這意味著晶圓載物臺和卡盤、壓盤、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動移動的。因此一般是在沒...
振動恢復時間是某一點上開始振動到恢復到初始狀態所需要的很短時間。若要縮短光學平臺的振動恢復時間,通常有兩個辦法:增大彈簧的彈性系數k。對于阻尼隔振平臺,可以換用材質較硬的阻尼材料;對于充氣平臺,可以適度增加空氣壓力;控制光學平臺臺面的質量。在不影響剛度的前提下...
定子在加工過程中生產廠家根據不同的設計要求如分辨力等,用機加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,線槽間的距離即稱為平面電機的齒距,而定子則按不同的細分控制方式,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實現步進運動。對定子的損傷將直接影響工...
對于平臺上的光學元件來說,平面度引起的高度差,通常可以忽略不計,若確有必要考慮高度差,則完全可以通過勤確精密調整的位移臺來實現。綜上所述,光學平臺的平面度,同光學平臺的隔振性能不相關,只能做為光學平臺的一個輔助指標,供參考。振動物體離開平衡位置的距離叫振動的振...
隨著電子技術的不斷發展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應運而生,利用高精度微探針將被測原件的內部訊號引導出來,便于其電性測試設備(不屬于本機器)對此測試、分析。探針臺執行機構由探針座和探針桿兩部分組成...
光學平臺測量方法:使用脈沖錘對平臺或面包板的表面施加一個已測量的外力,并將一個傳感器貼合在平臺或面包板表面對合成振動進行測量。探測器發出的信號通過分析儀進行讀取,并用于產生頻率響應譜(即柔量曲線)。在光學平臺的研發過程中,對平臺表面上很多點的柔量曲線進行記錄;...
在精密光學平臺上對反射光的處理要在光路中檢測對象的反射角度,檢測不同光波波段光路中的反射率,用電學透鏡圖片來處理多光線路徑的不同光路,建立角度矩陣、波長矩陣、光源矩陣等,確定光路系統中不同光路的光學模型。雖然利用光路光學儀器可以對光路進行單個或組合的光路模擬,...