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碳?xì)湔婵涨逑礄C(jī)在半導(dǎo)體晶圓清洗中的特殊要求呢?

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唯恒塬環(huán)保科技(蘇州)有限公司2025-06-29

必須使用超高純度碳?xì)淙軇苊庖腚s質(zhì)污染晶圓。清洗過程在超凈無塵環(huán)境中進(jìn)行,設(shè)備具備嚴(yán)格的潔凈度控制和監(jiān)測系統(tǒng)。采用溫和的清洗工藝,防止損傷晶圓表面的納米級結(jié)構(gòu),清洗后需進(jìn)行嚴(yán)格的顆粒和離子檢測。

唯恒塬環(huán)保科技(蘇州)有限公司
唯恒塬環(huán)保科技(蘇州)有限公司
簡介:唯恒塬環(huán)保主要生產(chǎn):碳?xì)?改性醇真空清洗機(jī)、真空蒸餾回收機(jī)、真空干燥、廢水蒸發(fā)器系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)等
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