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高速運行穩定性差，所以這種類型用于小型泵。臥式泵在進氣口，排氣口在下。有時真空系統管道安裝連接方便，可以從排氣的水平方向排出，即排氣方向相互垂直。此時，排氣口除了排氣管的另一端還是旁通閥外，還可以從左右方向打開排氣口。該泵結構具有低重心和高速穩定性。一般大中型泵使用這種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構易于控制裝配間隙，易于安裝轉子，泵面積小。但是泵的重心是高的和齒輪的拆裝，潤滑機構也比較復雜。（2）泵送模式真空泵的兩個轉子由一對高精度齒輪操作，用于相對同步運行。驅動軸通過聯軸器連接到電機。在傳輸結構布局中主要有以下兩個：一個是電機和齒輪在同一側的轉子上，如圖所示。從動轉子...

氣體立即泵出泵體，無水源污染，無消耗和環境壓力，氣體收購更便捷。干式螺桿真空泵因為螺桿泵生產加工難度系數大，在我國應用的螺桿泵依賴于進口，價格比較貴。不適于抽除含有性的氣體。不適于抽除含氧過高的氣體。干式真空泵如何進行優化選擇:干式真空泵是將來工業發展的趨勢，雖然都還沒運用，除了價錢偏高，還有客戶干式真空泵用的不到位，看不見企業的經濟效益。用這種不一樣種類的干式真空泵，人們一直期盼降低他們的物理學規格。但是，這與真空泵的泵速不一致，因為真空泵的泵速與真空泵的體積成正比。小的物理尺寸意味著音量也很小。自然,危害真空泵抽油速率的另一個關鍵要素是速率。以便使小型真空泵的吸速與大中型機械泵...

干式真空泵的真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，較高極限真空均可達到1-2Pa；無油往復真空泵為粗真空設備，極限真空度低，需要搭配羅茨真空泵提高極限真空。沃德氣體以發展求壯大，就一定會贏得更好的明天。淄博斡旋干式真空泵 真空泵機組啟動前要注意什么？真空泵機組啟動前要注意什么?對于真空泵機組來講，它在進行啟動之前，肯定的就是要做啟動準備的。就其真空泵機組的步的啟動的準備的話也就是要把真空泵閥門進行試驗，檢查它的開關是不是靈活，確定其信號指示上是不是正確;接著也就是要對真空泵A、以及真空泵B，還有就是羅茨泵C等的電機進行正反轉試驗。我們在對真空泵機組進行啟動之...

動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環。干式真空泵性能比較編輯1）真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，比較高極限真空均可達到1-2Pa；無油往復真空泵為粗真空設備，極限真空度低，需要搭配羅茨真空泵提高極限真空。2)抽氣量：無油渦旋真空泵由于內部結構問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。3）穩定性：干式螺桿真空泵性能穩定，噪音低，故障率低；無油往復真空泵結構簡單，噪音較高，需要經常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復雜，...

真空泵的應用成本費一直是挑選真空泵的關鍵要素。越來越多的真空泵客戶觀念到真空泵的可靠性也應當獲得考慮到。因為機械泵安全偏差會造成設備應用高效率減少，危害晶圓的制造和交貨，乃至導致晶圓等零件的生產加工毀壞。斷臂設計采用單級設計，與多級泵相比，球縫、指甲、指甲和組合)可以減少60%的部件。正是穩定性和未來維護費用的巨大優勢綜上所述，假如客戶覺得耗電量對他而言是**關鍵的，那麼選擇內部加壓螺釘將會是一個好的選擇，而氮含量對他**不關鍵。但是，總的來說，尾氣處理的要求越來越嚴格，減少未來氮的使用量的話是很重要的。假如你要在不應用簡易的庫存商品操縱泵的狀況下解決各種各樣半導體材料加工工藝，比較好是應...

避免缺油運行,一般一個月左右更換一次潤滑油。2、檢查泵浦表面潔凈度,表面干凈,泵浦散熱好。3、觀察排氣口,如排氣口有油煙,需要更換排氣濾芯。4、真空泵一年左右做一次基本保養。以上便是真空泵使用時需要注意什么的主要內容。根據真空泵抽氣原理有哪些分類真空泵是常見的真空設備，那么，對于真空泵的抽氣原理有哪些分類呢?1、往大氣中排氣的泵。這種泵一般稱為粗抽泵或前級泵。把系統中空氣抽除到某一需要的工作壓強稱為對該系統粗抽。在另一泵的出口處保持的一個所需的低壓強稱為前級壓強。機械旋轉泵和噴射泵就是典型的粗抽泵或前級泵。2、只往低于大氣壓的環境中排氣的泵。這種泵需要一個前級泵(申聯)向大氣中排氣。擴...

