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高精度光柵尺的普遍應用不僅體現在制造業中，還在科學研究和技術創新方面發揮著重要作用。在物理實驗、光學研究以及精密測量儀器中，高精度光柵尺常被用作標準測量工具，用于校準和驗證其他測量設備的準確性。其高精度和穩定性確保了實驗數據的可靠性，為科學研究提供了準確的基礎數據支持。同時，高精度光柵尺的數字化和自動化特性，也極大地簡化了測量過程，提高了科研效率。在推動科技進步和創新方面，高精度光柵尺的貢獻不可忽視。隨著技術的進一步發展，它在未來將有更普遍的應用前景，為科學研究和工業制造帶來更多創新和突破。安裝光柵尺需嚴格校準基準面，避免機械振動導致測量誤差影響系統精度。成都高精度光柵尺隨著智能制造和工業4....

光柵尺作為一種精密的測量工具，在現代制造業中發揮著至關重要的作用。其主要作用在于提供高精度的位置反饋信號，這對于數控機床、自動化生產線以及各類精密機械設備的運行至關重要。光柵尺通過內部的光柵刻線與光電檢測元件的相互作用，能夠實時、準確地測量出物體的位移量，這種測量方式不僅精度極高，而且響應速度快，穩定性好。在數控機床的加工過程中，光柵尺能夠確保刀具按照預設的路徑進行精確移動，從而提高加工精度和表面質量。同時，在自動化生產線上，光柵尺也能夠幫助控制系統實現對工件位置的精確定位，從而提升生產效率。此外，光柵尺還普遍應用于各種需要高精度測量的科研和實驗領域，如光學平臺調整、精密裝配等，其高精度和可靠...

直線光柵尺，也被稱為光柵尺位移傳感器，其工作原理主要基于光柵的光學原理。這種傳感器由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成，標尺光柵通常固定在機床的固定部件上，而光柵讀數頭則安裝在機床的活動部件上。光柵讀數頭內部包含光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等關鍵組件。當指示光柵上的線紋與標尺光柵上的線紋之間形成一個小角度，并且兩者相對平行放置時，在光源的照射下，會在幾乎垂直的柵紋上形成明暗相間的條紋，這種條紋被稱為莫爾條紋。莫爾條紋的位移放大作用使得光柵尺能夠高精度地測量位移。隨著機床活動部件的移動，莫爾條紋也會相應移動，光柵讀數頭中的光電元件會將這些條紋轉換成正弦波變化的電信號。這些電信號經過電...

在智能制造和精密加工領域，國產光柵尺的應用范圍日益普遍。從數控機床到自動化生產線，從半導體制造到航空航天，國產光柵尺以其優越的性能和穩定的品質贏得了市場的普遍認可。它們不僅提高了生產效率和產品質量，還降低了企業的運營成本。在數控機床領域，國產光柵尺通過實時監測刀具的位移和位置，確保了加工精度和表面質量。在自動化生產線上，國產光柵尺則作為關鍵的控制元件，實現了對物料輸送、裝配定位等過程的精確控制。此外，隨著物聯網和大數據技術的快速發展，國產光柵尺還可以與智能傳感器、云計算等先進技術相結合，為制造業的智能化轉型提供更加全方面的技術支持和解決方案。光柵尺的信號輸出形式包括TTL方波、正弦波等，需匹配...

在精密制造與自動化控制領域，0.5μm光柵尺作為一種高精度測量元件，扮演著至關重要的角色。其憑借優越的分辨率與穩定性，成為數控機床、三坐標測量機及各類精密加工設備中不可或缺的一部分。0.5μm的精度意味著每毫米內能進行高達2000次的細分測量，這樣的能力對于確保加工件的尺寸精度至關重要。在半導體制造、航空航天、精密模具加工等高技術領域，即便是微小的尺寸偏差也可能導致產品性能大打折扣甚至完全失效。因此，0.5μm光柵尺的應用極大地提升了生產效率和產品質量，使得精密制造得以邁向更高的層次。它利用光柵莫爾條紋原理，通過光電轉換將位移量轉化為電信號，實現非接觸式測量，不僅減少了機械磨損，還保證了測量的...

RU2 光柵尺讀數頭是高精度單場掃描系列讀數頭，專為高精度直線測量提供反饋而設計的增量型讀數頭，采用LAMOTION 先進的單場掃描技術、先進的自動增益、自動糾偏技術，可讀取20um 柵尺,精度高、抗污染性能強,適用于高精密機床、高速自動化設備等需要閉環、速度控制的高性能、高可靠性應用場合。RU2 光柵尺讀數頭兼容LAMOTION 先進的 RUS系列鋼帶柵尺,以及RUS-127系列插槽式鋼帶尺。讀數頭內置的真高速ADC 細分可以提供更大帶寬:同時更有效降低細分噪聲和細分誤差，配合濾波在保證低位置噪聲和平滑的速度控制情況下,可達到 20nm 的有效分辨率，內置REF 參考原點和限位輸出，并提供標...

