江蘇邁茨工業智能裝備有限公司2025-05-22
微動控制關鍵技術:
傳動優化:預緊式滾珠絲杠(軸向間隙≤0.003mm)+直線電機(分辨率0.1μm)。
控制算法:PID+前饋補償,結合干擾觀測器(DOB)抑制非線性誤差。
環境控制:恒溫實驗室(±1℃)減少熱變形影響。
實測數據:在光學元件對準中實現±0.5μm重復定位精度。
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