晶圓是半導體行業的關鍵元件,隨著半導體行業的迅速發展,晶圓的搬運技術逐漸成為制約行業發展的關鍵因素。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一,其性能的優劣直接影響晶圓的生產效率和制造質量,體現著整個加工系統的自動化程度和可靠性。在晶圓加工系統中包含兩類晶圓搬運機械...
多孔陶瓷同時稱之為納米微孔真空吸盤,是指經過特殊的納米粉體制造工藝先生產出均勻的實心或者真空球體,通過高溫燒結在材料內部生成大量彼此連體或閉合的陶瓷材料,憑借特殊的結構從而具有耐高溫、耐磨損、耐化學腐蝕、機械強度高、易于再生和優良的抗熱震性等優點,可用于高...
出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機械臂的構造模塊。TO-DOM由兩個旋轉模塊及一個連接模塊共三個基本模塊組成。根據空間機械臂的具體構型需要,將TODOM的三個基本模塊之間的機械接口進行專門設計,即可配置成確定構型的二自由...
微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...
在航空航天領域,精密結構陶瓷展現出了非凡的實力。由于航空航天器在飛行過程中會面臨高溫、高壓、高速等極端條件,傳統材料往往難以滿足要求。而精密結構陶瓷以其出色的耐高溫性能,能夠承受數千度的高溫而不熔化、不軟化。例如,在航空發動機的熱端部件中,采用精密結構陶瓷材料...
2.噴涂機械臂 這種機械臂多用于噴漆生產線上,重復位姿精度要求不高。但由于漆霧易燃,一般采用液壓驅動或交流伺服電機驅動。3.焊接機械臂 這是目前使用**多的一類機械臂,它又可分為點焊和弧焊兩類。點焊機械臂負荷大基本介紹當提到機械人時,許多人會想到有手,有腳的人型...
、陶瓷耐磨膠泥涂料使用注意事項: 1.檢查環境溫度,施工期間,施工地點的氣溫需控制在5℃-40℃之間,如果氣溫過低,材料本身及施工區域則需加溫至5℃,直到防磨膠泥涂抹完畢為止。避免在直接日曬或強風狀況下施工,以防止耐磨陶瓷涂料表面的迅速干裂。 ...
電鍍: 到這一步,晶圓基本上就完成了,現在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,銅離子會從正極走向負極。 拋光: 然后將Wafer進行打磨,到這一步晶圓就真正的完成了。 切割: 對晶圓進行切割,值得一提的是晶圓十分易碎,因此對切割的工藝要求...
隨著半導體制造工藝向更小尺寸、更高集成度的方向發展,對機械吸臂的精度和穩定性要求越來越高。在納米級的制造工藝中,吸臂的微小振動、位置偏差或吸附力不均勻都可能對晶圓造成嚴重影響。因此,如何進一步提高吸臂的運動精度和穩定性,減少各種誤差因素的影響,是當前面臨的一個...
耐磨陶瓷內襯.弧形氧化鋁耐磨陶瓷襯板具有一定的弧度,主要用于旋流器,也可以根據具體管道直徑定做各種規格的弧形襯板,使其完美貼合管道內壁。 隨著金礦規模以及選礦裝備都開始趨向大型化,入選原礦漿粒度、重介質懸浮液入口壓力與速度不斷提高,嚴重影響了旋流器的使用壽命。...
醫療領域同樣離不開精密結構陶瓷的應用。在人工關節、牙科修復材料等方面,精密結構陶瓷以其良好的生物相容性、耐磨性和耐腐蝕性,成為理想的替代材料。例如,陶瓷人工關節具有與人體骨骼相似的硬度和彈性模量,能夠減少磨損和松動的風險,提高患者的生活質量。在牙科修復中,陶瓷...
微孔陶瓷真空吸盤是一種先進的工業設備,廣泛應用于自動化生產線和機器人系統中。它通過利用真空原理,能夠牢固地吸附和固定各種材料和工件,提高生產效率和質量。介紹微孔陶瓷真空吸盤的原理、結構、特點以及應用領域,以及其在工業生產中的重要性。 微孔陶瓷真空吸盤...
高純型氧化鋁陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料,由于其燒結溫度高達1650—1990℃,透射波長為1~6μm,在電子工業中可用作集成電路基板與高頻絕緣材料。 氧化鋯陶瓷呈白色,含雜質時呈黃色或灰色,一般含有HfO2,不易分離。在...
微孔陶瓷真空吸盤的應用領域: 微孔陶瓷真空吸盤廣泛應用于自動化生產線和機器人系統中的物料搬運、裝配、加工等工序。它可以用于吸附和固定各種材料和工件,如金屬板材、塑料制品、玻璃制品、電子元件等。在電子行業、汽車制造業、玻璃加工業、食品包裝業等領域都有重...
與傳統的SCARA型搬運機械手相比,蛙腿型機械手的傳動機構更簡單,剛性更高,且工作效率更高。如上圖所示,蛙腿型機械手手臂為對稱雙連桿的并聯結構,包括1對大臂和2對小臂。2個直驅電機分別通過2個同軸的旋轉軸連接大臂,大臂末端通過4個旋轉軸連接尺寸相同的2對小臂,...