光柵尺規格在精密測量領域中扮演著至關重要的角色，它是衡量位移精度的關鍵工具。一般而言，光柵尺規格包括其測量長度、分辨率、精度、工作環境溫度范圍以及防護等級等多個方面。例如，測量長度可以從幾十毫米到幾米不等，以適應不同尺寸的設備需求。分辨率則決定了光柵尺能夠檢測到的較小位移變化，通常可以達到微米級甚至納米級，這對于高精度加工和定位至關重要。此外，精度是衡量光柵尺性能的重要指標，它反映了實際測量值與理論值之間的偏差，高精度光柵尺能夠確保測量結果的準確性。工作環境溫度范圍則決定了光柵尺在不同氣候條件下的穩定性和可靠性，寬溫型光柵尺能夠適應更為惡劣的環境條件。防護等級則關乎光柵尺的耐用性和抗污染能力，...

開放式光柵尺作為一種高精度的位移測量裝置，在現代制造業中扮演著至關重要的角色。它通過將一束光線投射到一系列等間距的柵格上，并利用光電轉換原理來精確測量物體的移動距離。與傳統的封閉式光柵尺相比，開放式光柵尺具有更大的測量范圍和更高的靈活性，可以適應各種復雜的測量環境。其設計允許光線在不受限制的空間內傳播，從而減少了測量誤差，提高了系統的精度和穩定性。此外，開放式光柵尺還具備出色的抗干擾能力和耐久性，即使在惡劣的工作條件下也能保持穩定的性能。這使得它在數控機床、自動化設備、精密測量儀器等領域得到了普遍應用，為現代制造業的智能化和自動化發展提供了有力的技術支持。3D打印設備Z軸安裝光柵尺，確保層厚累...

光柵尺作為一種高精度位移測量傳感器，在現代制造業中發揮著至關重要的作用。它通過在透明或不透明的材料上刻制一系列等間距的平行線條，當光線通過這些線條時會產生莫爾條紋效應，從而實現對物體的位移的精確測量。在數控機床、自動化生產線以及精密測量儀器中，光柵尺的應用極大地提高了加工精度和測量效率。其工作原理基于光學干涉和衍射，通過將光信號轉換為電信號，再經過信號放大、整形和細分處理后，輸出高精度的位移數據。光柵尺不僅具有高分辨率、高線性度和長壽命的特點，還能適應各種惡劣的工作環境，如高溫、高濕、強磁場等，確保了測量的穩定性和可靠性。隨著科技的進步，光柵尺的性能不斷提升，應用領域也日益普遍，為現代制造業的...

光柵尺的工作原理基于光的衍射和干涉現象，通過精密的光柵刻線和光電轉換技術，將位移量轉化為電信號進行輸出。這一特性使得光柵尺在精密測量領域具有得天獨厚的優勢。在科研實驗和高級裝備制造中，光柵尺常被用于微小位移的測量，如光學平臺的微調、半導體加工設備的定位等。其高精度和抗干擾能力確保了測量結果的準確性和可靠性。同時，光柵尺還具備安裝簡便、維護成本低等優點，使得它在各種高精度測量場合中備受青睞。隨著材料科學和光電技術的不斷進步，光柵尺的性能將進一步提升，為精密制造和科學研究提供更加精確、可靠的測量手段。動態測量時，光柵尺的響應頻率需匹配機床運動速度，避免信號失真。國產光柵尺供貨公司鋼帶式光柵尺的工作...

光柵尺是一種利用光學原理進行精密位移測量的裝置，其工作原理基于莫爾條紋的形成和分析技術。光柵尺系統主要由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。標尺光柵上有一系列等間距的刻線，通常固定在機床的運動部件上；而光柵讀數頭則固定在機床的靜止部件上，內部包含指示光柵和檢測系統。當光柵讀數頭中的指示光柵與標尺光柵相互靠近并且存在微小角度時，兩者的線紋交叉會產生一系列明暗相間的莫爾條紋。這些條紋的形成是由于兩組線紋重疊產生的光波干涉效應，當兩線紋完全對齊時為亮區，錯開一定角度時則形成暗區。隨著標尺光柵隨機床部件移動，莫爾條紋的圖案會隨之變化。光柵讀數頭中的光電探測器或傳感器捕捉這些變化，分析出莫爾條紋的移動距離，...