干式真空泵所體現出的應用水平:目前，真空工業關注的是干式真空泵基產品，這種性能在設備的各個方面都很先進，國外整體影響相對較大，從產品的整體開發來看，它也非常適合國內企業的生產和應用，有效的節能減排優勢，對企業的生產和管理起到了非常重要的作用。從國內產品的生產能力來看，生產企業非常熱衷于開發這類產品，如果設備能夠國產化，這是整個產品的價格優勢得到提升。干式真空泵**顯著的能力是不用水制造介質，與傳統真空設備相比，能夠有效節約水資源，減少企業能源消耗，使企業生產更加環保，提高企業生產發展能力。同時，在不斷發展的優勢下，干式泵的性能充分反映了其自身的優勢,提高了產品應用和開發能力的重要性,滿足...

泵的壓縮比和泵速與轉子的導向角、轉子與泵體的間隙、嚙合率、循環次數、轉子直徑和轉速有關。由于該泵比螺桿泵循環次數多，壓縮比高，泵速低，可從大氣壓泵送至極限壓力10-1pa。干式真空泵比旋片泵跟往復泵強在哪：下面由干式真空泵的生產廠家來介紹一下干式真空泵比旋片泵跟往復泵強在哪真空泵的種類繁多，像是旋片泵、往復泵這兩種泵都是屬于真空泵。除此之外還有市場占有率比較高的干式真空泵。人們比較感興趣的是它們之間的性能對比，所以在這里就對它們做一個比較，看誰更好：1.旋片泵和干式真空泵的常見問題比較：旋片泵常見問題：有介質真空泵，工作中易產生返流，工作中抽出的可凝性氣體液化后造成真空泵的真空度降低。...

無摩擦結構和變容壓縮式做功工作原理，在化工、電子行業遇有結晶介質時，可順利抽除，不會對泵體造成損壞。正所謂貨比貨得扔，可以看到干式真空泵是明顯優于另外兩種泵的。使用干泵可明顯降低維護難度，節約維護成本；更加的耐用、長時間不用維修，無介質運行的工作特點可有效提高產品的生產質量。干式真空泵在冶金行業中的作用下面由干式真空泵的生產廠家來介紹一下干式真空泵在冶金行業中的作用干式真空泵在生產中消耗功率低，節能環保，在清洗維護方面也非常的簡便。在冶金行業中有著比較普遍的應用，但是你知道它在該行業中具體起到什么作用嗎？本次我們就來簡單的介紹一下這方面的知識：1.保護溶劑分離及真空燒結高純金屬的提煉、...

更換時應注意保證進氣口和軸承蓋的密封。爪型干式無油真空泵是一種能夠提高產品品質、提高生產效率，為企業創造更多價值的設備，但這些都是建立在合理使用的基礎上。好的使用習慣能夠減少爪泵因故障而造成的停機時間，不會耽誤企業的生產，對企業經濟效益的提升有著切實的幫助。以上就是介紹的干式真空泵冬季使用指南，希望對大家有幫助，更多的資訊請繼續關注我們的網站。干式真空泵有哪些優點:干式真空泵**為顯然的能力即是不用水來做介質，與傳統的真空設備相比，它不妨有用的節儉水資源，減少企業的資源打發，真正使企業的制作愈加的環保，而且不妨提升企業制作發展的能力。同時，在不停發展的優勢能力下，干泵的功能依然充分體現出...

通過曲柄連桿機構的作用（旋轉運動轉變成直線運動），使氣缸內的活塞作往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷的降低，當左腔空間內的壓強低于被抽容器內的壓強，根據氣體壓強平衡的原理，被抽容器內的氣體經過吸氣閥不斷地被抽進左腔，此時正處于吸氣過程。當活塞達到**右位置時，氣缸左腔內就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥自動關閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內的氣體達到排氣壓力時，此時排氣閥被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環。當活塞在從左端向右端運動時，重復上述循環，直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。在干式真空泵中...

