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4.1.1潔凈廠房位置的選擇，應根據下列要求經技術經濟比較后確定：1應布置在大氣含塵和有害氣體或化學污染物濃度較低、自然環境較好的區域；2應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發大量粉塵和有害氣體或化學污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區域。不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于全年**小頻率風向下風側；3在廠區內應布置在環境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..不同等級的潔凈室、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應保持一定的正壓值。安徽口罩生產車間環境潔凈室檢測誠信推薦7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區）的空氣潔凈度等級，應根據電子產品生產工藝特...

9.5.4潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施，其中有和火災危險場所的設備、管道應符合現行國家標準《和火災危險環境電力裝置設計規范》GB50058的有關規定。9.5.5防靜電接地系統應分別按不同要求設置接地連接端子。在一個房間內應設置等電位的接地網格或閉合的接地銅排環。在防靜電接地系統各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω2。9.5.6潔凈廠房內不同功能的接地系統的設計均應遵循等電位聯結的原則，其中直流接地系統不能與交流接地系統混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設，并應使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω；...

（1）潔凈廠房是現代科學技術發展的產物。隨著科學技術的日新月異，新技術、新工藝、新產品不斷出現，產品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產品質量有很大影響。因此，必須保持凈化空調系統的正常運行。據了解，在規定的空氣潔凈度下生產的產品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內空氣會很快污染，影響產品質量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風中斷，室內的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。無菌室，亦稱為凈化室或潔凈室，是一種專門設計用于...

15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計、施工和投產等各階段的微振動測試、廠房建筑結構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房、建筑物或構筑物對精密設備、儀器的振動影響；2設有精密設備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構造、結構選型、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；3對設有精密設備、儀器的潔凈室（區）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施；4潔凈室(區)內精密設備、儀器，經測試確認受到周圍振動影響時，應采取被動隔振措施。根據潔凈室特點，宜采用縫隙...

從收集的國內外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯系，提供舒適的工作環境。絕大多數標準給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫療行業則更低。現行的大多數標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統一的容許值。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動。江蘇壓縮空氣檢測潔凈室檢測服務7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據空氣潔凈...

10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品生產工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定，并應符合下列規定：1供氣規模應按產品生產所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應設有一定的備用供氣量；2供氣品質應根據生產工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；3供氣系統可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；4應選用能耗少、噪聲低的設備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。江蘇潔凈工作臺潔凈室檢測標準4.2.2因生產工藝的不同，潔凈廠房內常有多種氣體、液體供應管道，如氫、氧、氮、...

6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝和維修的要求。6.1.6設有技術夾層、技術夾道的潔凈廠房，技術夾層、技術夾道的建筑設計應滿足各種風管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。技術豎井的形式、尺寸和構造應滿足風管、管線的安裝、檢修和防火要求。6.1.7對兼有一般生產區和潔凈室（區)的綜合性廠房，廠房的平面布局和構造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產環境帶來不利影響。以前常稱為亂流型潔凈室，室內的氣流并不都按單一方向流動。安徽國內潔凈室檢測方法潔凈廠房中生產區、輔...

（1）潔凈廠房是現代科學技術發展的產物。隨著科學技術的日新月異，新技術、新工藝、新產品不斷出現，產品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產品質量有很大影響。因此，必須保持凈化空調系統的正常運行。據了解，在規定的空氣潔凈度下生產的產品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內空氣會很快污染，影響產品質量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風中斷，室內的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。工業潔凈室--以無生命的微粒作為控制對象。江蘇排...

4.2.1潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環境等型式。潔凈區與非潔凈區之間的壓差不應小于5Pa。北京潔凈工作臺潔凈室檢測報告6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且...

5.1.1隨著科學技術的發展，電子產品的更新換代、產品生產技術的發展十分迅速，以集成電路為**的微電子產品尤為***，集成電路產品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產；微型計算機的迅速發展，使各種元器件生產發展十分迅速。因此，電子工業潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發展的需要，從潔凈廠房的規劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性，以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量。上海無塵室3Q驗證潔凈室檢測周期12.4.1潔凈廠房的自動控制...

隨著生產工藝對純水水質的不斷提高，甚至到了理論純水的程度，尤其是集成電路的發展不但對水中電解質的含量要求極其嚴格，而且對細菌、微粒、有機物及溶解氧等都有極其嚴格的要求；醫藥工業中要求供應的注射用水，對水中含菌量、熱源均有嚴格要求。除了嚴格的純水制造過程外，純水輸送管道的管材選擇和管網設計是保證使用點水質的關鍵。實踐證明，采用循環供水方式是行之有效的。主要是基于保證輸水管道內的流速和盡量減少不循環段的死水區，以減少純水在管道內的停留時間，減少管道材料微量溶出物(即使目前質量比較好的管道也會有微量物質溶出)對超純水水質的影響，同時，基于流水不腐的道理，高的流速也可以防止細菌微生物的滋生。非單向流潔...

