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陜西POLOSBEAM-XL光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模

來源: 發布時間:2025-06-19

單細胞分選需要復雜的流體動力學控制結構,傳統光刻難以實現多尺度結構集成。Polos 光刻機的分層曝光功能,在同一片芯片上制備出 5μm 窄縫的細胞捕獲區與 50μm 寬的廢液通道,通道高度誤差控制在 ±2% 以內。某細胞生物學實驗室利用該芯片,將單細胞分選通量提升至 1000 個 / 秒,分選純度達 98%,較傳統流式細胞儀體積縮小 90%。該技術已應用于循環tumor細胞檢測,使稀有細胞捕獲效率提升 3 倍,相關設備進入臨床驗證階段。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。德國技術基因:融合精密光學與自動化控制,確保設備高穩定性與長壽命。陜西POLOSBEAM-XL光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模

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某材料實驗室利用 Polos 光刻機的亞微米級圖案化能力,在鋁合金表面制備出仿荷葉結構的超疏水涂層。其激光直寫技術在 20μm 間距的微柱陣列上疊加 500nm 的納米脊,使材料表面接觸角達 165°,滾動角小于 3°。該涂層在海水環境中浸泡 30 天后,防腐蝕性能較未處理表面提升 10 倍。其靈活的圖案編輯功能還支持在同一樣品上實現超疏水與超親水區域的任意組合,被用于微流控芯片的液滴定向輸運,液滴驅動電壓降低至傳統方法的 1/3。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。遼寧光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米技術Benchmark:Polos-μPrinter 入選《半導體技術》年度創新產品,推動無掩模光刻技術普及。

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SPS POLOS μ以緊湊的桌面設計降低實驗室設備投入,光束引擎通過壓電驅動實現高速掃描(單次寫入400 μm區域)。支持AZ5214E等光刻膠的高效曝光,成功制備3 μm間距微圖案陣列和叉指電容器,助力納米材料與柔性電子器件的快速驗證。其無掩模特性進一步減少材料浪費,為中小型實驗室提供經濟解決方案62。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。

在微流體研究領域,德國 Polos 光刻機系列憑借獨特優勢脫穎而出。其無掩模激光光刻技術,打破傳統光刻的局限,無需掩模就能實現高精度圖案制作。這使得科研人員在構建微通道網絡時,可根據實驗需求自由設計,快速完成從圖紙到實體的轉化。?以藥物傳輸研究為例,利用 Polos 光刻機,能制造出尺寸precise、結構復雜的微通道,模擬人體環境,讓藥物在微小空間內可控流動,much提升藥物傳輸效率研究的準確性。同時,在細胞培養實驗中,該光刻機制作的微流體芯片,為細胞提供穩定且適宜的生長環境,助力細胞生物學研究取得新突破。小空間大作為的 Polos 光刻機,正推動微流體研究不斷向前。多材料兼容性:同步加工陶瓷 / PDMS / 金屬,微流控芯片集成電極與通道一步成型。

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超表面通過納米結構調控光場,傳統電子束光刻成本高昂且效率低下。Polos 光刻機的激光直寫技術在石英基底上實現了亞波長量級的圖案曝光,將超表面器件制備成本降低至傳統方法的 1/5。某光子學實驗室利用該設備,研制出寬帶消色差超表面透鏡,在 400-1000nm 波長范圍內成像誤差小于 5μm。其靈活的圖案編輯功能還支持實時優化結構參數,使器件研發周期從數周縮短至 24 小時,推動超表面技術從理論走向集成光學應用。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。POLOS μ 光刻機:微型化機身,納米級曝光精度,微流體芯片制備周期縮短 40%。安徽PSP光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模

微流體領域:支持 1-100μm 微通道定制,助力organ芯片血管網絡precise建模。陜西POLOSBEAM-XL光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模

某基因treatment團隊采用 Polos 光刻機開發了微米級 DNA 遞送載體。通過 STL 模型直接導入,在生物可降解聚合物表面刻制出 1-5μm 的蜂窩狀微孔結構,載體的 DNA 負載量達 200μg/mg,較傳統電穿孔法提升 5 倍。動物實驗顯示,該載體在肝臟靶向遞送中,基因轉染效率達 65%,且免疫原性降低 70%。其無掩模特性支持根據不同細胞表面受體定制載體形貌,在 CAR-T 細胞treatment中,CAR 基因導入效率從 30% 提升至 75%,相關技術已申請國際patent。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。陜西POLOSBEAM-XL光刻機不需要緩慢且昂貴的光掩模