高速運行穩定性差，所以這種類型用于小型泵。臥式泵在進氣口，排氣口在下。有時真空系統管道安裝連接方便，可以從排氣的水平方向排出，即排氣方向相互垂直。此時，排氣口除了排氣管的另一端還是旁通閥外，還可以從左右方向打開排氣口。該泵結構具有低重心和高速穩定性。一般大中型泵使用這種結構。泵的兩個轉子軸與水平面垂直安裝。這種結構易于控制裝配間隙，易于安裝轉子，泵面積小。但是泵的重心是高的和齒輪的拆裝，潤滑機構也比較復雜。（2）泵送模式真空泵的兩個轉子由一對高精度齒輪操作，用于相對同步運行。驅動軸通過聯軸器連接到電機。在傳輸結構布局中主要有以下兩個：一個是電機和齒輪在同一側的轉子上，如圖所示。從動轉子...

并被發泡成泡塑制品。為了避免在這個過程中發生變形，對于大型制品件，很容易超過3到4分鐘。制品必須進行冷卻。在這些制品的發泡裝置中采用真空泵冷卻，以確保其不會變形，而且其中的水分很快得到蒸發。蒸發過程吸收制品熱量，加快了冷卻過程。氣動輸送裝置在生產的各個不同階段，塑料球狀原料必須從一個位置轉移到另外的位置（如從貯槽到干燥器）。可以通過采用氣動輸送裝置自動實現，并可以加快輸送速度。管路從起點布到終點，連接到干式真空泵或壓縮機上。由于要輸送材料，被管路中的空氣“加載”速度極快，可以和颶風相比。根據物料重量和管路長度，系統的設計可以使真空泵（真空傳遞）或壓縮機（壓力傳遞）產生足夠的風速，以拾取...

真空泵的正確安裝方法真空泵是一種對被抽容器進行抽氣從而獲得真空的器件，主要應用于各種工業中，那么接下來給大家介紹一下關于正確安裝真空泵的方法。1、關于有冷卻水的真空泵，按規則接通冷卻水。2、真空泵通電試作業時，須取下電機皮帶，確認真空泵轉向符合規則方向方可投入使用，以防真空泵回轉噴油。(轉向按防護罩指示方向)3、當真空泵排出氣體影響作業環境時，可在排氣口裝接管道引離或裝接油霧過濾器。4、如真空泵口裝置電磁閥時，閥與真空泵應一起動作。5、按電動機標牌規則銜接電源，并接地線和裝置適宜標準的熔斷器及熱繼電器。6、在銜接管路中，用戶可在真空泵進氣口上方裝置閥門及真空計，隨時可查看真空泵的極限壓...

因此近幾年來干式螺桿真空泵發展很快，真空獲得產品呈現了更新換代的局勢。干式螺桿真空泵是20世紀90年代初呈現的一種理想的泵種，因為它具有抽速范圍寬、結構簡單緊湊、泵腔內無摩擦元件、能耗低、無廢液排放以及運行成本低等一系列優點，因此已在微電子、半導體、光伏工業、化工制藥、空間模仿等領域得到普遍使用。那么干式螺桿真空泵的工作原理及其特色是什么呢？干式螺桿真空泵的工作原理很簡單，二個平行的精細加工的螺桿，旋轉方向相反，螺桿型線是由阿基米德螺旋線、圓外次擺線和圓弧曲線構成。從電機端看，主動軸做順時針旋轉時，一對同步斜齒輪確定螺桿作相對旋轉，所以螺桿就將吸入的氣體從進氣口壓縮到排氣口。在螺桿與螺...

動、靜渦旋盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環。干式真空泵性能比較編輯1）真空度：干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高，比較高極限真空均可達到1-2Pa；無油往復真空泵為粗真空設備，極限真空度低，需要搭配羅茨真空泵提高極限真空。2)抽氣量：無油渦旋真空泵由于內部結構問題，抽氣量較小，只適用于小抽氣量的工藝中；干式螺桿真空泵型號齊全，可適用大抽氣量工藝中，配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。3）穩定性：干式螺桿真空泵性能穩定，噪音低，故障率低；無油往復真空泵結構簡單，噪音較高，需要經常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復雜，...

尚有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶給企業的將來經濟效益，在這里留意講下干式真空泵何如進行優化選擇?關于這些差異類別的干式真空泵，咱們都盼望可以將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速度相，因為真空泵的抽氣速度與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當然，尚有一個影響真空泵的抽氣速度的重要因素，那即是轉速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速度與大尺寸真空泵的抽氣速度相匹配，就需求升高它的轉速。而想要改變真空泵的轉速有兩種方式，一是改變電源的頻率，即選用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。當中，選用變頻器的好處是不妨提供一個閉環管制，但在大負載下簡易導致扭距的虧損。而改變齒輪箱的傳動比...

