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發(fā)布時(shí)間:2025-06-23
對(duì)于納 / 微機(jī)械系統(tǒng)的研究與制造,德國(guó) Polos 光刻機(jī)系列展現(xiàn)出強(qiáng)大實(shí)力。無掩模激光光刻技術(shù)賦予它高度的靈活性,科研人員能夠快速將創(chuàng)新設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)化為實(shí)際器件。在制造微型齒輪、納米級(jí)懸臂梁等微機(jī)械結(jié)構(gòu)時(shí),Polos 光刻機(jī)可precise控制激光,確保每個(gè)部件的尺寸和形狀都符合設(shè)計(jì)要求。 借助該光刻機(jī),科研團(tuán)隊(duì)成功研發(fā)出新型微機(jī)械傳感器,其靈敏度和響應(yīng)速度遠(yuǎn)超傳統(tǒng)產(chǎn)品。并且,由于系統(tǒng)占用空間小,即使是小型實(shí)驗(yàn)室也能輕松引入。Polos 光刻機(jī)以其低成本、高效率的特性,成為納 / 微機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域的制造先鋒,助力科研人員不斷探索微納世界的奧秘。柔性電子:曲面 OLED 驅(qū)動(dòng)電路漏電降 70%,彎曲半徑達(dá) 1mm,適配可穿戴設(shè)備。江蘇桌面無掩模光刻機(jī)光源波長(zhǎng)405微米
在organ芯片研究中,模擬人體organ微環(huán)境需要微米級(jí)精度的三維結(jié)構(gòu)。德國(guó) Polos 光刻機(jī)憑借無掩模激光光刻技術(shù),幫助科研團(tuán)隊(duì)在 PDMS 材料上構(gòu)建出仿生血管網(wǎng)絡(luò)與組織界面。某再生醫(yī)學(xué)實(shí)驗(yàn)室使用 Polos 光刻機(jī),成功制備出肝芯片微通道,其內(nèi)皮細(xì)胞黏附率較傳統(tǒng)方法提升 40%,且可通過軟件實(shí)時(shí)調(diào)整通道曲率,precise模擬肝臟血流動(dòng)力學(xué)。該技術(shù)縮短了organ芯片的研發(fā)周期,為藥物肝毒性測(cè)試提供了更真實(shí)的體外模型,相關(guān)成果入選《自然生物技術(shù)》年度創(chuàng)新技術(shù)案例。河南德國(guó)PSP-POLOS光刻機(jī)光源波長(zhǎng)405微米科研成果轉(zhuǎn)化:中科院利用同類技術(shù)制備跨尺度微盤陣列,研究細(xì)胞浸潤(rùn)機(jī)制。
植入式神經(jīng)電極需要兼具生物相容性與導(dǎo)電性能,表面微圖案可remarkable影響細(xì)胞 - 電極界面。Polos 光刻機(jī)在鉑銥合金電極表面刻制出 10μm 間距的蜂窩狀微孔,某神經(jīng)工程團(tuán)隊(duì)發(fā)現(xiàn)該結(jié)構(gòu)使神經(jīng)元突觸密度提升 20%,信號(hào)采集噪聲降低 35%。其無掩模特性支持根據(jù)不同腦區(qū)結(jié)構(gòu)定制電極陣列,在大鼠海馬區(qū)電生理實(shí)驗(yàn)中,單神經(jīng)元信號(hào)識(shí)別率從 60% 提升至 85%,為腦機(jī)接口技術(shù)的臨床轉(zhuǎn)化奠定了硬件基礎(chǔ)。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復(fù)雜圖案。一個(gè)新加坡研究團(tuán)隊(duì)通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟(jì)高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進(jìn)行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實(shí)驗(yàn)室,并broad應(yīng)用于微流體、電子學(xué)和納/微機(jī)械系統(tǒng)等各個(gè)領(lǐng)域。該系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)高效性使其優(yōu)勢(shì)擴(kuò)展到大學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室以外的領(lǐng)域,為半導(dǎo)體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機(jī)會(huì)。