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區)內的工業管道應根據管子表面溫度和環境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環境的**溫度。保溫層外表面應采...

（1）潔凈廠房是現代科學技術發展的產物。隨著科學技術的日新月異，新技術、新工藝、新產品不斷出現，產品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產品質量有很大影響。因此，必須保持凈化空調系統的正常運行。據了解，在規定的空氣潔凈度下生產的產品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內空氣會很快污染，影響產品質量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風中斷，室內的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等...

D.3.7噪聲檢測，應符合下列規定：1潔凈室（區）內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區)內的噪聲檢測點應根據電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m,距墻應大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區)面積均分，宜每100m2設一檢測點。D.3.8照度測試，應符合下列規定：1潔凈室(區）內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應在室內溫度穩定、光源光輸出穩定后進行。潔凈室（區)照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應設在工作高度，宜距地面0.85m，應每25m2設一個測點。潔凈室系指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需要都進...

6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室（區）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，構造和施工縫隙應采取密閉措施；2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道，3潔凈室(區)不宜設窗臺；4當地面采用活動地板時，活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。6.3.7用于電子產品生產的潔凈室(區）的墻板和頂棚，宜采用輕質壁板構造。潔凈室可以是單向流和非單向流組...

6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應根據電子產品發展以及生產工藝改造和擴大生產規模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結構宜采用大空間及大跨度柱網，不應采用內墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設計應簡潔、明快，并應適應潔凈室(區)的布置要求。潔凈廠房圍護結構的材料選型應滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結構的耐久性應與電子產品生產線設備、生產環境控制設施協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區。6.1.5設有上技術夾層、下技術夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構造，應滿足產品生產工藝、自動化運輸和公用動力設施安裝...

5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室，其墻板和頂棚宜采用輕質壁板構造。輕質壁板連接構造的整體性和氣密性是很重要的，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外，還靠上下馬槽和板之間的嚴密結合，使潔凈室形成一個完整的匣體。板壁之間的接縫應以硅橡膠等密封材料嵌縫密封，它的作用是防止灰塵在停機時從此進人室內，同時使潔凈室在正常工作時易于保持正壓，減少能量的損耗。此外，潔凈室的關鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙，一定要***密封。目前國內使用的密封方法很多，如液槽密封、機械壓墊密封等，但必須做到涂抹或填嵌方便，操作簡單，而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝。總之，沒有經過高效...

從收集的國內外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環境下，噪聲條件主要在于保障正常操作運行，滿足必要的談話聯系，提供舒適的工作環境。絕大多數標準給出的允許值在65dB(A)~70dB(A)范圍，醫療行業則更低。現行的大多數標準均以A聲壓級作為評價指標，也有少數標準對各頻帶聲壓級提出了限制。少數標準按不同的空氣潔凈度等級分別給出了噪聲容許值，而大多數標準對不同的空氣潔凈度等級潔凈室提出了一個統一的容許值。潔凈室(區)內工業管道不應穿越無關的房間。電子廠房環境潔凈室檢測規范性強6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度...

3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區）內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。。。潔凈室(區)內工業管道不應穿越無關的房間。浙江潔凈氣體3Q驗證潔凈室檢測技術好從收集的國內外潔凈室噪聲標準來看，有以下幾個特點：潔凈室的噪聲標準一般均嚴于保護健康的標準。在潔凈室的環境...

3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區）內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。。。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動。北京潔凈工作臺潔凈室檢測標準C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統安裝正確，使用過程中無滲漏發生，不要將已裝過濾器系統的檢漏與過濾...

4.2.1潔凈室可根據電子產品生產工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。4.2.2電子工業潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應包括活動地板以下的下技術夾層、潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。4.2.3潔凈室型式的選擇應綜合生產工藝要求、節約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴格時，宜采用微環境等型式。應避免出現不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。江蘇過濾器潔凈室檢測規范性強10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統應根據各類產品...

1近年來，在大規模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層...

7.4.5干表冷器的設置應符合下列要求：1安裝位置、外形尺寸應根據潔凈廠房的平面和空間布置確定；2迎面風速、結構形式應根據潔凈室（區)冷負荷、風機過濾器機組所提供的機外余壓確定；3冷凍水進水溫度，宜高于潔凈室（區)內空氣的**溫度；4應設置排水設施。7.4.6凈化空調系統空氣處理機組的選用和布置，應符合下列要求：1應有良好的氣密性，漏風率不得大于1%；2整體結構應有足夠的強度和剛度，內表面應平整、光滑，外表面不應結露；3布置應整齊，并應便于運行和維修；當多套空氣處理機組為同一潔凈室（區)服務時，宜選用相同規格的空氣處理機組；送風機宜采取變頻調速措施。送風機可按凈化空調系統的總風量和總阻力值進行...

