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中科儀深耕近 70 年，實現國內干式真空泵多項零的突破
來源：
發布時間：2025-07-02
在半導體制造這一 “納米級微觀手術” 中，干式真空泵作用關鍵，它能快速、潔凈地將芯片加工腔室中的空氣和氣體抽離，為芯片制造的薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻等超微加工工藝提供必要的潔凈真空環境。新三板掛牌企業中科儀，依托高真空、超高真空和超潔凈真空技術優勢，致力于研制先進的干式真空泵及真空儀器設備，產品達到國際同類先進水平，**。中科儀創建于 1958 年，前身為中國科學院直屬事業單位，是國內**的半導體制造設備**部件及真空科學儀器設備供應商，組建了多個**科研中心，是******。目前，中科儀干式真空泵已在多家**集成電路和光伏企業通過工藝驗證并批量使用，打破了歐美及日韓企業的長期壟斷，實現了集成電路產業**部件國產化的多項零突破，有力推動了我國半導體等相關產業的自主發展。
中的空氣和氣體抽離，為芯片制造的薄膜沉積、刻蝕、離子注入、光刻等超微加工工藝提供必要的潔凈真空環境。新三板掛牌企業中科儀，依托高真空、超高真空和超潔凈真空技術優勢，致力于研制先進的干式真空泵及真空儀器設備，產品達到國際同類先進水平，**。中科儀創建于 1958 年，前身為中國科學院直屬事業單位，是國內**的半導體制造設備**部件及真空科學儀器設備供應商，組建了多個**科研中心，是******。目前，中科儀干式真空泵已在多家**集成電路和光伏企業通過工藝驗證并批量使用，打破了歐美及日韓企業的長期壟斷，實現了集成電路產業**部件國產化的多項零突破，有力推動了我國半導體等相關產業的自主發展。
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