精密環(huán)控柜采用可拆卸鋁合金框架,這一設(shè)計(jì)極具創(chuàng)新性和實(shí)用性。對于大型設(shè)備,可在現(xiàn)場進(jìn)行組裝,減少了運(yùn)輸過程中的體積和重量,降低了運(yùn)輸難度和成本。同時(shí),鋁合金材質(zhì)具有強(qiáng)度高、質(zhì)量輕、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn),保證了設(shè)備的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和使用壽命。箱體采用高質(zhì)量鈑金材質(zhì),不僅堅(jiān)固耐用,而且美觀大方。更重要的是,可根據(jù)客戶需求定制外觀顏色,滿足不同用戶的個(gè)性化審美需求。在一些對環(huán)境美觀度有要求的實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)車間,定制化的外觀設(shè)計(jì)能使設(shè)備更好地融入整體環(huán)境。這種既注重功能又兼顧外觀的設(shè)計(jì),充分體現(xiàn)了產(chǎn)品的人性化和靈活性。設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性高,可連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于 144h。制藥溫濕度控制柜
在芯片這一高科技產(chǎn)品的復(fù)雜生產(chǎn)流程里,眾多環(huán)節(jié)對溫濕度的波動(dòng)展現(xiàn)出了近乎苛刻的精密度要求。光刻過程中,利用高精度的光刻設(shè)備,將預(yù)先設(shè)計(jì)好的復(fù)雜電路圖案轉(zhuǎn)移至硅片表面。溫度的穩(wěn)定性起著決定性作用,哪怕有零點(diǎn)幾攝氏度的微小波動(dòng),都會(huì)使光刻膠內(nèi)部的化學(xué)反應(yīng)速率產(chǎn)生偏差。光刻膠作為一種對光敏感的高分子材料,其反應(yīng)速率的改變將直接作用于光刻成像效果,致使圖案邊緣模糊、線條粗細(xì)不均,進(jìn)而讓芯片上的線路出現(xiàn)偏差,甚至引發(fā)短路故障,讓前期投入的大量人力、物力和時(shí)間付諸東流。與此同時(shí),濕度因素同樣不可小覷。光刻車間若濕度偏高,水汽極易滲透至光刻膠內(nèi)部,使其含水量上升,感光度隨之降低,如同給精密的 “光刻鏡頭” 蒙上一層霧靄,嚴(yán)重影響光刻精度,導(dǎo)致芯片良品率大打折扣,大幅增加生產(chǎn)成本。微生物溫濕度設(shè)備報(bào)價(jià)設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機(jī)引導(dǎo)氣流循環(huán),控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流每個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行處理,使柜內(nèi)溫濕度達(dá)到超高控制精度。
我司憑借深厚的技術(shù)積累,自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù),精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出。溫度波動(dòng)值可實(shí)現(xiàn)±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實(shí)現(xiàn)百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK(靜態(tài))的溫度穩(wěn)定性,以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格,為諸如芯片研發(fā)這類對溫度極度敏感的項(xiàng)目,打造了近乎完美的溫場環(huán)境,保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。同時(shí),設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h,壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa,長達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時(shí)間實(shí)驗(yàn)和制造無后顧之憂。在潔凈度方面,實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3,確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性,也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。
超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點(diǎn)。其自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù),使得控制輸出精度達(dá)到驚人的 0.1% ,這意味著對溫度的調(diào)控能夠精細(xì)到極小的范圍。設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK (靜態(tài)) ,無論外界環(huán)境如何變化,都能保證關(guān)鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ,滿足不同用戶對溫度的個(gè)性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ,確保柜內(nèi)各個(gè)角落的溫度幾乎一致,避免因溫度差異導(dǎo)致的實(shí)驗(yàn)誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問題。再加上設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h ,以及壓力穩(wěn)定性可達(dá) +/-3Pa ,連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于 144h ,為對溫濕度、壓力要求苛刻的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障,讓長時(shí)間的科研實(shí)驗(yàn)和精密制造得以順利進(jìn)行。精密環(huán)控柜可滿足可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)等不同潔凈度要求。
設(shè)備運(yùn)行靜音高效是精密環(huán)控柜的又一優(yōu)勢。采用的 EC 風(fēng)機(jī),具備更高效、更強(qiáng)大、更安靜的運(yùn)行特點(diǎn)。相比傳統(tǒng)風(fēng)機(jī),EC 風(fēng)機(jī)能夠在提供充足風(fēng)量的同時(shí),有效降低能耗,提高能源利用效率。制冷單元內(nèi)部采用高效隔音材質(zhì),進(jìn)一步降低設(shè)備噪音,使其運(yùn)行噪音小于 45dB 。噪音作為一種能量對于生產(chǎn)過程存在難以忽視的影響,極低的噪音恰恰能防止設(shè)備收到干擾,影響生產(chǎn)環(huán)境。高效的運(yùn)行則保證了設(shè)備能夠快速、穩(wěn)定地調(diào)節(jié)溫濕度和潔凈度,滿足各類精密實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)的需求。高精密溫濕度控制設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h。遼寧溫濕度廠家
擁有超高水準(zhǔn)潔凈度控制能力,可達(dá)百級(jí)以上潔凈標(biāo)準(zhǔn)。制藥溫濕度控制柜
芯片蝕刻時(shí),刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動(dòng)如同 “蝴蝶效應(yīng)”,可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制,以及可達(dá) ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性,有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常,保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過程中,精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制,內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3,杜絕塵埃顆粒污染芯片,防止水汽對芯片材料的不良影響,確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。制藥溫濕度控制柜