某材料科學研究中心在探索新型納米復合材料的性能時,需要在材料表面構建特殊的納米圖案。德國 Polos 光刻機成為實現這一目標的得力工具。研究人員利用其無掩模激光光刻技術,在不同的納米材料表面制作出各種周期性和非周期性的圖案結構。經過測試發現,帶有特定圖案的納米復合材料,其電學、光學和力學性能發生了remarkable改變。例如,一種原本光學性能普通的納米材料,在經過 Polos 光刻機處理后,對特定波長光的吸收率提高了 30%,為開發新型光電器件和光學傳感器提供了新的材料選擇和設計思路 。柔性電子制造:可制備叉指電容器與高頻電路,推動5G通信與物聯網硬件發展。河南德國PSP-POLOS光刻機光源波長405微米
德國 Polos 光刻機系列是電子學領域不可或缺的精密設備。其無掩模激光光刻技術,讓電路圖案曝光不再受限于掩模,能夠實現超高精度的圖案繪制。在芯片研發過程中,Polos 光刻機可precise刻畫出納米級別的電路結構,為芯片性能提升奠定基礎。 科研團隊使用 Polos 光刻機,成功開發出更高效的集成電路,降低芯片能耗,提高運算速度。而且,該光刻機可輕松輸入任意圖案,滿足不同電子元件的多樣化設計需求。無論是新型傳感器的電路制作,還是微型處理器的研發,Polos 光刻機都能以高精度、低成本的優勢,為電子學領域的科研成果產出提供有力保障,推動電子技術不斷創新。河南德國PSP-POLOS光刻機光源波長405微米跨學科應用:覆蓋微機械、光子晶體、仿生傳感器與納米材料合成領域。
SPS POLOS 以桌面化設計降低設備投入成本,無需掩膜制備費用。其光束引擎通過壓電驅動快速掃描,單次寫入區域達400 m,支持光刻膠如AZ5214E的高效曝光。研究案例顯示,該設備成功制備了間距3 m的微圖案陣列和叉指電容器,助力納米材料與柔性電子器件的快速原型驗證。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。
大尺寸晶圓的高效處理:Polos-BESM XL的優勢!Polos-BESM XL Mk2專為6英寸晶圓設計,寫入區域達155×155 mm,平臺重復性精度0.1 m,滿足工業級需求。搭配20x/0.75 NA尼康物鏡和120 FPS高清攝像頭,實時觀測與多層對準功能使其成為光子晶體和柔性電子器件研究的理想工具。其BEAM Xplorer軟件簡化復雜圖案設計,內置高性能筆記本實現快速數據處理62。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。實時觀測系統:120 FPS高清攝像頭搭配20x尼康物鏡,實現加工過程動態監控。
對于納 / 微機械系統的研究與制造,德國 Polos 光刻機系列展現出強大實力。無掩模激光光刻技術賦予它高度的靈活性,科研人員能夠快速將創新設計轉化為實際器件。在制造微型齒輪、納米級懸臂梁等微機械結構時,Polos 光刻機可precise控制激光,確保每個部件的尺寸和形狀都符合設計要求。 借助該光刻機,科研團隊成功研發出新型微機械傳感器,其靈敏度和響應速度遠超傳統產品。并且,由于系統占用空間小,即使是小型實驗室也能輕松引入。Polos 光刻機以其低成本、高效率的特性,成為納 / 微機械系統領域的制造先鋒,助力科研人員不斷探索微納世界的奧秘。6英寸晶圓兼容:Polos-BESM XL Mk2支持155×155 mm大尺寸加工,工業級重復精度0.1 m。天津德國桌面無掩模光刻機
光刻膠broad兼容:支持AZ5214E、SU-8等材料,優化參數降低側壁粗糙度。河南德國PSP-POLOS光刻機光源波長405微米
形狀記憶合金、壓電陶瓷等智能材料的微結構加工需要高精度圖案定位。Polos 光刻機的亞微米級定位精度,幫助科研團隊在鎳鈦合金薄膜上刻制出復雜驅動電路,成功制備出微型可編程抓手。該抓手在 40℃溫場中可實現 0.1mm 行程的precise控制,抓取力達 50mN,較傳統微加工方法性能提升 50%。該技術被應用于微納操作機器人,在單細胞膜片鉗實驗中成功率從 40% 提升至 75%,為細胞級precise操作提供了關鍵工具。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。河南德國PSP-POLOS光刻機光源波長405微米