9.4.2凈化空調系統的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經常手動調節系統中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節系統調試中，系統啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風機的變頻調速裝置后，送風量的調節變得十分容易，送風壓力穩定。同時潔凈室凈化空調系統的送風機采用變頻調速后節能十分***。9.4.3為避免凈化空調系統因風機停轉無風或超溫時，電加熱器繼續送電加熱會造成設備損壞甚至發生火災，本條強制性規定應設置無風、超溫斷電等保護裝置。斷截面上風速一致，有垂直單向潔凈室，...

6.3.4潔凈廠房技術夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求，且表面應平整、光滑。位于地下的技術層或技術夾層應采取防水或防潮、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時，應采用雙層固定窗，并應有良好的氣密性，同時應采取防結露措施。6.3.6潔凈室（區）門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，構造和施工縫隙應采取密閉措施；2頂棚以上的技術層或技術夾層宜設檢修通道，3潔凈室(區)不宜設窗臺；4當地面采用活動地板時，活動地板材質和支撐方式應根據電子產品生產工藝要求選擇。6.3.7用于電子產品生產的潔凈室(區）的墻板和頂棚，宜采用輕質壁板構造。潔凈區與室外的壓差不應小于10...

8.2.1潔凈廠房內的給水系統應根據各種用途(包括工藝冷卻水)對水質、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產、生活、消防分別設置的給水系統。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時，應根據化學品的物理化學性能和人身安全的要求，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環形敷設布置。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應符合下列要求：1給水系統的管材和附件的選用，應滿足生產工藝和系統工作參數的要求；2埋地管道應耐腐蝕，并應具有承受相應地面荷載的能力；3生產設備循環冷卻水給水和回水管道，應按生產工藝和水質要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應采用與管材相同的材質。嚴寒及寒...

5.1.1隨著科學技術的發展，電子產品的更新換代、產品生產技術的發展十分迅速，以集成電路為**的微電子產品尤為***，集成電路產品基本上是2~3年或更短的時間就會提升一代產品；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產；微型計算機的迅速發展，使各種元器件生產發展十分迅速。因此，電子工業潔凈廠房的設計、建造必須適應這種快速發展的需要，從潔凈廠房的規劃開始，對于電子工廠、潔凈廠房的工藝設計、工藝布局應充分考慮電子產品發展的靈活性，以滿足電子產品生產工藝改造和擴大生產的需求。送風、回風和排風系統的啟閉宜聯鎖。生物安全柜潔凈室檢測誠信推薦D.3.2靜壓差測試，應符合下列規定：1靜...

（1）潔凈廠房是現代科學技術發展的產物。隨著科學技術的日新月異，新技術、新工藝、新產品不斷出現，產品精密度的日益提高，對無塵提出了越來越高的要求。目前，潔凈廠房已廣泛應用于電子、生物制藥、宇航、精密儀器制造等重要部門。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產品質量有很大影響。因此，必須保持凈化空調系統的正常運行。據了解，在規定的空氣潔凈度下生產的產品合格率可提高約10%~30%。一旦停電，室內空氣會很快污染，影響產品質量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體，由于停電造成送風中斷，室內的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出，對工作人員的健康是不利的。凈化空調系統的風機宜采取變頻措施。氣流潔凈室檢測...

7.2.1潔凈廠房內的生產工藝一般為超精細加工或要求無菌無塵，對給水系統要求較為嚴格，如大規模集成電路的超純水、醫藥工業的無菌水等。而且有的水系統的造價高、管理要求嚴格，因此應根據不同的要求設置系統(如純水的不同水質要求，冷卻水的不同水溫、水質要求等），以便重點保證要求嚴格的系統，也利于管理和節省運轉費用。目前設在潔凈廠房中的生產工藝大多為技術發展迅速的工業，如大規模集成電路、生物制藥等。這些生產部門產品升級換代快，生產工藝變化多。因此，在管道設計中應留有充分的余量。不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。上海過濾器潔凈室檢測目的9.5.4潔凈室內可能產生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉體...

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統安裝正確，使用過程中無滲漏發生，不要將已裝過濾器系統的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統不存在影響設施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統。已裝過濾系統的檢漏只在“空態”或“靜態”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調試時，或現有設施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。應...