光柵尺作為一種高精度的位移測量裝置，其重要組成結構主要包括標尺光柵和光柵讀數頭兩部分。標尺光柵通常被固定在機床的固定部件上，而光柵讀數頭則安裝在機床的活動部件上。標尺光柵作為測量的基準，其精度和穩定性對于整個測量系統的性能至關重要。光柵讀數頭則是光柵檢測裝置的關鍵組件，內部集成了光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等多個精密部件。這些部件協同工作，使得光柵讀數頭能夠準確地捕捉到標尺光柵上的位移信息。納米壓印設備采用差分式光柵尺設計，消除共模誤差提升重復精度。直線光柵尺銷售0.1μm光柵尺作為現代精密測量技術中的重要組件，普遍應用于數控機床、精密加工設備以及科研實驗等領域。其精度高達0....

光柵尺作為一種高精度測量傳感器，在制造業和科研領域發揮著至關重要的作用。光柵尺種類的劃分主要基于制造工藝、光學原理、結構用途和輸出信號等多個維度。從制造工藝和光學原理來看，光柵尺主要分為透射光柵和反射光柵。透射光柵是在透明的玻璃表面刻上間隔相等的不透明線紋制成的，這種光柵的線紋密度高，可達每毫米100條以上，適用于高精度測量。反射光柵則是在金屬的反光平面上刻上平行、等距的密集刻線，利用反射光進行測量，其刻線密度一般在每毫米4\~50條范圍內，具有結構緊湊、安裝方便等優點，適用于空間受限的測量場景。此外，透射光柵通常使用玻璃材質作為基體，而反射光柵的基體材料可以是玻璃或鋼，這些不同的材質選擇也進...

隨著科技的不斷發展，小型光柵尺的性能也在不斷提升。現代小型光柵尺不僅具有更高的分辨率和測量精度，還具備了更快的響應速度和更強的數據處理能力。這使得它能夠滿足更加復雜和多樣化的測量需求。同時，一些新型的小型光柵尺還采用了先進的封裝技術和材料，提高了其防塵、防水、抗油污等性能，使其能夠在更加惡劣的環境下穩定工作。此外，一些廠家還提供了定制化的服務，可以根據客戶的實際需求，生產具有特殊功能和尺寸的小型光柵尺。這些改進和創新，使得小型光柵尺在工業自動化和智能制造領域的應用前景更加廣闊。光柵尺的信號處理芯片集成ADC和DSP功能，實現實時誤差補償計算。長春環形光柵尺國產光柵尺不僅在技術上取得了長足的進步...

光柵尺作為一種精密的測量工具，其材質的選擇對于其性能和使用壽命具有至關重要的影響。在眾多材質中，不銹鋼因其出色的耐腐蝕性和強度高成為了光柵尺制造的理想選擇之一。不銹鋼材質的光柵尺能夠在惡劣的工業環境中保持高精度和穩定性，無論是潮濕、高溫還是具有腐蝕性氣體的場合，都能展現出良好的適應性。此外，不銹鋼的硬度高，耐磨性強，這意味著光柵尺在使用過程中不易受到劃痕或磨損，從而保證了測量的長期準確性。同時，不銹鋼材質易于清潔和維護，減少了因污染而導致的測量誤差，提高了工作效率。因此，不銹鋼光柵尺普遍應用于機械加工、自動化生產線以及精密測量等領域，成為工業制造中不可或缺的一部分。真空鍍膜設備中，光柵尺監控基...

數控機床作為現代制造業中的精密加工設備，其重要部件之一便是光柵尺。光柵尺是一種高精度的位移測量裝置，它通過莫爾條紋原理來檢測機床工作臺或刀具的移動距離和位置，確保加工過程中的精度和穩定性。在數控機床的加工過程中，光柵尺將微小的位移變化轉化為電信號，并經過電路處理和計算機分析，實現對加工路徑的精確控制。這種高精度的反饋機制，使得數控機床能夠完成復雜且精細的零件加工，滿足航空航天、汽車制造、電子信息等高科技產業對零件精度的嚴格要求。此外，光柵尺還具有良好的抗磁干擾能力和耐磨損性能，能夠在惡劣的加工環境中保持長期穩定的工作表現，是現代數控機床不可或缺的重要組成部分。多場耦合補償算法能消除溫度變化對光...

線性光柵尺作為一種高精度的測量工具，在現代制造業中發揮著至關重要的作用。它利用光學原理，通過光柵的透射和反射來精確測量物體的位移和位置變化。光柵尺上刻有精密的等間距線條，當光源照射時，這些線條會產生莫爾條紋，而探測器則能夠捕捉這些條紋的移動，從而計算出物體的移動距離。這種技術不僅具有極高的分辨率，還能實現快速響應，使得機器在高速運行中也能保持高精度的定位。線性光柵尺在數控機床、自動化生產線以及精密測量設備等領域得到了普遍應用，為制造業的精確控制和高效生產提供了有力支持。同時，隨著技術的不斷進步，線性光柵尺的性能也在不斷提升，其測量精度和穩定性越來越高，為現代工業的發展注入了新的活力。光柵尺的安...