通過曲柄連桿機構的作用（旋轉運動轉變成直線運動），使氣缸內的活塞作往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷的降低，當左腔空間內的壓強低于被抽容器內的壓強，根據氣體壓強平衡的原理，被抽容器內的氣體經過吸氣閥不斷地被抽進左腔，此時正處于吸氣過程。當活塞達到**右位置時，氣缸左腔內就充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥自動關閉。氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內的氣體達到排氣壓力時，此時排氣閥被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環。當活塞在從左端向右端運動時，重復上述循環，直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。在干式真空泵中...

干式真空泵分類編輯干式真空泵主要有下列幾種形式：雙圓裂片式雙圓裂片式設計和目前當行和普遍應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些**早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小...

搞的顧客不清楚哪個更合適。我覺得決策干式真空泵品質和使用期的有這好多個要素：1、原料，因為螺桿真空泵的空隙不大，在運作全過程中遇熱絲桿和泵殼會受熱變形，當澎漲到必須水平時候非常容易卡住，這就規定原料務必非常平穩而且有優良物理性能。2、生產加工精密度，生產加工精密度對泵的應用很重要。3、鍍層技術性，現階段國內和韓日大多數采用鍍層，鍍層的技術性很是重要。4、絲桿型線，型線對排氣管溫度、電流量常有挺大的危害。5.售后維修服務，售后維修服務對泵的使用期危害極大，當泵有常見故障是必須要慢下來，維修不然帶故障運作會造成泵報費。干式真空泵的品質及價錢都具備較強的競爭能力，可大范疇取代進口商品，銷售市...

干式真空泵分類編輯干式真空泵主要有下列幾種形式：雙圓裂片式雙圓裂片式設計和目前當行和普遍應用的羅茨泵非常相似。事實上，一些**早期的干泵設計思想就是將羅茨泵疊加起來。這種多級設計使得氣體通路相當復雜，并且每一級都需要較大流量的氮氣起到稀釋和隔離作用。同時，為了達到好的真空度，對各級的間隙有非常嚴格的要求。當然，這種設計由于增加了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較低。三葉圓裂片式三葉圓裂片式設計和雙圓裂片式設計的原理完全相同，只是在旋轉一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設計有著相同的優點和缺點。為了進一步降低耗電量，在傳動部分有的廠家選用兩個直流馬達，但這也會導致扭矩減小...

若開機之后發現有異常情況，就其在很大的程度上其實也就是要注意立即進行排除或者是停機查找原因。經常檢查一下真空泵整套設備上的各個部分上的回水量，就其在進行工作的時候應該是要注意保證個部分上也就是會有充足的冷卻水。就設備在停止進行使用的時候，就其在很大的程度上其實也就是要注意把爐內氣體進行抽空，長時間不用的時候，其實也就是要考慮去充入到保護性氣體，并且也就是會要注意把設備水冷套當中的循環水放掉。后來講，就真空泵整套設備當中的機械泵、羅茨泵應該是要定期的進行換油加油，對于其羅茨泵的油杯當中也就是應該是要注意保持一直有油。且就真空泵整套設備在進行換油的時候，一定的是要把廢油進行放干凈。在擴散泵...

同時增壓泵運轉。油井內設有油位開關，當油井進人真空泵油或變壓器油時控制面板上的蜂嗚器將自動報警，同時系統關閉。3、關機停運關閉高真空蝶閥一關閉機械增壓泵一關閉真空泵一按急停按鈕，控制電源關閉一關主電源斷路器。當控制方式通過控制盤上的旋鈕轉換到自動位置時，設備將通過真空繼電器的預設控制點自動控制真空泵和機械增壓泵的關閉和啟動。真空泵有哪些分類真空泵有哪些分類呢?1、往大氣中排氣的泵。這種泵一般稱為粗抽泵或前級泵。把系統中空氣抽除到某一需要的工作壓強稱為對該系統粗抽。在另一泵的出口處保持的一個所需的低壓強稱為前級壓強。機械旋轉泵和噴射泵就是典型的粗抽泵或前級泵。2、只往低于大氣壓的環境中排...

更換時應注意保證進氣口和軸承蓋的密封。爪型干式無油真空泵是一種能夠提高產品品質、提高生產效率，為企業創造更多價值的設備，但這些都是建立在合理使用的基礎上。好的使用習慣能夠減少爪泵因故障而造成的停機時間，不會耽誤企業的生產，對企業經濟效益的提升有著切實的幫助。以上就是介紹的干式真空泵冬季使用指南，希望對大家有幫助，更多的資訊請繼續關注我們的網站。干式真空泵有哪些優點:干式真空泵**為顯然的能力即是不用水來做介質，與傳統的真空設備相比，它不妨有用的節儉水資源，減少企業的資源打發，真正使企業的制作愈加的環保，而且不妨提升企業制作發展的能力。同時，在不停發展的優勢能力下，干泵的功能依然充分體現出...