6 生料組合選粉機進風管及旋風筒殼體 中速磨筒體及分離擋板 除塵器殼體及管道 余熱鍋爐 7 所有旋風分離器殼體及進出風管,包括旋風筒 粗、細粉旋風分離器殼體、錐斗及進出管道 燃煤鍋爐煙道 8 蓖冷機至電收塵器風管 一次二次風管 燃煤鍋爐輸送管道 9 電收...
5.高溫氣體過濾高溫煙氣的除塵、高溫煤氣的凈化等高溫氣體的過濾都必須使用耐高溫的多孔陶瓷。6.醫藥工業食品工業過濾多孔陶瓷由于具有耐高溫、耐腐蝕和良好的生物、化學相容性,因而可用于醫藥工業中的疫苗、酶、***、核酸、蛋白質等生理活性物質的濃縮、分離...
本發明涉及一種半導體制造技術,尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。 背景技術: 在半導體加工設備中,經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送,在傳送的過程中,傳送精度越高,設備工藝一致性就越好,速度越快,單臺設備的產能就越大。隨...
主體部分通常采用強度高、輕質的材料,如鋁合金或碳纖維復合材料,以確保在保證結構強度的同時減輕自身重量,減少運動慣性,提高操作的靈活性和響應速度。吸臂的形狀和尺寸經過精心設計,以適應不同尺寸晶圓的搬運需求。一般具有多個關節和自由度,能夠實現多角度的靈活運動,類似...
耐磨陶瓷管道性能比較:耐磨陶瓷彎頭能得到市場的青睞并不斷取代一些傳統的防磨材料,根本原因在于其優異的產品品質,以及在與傳統防磨材料,如鑄石、鑄鋼等材料相比所具有的多方面優勢。1、鑄石以前每個廠的彎頭大部分都是使用鑄石彎頭,這種材料的特點是易碎、開裂...
(3)“釘扎”理論, 認為存在于基體晶界的納米顆粒產生“釘扎”效應,從而限制了晶界滑移和孔穴、蠕變的發生,晶界的增強導致納米氧化鋯復相陶瓷韌性的提高。 二、氧化鋯增韌陶瓷的種類 氧化鋯增韌陶瓷主要有穩定氧化鋯陶瓷、部分穩定氧化鋯陶瓷、四方氧化鋯...
氧化鋁耐磨陶瓷襯在礦渣微粉生產線的網管里,微粉比表面積為420~450m2,濃度在350g/Nm3,速度在28~30m/s,沖刷角度為30℃的情況下,20mm的耐磨陶瓷襯片可以使用8~10年。生料磨和熟料磨粉磨的物料比礦渣容易磨,相同厚度的耐磨陶瓷襯片,使用壽...
工程陶瓷材料的廠家,因為這種陶瓷材料硬度更高,耐磨性也更好氧化鋯陶瓷目前已經有了非常***的應用,而且市場需求量也在日益增加,所以現在氧化鋯陶瓷廠家也越來越多,那么應該如何選擇氧化鋯陶瓷生產廠家呢?下面就來為大家進行分析。工程陶瓷材料的廠家,因為這...
微孔陶瓷吸盤的性能2018-10-1917:01高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面積吸附,同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密...
工業機械臂定義為“其操作機是自動控制的,可重復編程、多用途,并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式。在工業自動化應用中使用”。操作機又定義為“是一種機器,其機構通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構件所組成。它通常有幾個自由度,用以抓取或移動物體...
7、復合增韌復合增韌是指在ZrO2陶瓷實際增韌過程中同時采用幾種增韌機理,從而提高ZrO2陶瓷增韌效果。在實際應用過程中,根據所要制備氧化鋯陶瓷材料的不同性能,來選擇具體的增韌機理。8、納米增韌目前,納米增韌主要有三種學術觀點,即:細化理論,穿晶理...
**耐磨陶瓷料現在大家對環保越來越重視了低碳綠色已經成為世界發展的首要趨勢,隨著人們生活水平和經濟水平的不時提高。社會各界人士也將綠色低碳轉化為自己的一種生活態度。耐磨行業也不甘落后,刮起這股清新之風,綠色之風將會帶動整個行業的科技創新邁向一個全新的領域,上升...
控制策略對柔性機械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理。完全忽略結構的彈性變形對結構剛體運動的影響。例如為了避免過大的彈性變形破壞柔性機械臂的穩定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運動的比較大角速度為。2)前饋補償法。將機械臂柔性變形形成的機械...
沖渣溝**耐磨陶瓷澆注料是一種新型耐磨材料產品.隨著生產技術的不斷發展,機械制造車間所擁有的大量切削機床中的一部分已 落后于當前技術發展的需要。陶瓷涂料屬于無機功能涂料領域,是一種新型的水性無機高溫防護涂料。生活中,摩擦無處不在,無時不在。雖然很多時候摩擦對我...
種微孔真空吸盤工作臺的制作方法 【技術領域】 [0001]本實用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺,屬于機械設備領域。 【背景技術】 [0002]劃片刀用于精密加工,由于它的損耗速度非??欤虼诵枨罅糠浅4?。生產劃片刀需要使用晶圓劃片機...