德國(guó) Polos 光刻機(jī)系列是電子學(xué)領(lǐng)域不可或缺的精密設(shè)備。其無掩模激光光刻技術(shù),讓電路圖案曝光不再受限于掩模,能夠?qū)崿F(xiàn)超高精度的圖案繪制。在芯片研發(fā)過程中,Polos 光刻機(jī)可precise刻畫出納米級(jí)別的電路結(jié)構(gòu),為芯片性能提升奠定基礎(chǔ)。 科研團(tuán)隊(duì)使用 Polos 光刻機(jī),成功開發(fā)出更高效的集成電路,降低芯片能耗,提高運(yùn)算速度。而且,該光刻機(jī)可輕松輸入任意圖案,滿足不同電子元件的多樣化設(shè)計(jì)需求。無論是新型傳感器的電路制作,還是微型處理器的研發(fā),Polos 光刻機(jī)都能以高精度、低成本的優(yōu)勢(shì),為電子學(xué)領(lǐng)域的科研成果產(chǎn)出提供有力保障,推動(dòng)電子技術(shù)不斷創(chuàng)新。6英寸晶圓兼容:Polos-BESM XL Mk2支持155×155 mm大尺寸加工,工業(yè)級(jí)重復(fù)精度0.1 m。
德國(guó)Polos-BESM系列光刻機(jī)采用無掩模激光直寫技術(shù),突破傳統(tǒng)光刻對(duì)物理掩膜的依賴,支持用戶通過軟件直接輸入任意圖案進(jìn)行快速曝光。其亞微米分辨率(most小線寬0.8 m)和405 nm紫外光源,可在5英寸晶圓上實(shí)現(xiàn)高精度微納結(jié)構(gòu)加工18。系統(tǒng)體積緊湊,only占桌面空間,搭配閉環(huán)自動(dòng)對(duì)焦(1秒完成)和半自動(dòng)多層對(duì)準(zhǔn)功能,大幅提升實(shí)驗(yàn)室原型開發(fā)效率,適用于微流體芯片設(shè)計(jì)、電子元件制造等領(lǐng)域。無掩模光刻技術(shù)可以隨意進(jìn)行納米級(jí)圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對(duì)于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協(xié)的情況下,將該技術(shù)帶到了桌面上,進(jìn)一步提升了其優(yōu)勢(shì)。未來技術(shù)儲(chǔ)備:持續(xù)研發(fā)光束整形與多材料兼容工藝,lead微納制造前沿。河南德國(guó)PSP-POLOS光刻機(jī)光源波長(zhǎng)405微米
客戶認(rèn)可:全球 500 + 客戶滿意度達(dá) 98%,復(fù)購(gòu)率 75%,技術(shù)支持響應(yīng)時(shí)間 < 2 小時(shí)。江蘇桌面無掩模光刻機(jī)光源波長(zhǎng)405微米
Polos-BESM支持GDS文件直接導(dǎo)入和多層曝光疊加,簡(jiǎn)化射頻器件(如IDC電容器)制造流程。研究團(tuán)隊(duì)利用類似設(shè)備成功制備高頻電路元件,驗(yàn)證了其在5G通信和物聯(lián)網(wǎng)硬件中的潛力。其高重復(fù)性(0.1 m)確保科研成果的可轉(zhuǎn)化性,助力國(guó)產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)鏈突破技術(shù)封鎖56。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復(fù)雜圖案。一個(gè)新加坡研究團(tuán)隊(duì)通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟(jì)高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進(jìn)行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實(shí)驗(yàn)室,并broad應(yīng)用于微流體、電子學(xué)和納/微機(jī)械系統(tǒng)等各個(gè)領(lǐng)域。該系統(tǒng)的經(jīng)濟(jì)高效性使其優(yōu)勢(shì)擴(kuò)展到大學(xué)研究實(shí)驗(yàn)室以外的領(lǐng)域,為半導(dǎo)體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機(jī)會(huì)。江蘇桌面無掩模光刻機(jī)光源波長(zhǎng)405微米
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