W型往復式真空泵是獲得真空的主要設備之一。用于從密閉容器中或反應鍋中抽除空氣與其他氣體，不適用于抽除腐蝕性的氣體或者帶有硬顆粒灰粉的氣體，W型真空泵具有體積小、維修簡單、閥片壽命長等優點，適用于在較高壓強范圍內使用，極限真空2000pa左右。2、旋片式真空泵。①2X型旋片式真空泵為雙極結構容積式真空泵，由偏心安裝的帶有旋片的轉子高速旋轉，使泵腔的容積不斷變化而完成抽氣作用。該泵裝有氣鎮閥，當被抽氣體中含有少量水蒸汽時，開啟氣鎮閥向泵的排氣腔注入空氣，水蒸氣可以和空氣一起排出，不致在泵中凝結成水，被油乳化。2X型真空泵可以單獨作為主泵使用，也可作為增壓泵、擴散泵和分子泵的前級泵使用。②2...

同時增壓泵運轉。油井內設有油位開關，當油井進人真空泵油或變壓器油時控制面板上的蜂嗚器將自動報警，同時系統關閉。3、關機停運關閉高真空蝶閥一關閉機械增壓泵一關閉真空泵一按急停按鈕，控制電源關閉一關主電源斷路器。當控制方式通過控制盤上的旋鈕轉換到自動位置時，設備將通過真空繼電器的預設控制點自動控制真空泵和機械增壓泵的關閉和啟動。真空泵有哪些分類真空泵有哪些分類呢?1、往大氣中排氣的泵。這種泵一般稱為粗抽泵或前級泵。把系統中空氣抽除到某一需要的工作壓強稱為對該系統粗抽。在另一泵的出口處保持的一個所需的低壓強稱為前級壓強。機械旋轉泵和噴射泵就是典型的粗抽泵或前級泵。2、只往低于大氣壓的環境中排...

泵的壓縮比和泵速與轉子的導向角、轉子與泵體的間隙、嚙合率、循環次數、轉子直徑和轉速有關。由于該泵比螺桿泵循環次數多，壓縮比高，泵速低，可從大氣壓泵送至極限壓力10-1pa。干式真空泵比旋片泵跟往復泵強在哪：下面由干式真空泵的生產廠家來介紹一下干式真空泵比旋片泵跟往復泵強在哪真空泵的種類繁多，像是旋片泵、往復泵這兩種泵都是屬于真空泵。除此之外還有市場占有率比較高的干式真空泵。人們比較感興趣的是它們之間的性能對比，所以在這里就對它們做一個比較，看誰更好：1.旋片泵和干式真空泵的常見問題比較：旋片泵常見問題：有介質真空泵，工作中易產生返流，工作中抽出的可凝性氣體液化后造成真空泵的真空度降低。...

干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式/水環式/噴射式真空泵的更新換代產品。沃德氣體以精良的產品品質和優先的售后服務，全過程滿足客戶的***需求。重慶螺桿干式真空泵型號 同時增壓泵運轉。油井內設有油位開關，當油井進人真空泵油或變壓器油時控制面板上的蜂嗚器將自動報警，同時系統...

1、真空泵抽不了真空可能是電機轉向不對，如反轉不會產生任何真空2、查看真空連接口處得空氣過濾器濾芯是否堵塞，用時間長的話需清理垃圾3、真空泵抽不了真空可能是真空泵葉片碎裂不會產生真空，需更換葉片4、真空泵油要加適量，不能太多，詳細參照廠家要求真空泵在清洗的時候進行拆洗注意哪些事項？真空泵使用時間久了免不了要進行拆洗，那么真空泵在拆洗的時候需要注意哪些事項呢?***一起來了解一下吧!1、拆裝、清洗機械真空泵應在請潔的室內進行。拆洗時，應注意各部件的原裝配位置、方及組合松緊，同時作好記錄，以免裝錯;2、真空泵在取出旋片和轉子時，一定要注意用手捍緊旋片，原因是旋片受彈簧力慣性較大，一不小心容...

隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量，增加設備的維護成本。其次，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質，使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能徹底解決問題，而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應用是普遍的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用...