PI20系列光柵為一體式不銹鋼圓光柵，其柱面上刻有20μm柵距的增量式刻線，并具有光學參考零位。具有六種尺寸可供選擇(直徑75、100、115、150、200、300mm)。圓光柵安裝精度很好，且具有錐面安裝系統，可減少對公差要求高的加工零件的需求，并消除偏心。具有內徑大、安裝靈活的特點。非接觸形式消除了傳統封閉式光柵固有的反向間隙、扭轉誤差(扭變)及其他機械滯后誤差。適配RX2讀數頭。產品特點：一體式不銹鋼圓光柵,20 μm柵距，光學零位；多直徑選擇(直徑75、100、115、150、200、300 mm)；錐面安裝系統，可減少對公差要求高的加工零件的需求,并消除偏心，安裝靈活的特點；非接觸...

RU2 光柵尺讀數頭是高精度單場掃描系列讀數頭，專為高精度直線測量提供反饋而設計的增量型讀數頭，采用LAMOTION 先進的單場掃描技術、先進的自動增益、自動糾偏技術，可讀取20um 柵尺,精度高、抗污染性能強,適用于高精密機床、高速自動化設備等需要閉環、速度控制的高性能、高可靠性應用場合。RU2 光柵尺讀數頭兼容LAMOTION 先進的 RUS系列鋼帶柵尺,以及RUS-127系列插槽式鋼帶尺。讀數頭內置的真高速ADC 細分可以提供更大帶寬:同時更有效降低細分噪聲和細分誤差，配合濾波在保證低位置噪聲和平滑的速度控制情況下,可達到 20nm 的有效分辨率，內置REF 參考原點和限位輸出，并提供標...

在高科技產業迅速發展的背景下，高精密光柵尺的技術革新不斷推動著制造業的轉型升級。新一代的高精密光柵尺采用了更先進的半導體材料和微納加工技術，不僅進一步提升了測量精度和穩定性，還實現了更小的體積和更高的集成度。這使得高精密光柵尺能夠更好地融入各種精密設備中，滿足更普遍、更精細的測量需求。同時，隨著智能化技術的發展，高精密光柵尺也開始融入物聯網、大數據等先進技術，實現了遠程監控、智能診斷等功能，為設備的維護和管理帶來了極大的便利。可以預見，在未來，高精密光柵尺將繼續在精密測量領域發揮重要作用，引導制造業向更高水平邁進。光柵尺的信號電纜彎曲半徑需≥10倍直徑，避免內部導線斷裂風險。遼寧鋼帶式光柵尺光...

位移光柵尺作為一種高精度的測量工具，在工業自動化和精密制造領域扮演著至關重要的角色。它利用光柵原理，通過光柵副的相對移動，將位移量轉換成電信號進行輸出，實現了對物體的位移的精確測量。這種測量方式不僅具有高分辨率的特點，能夠捕捉到微米級的位移變化，還具備良好的穩定性和重復性，確保了測量結果的準確性和可靠性。在數控機床、三坐標測量機以及自動化生產線等高級設備中，位移光柵尺被普遍應用于位置反饋、長度測量和定位控制等環節，有效提升了設備的加工精度和作業效率。同時，其抗干擾能力強、環境適應性好等特點，也使其在復雜多變的工業環境中表現出色，成為了現代制造業不可或缺的重要組件。光柵尺的標尺光柵通常采用光刻工...

隨著智能制造和工業4.0時代的到來，國產光柵尺正迎來前所未有的發展機遇。為了適應更加復雜多變的測量需求，國產光柵尺在技術創新和產品研發上不斷取得突破。例如，一些企業推出了集成式光柵尺，將傳感器、信號處理電路等組件高度集成，簡化了安裝和使用過程。同時，智能化、網絡化也成為了國產光柵尺發展的新趨勢。通過內置傳感器和無線通信模塊，國產光柵尺能夠實時采集并傳輸測量數據，為智能制造系統的遠程監控和數據分析提供了有力支持。此外，國產光柵尺在定制化服務方面也展現出了強大的競爭力，能夠根據客戶的具體需求提供量身定制的解決方案，進一步提升了其在市場上的競爭力。粒子加速器中的磁鐵定位系統，依賴光柵尺實現亞微米級的...

在精密制造和質量控制領域，小型光柵尺以其優越的性能和普遍的應用性，成為了不可或缺的關鍵元件。它不僅能夠滿足高精度測量的需求，還能適應各種復雜的工作環境。小型光柵尺采用先進的材料和工藝制造，具有良好的耐磨性和耐腐蝕性，能夠在惡劣的工作條件下長時間穩定運行。同時，小型光柵尺還具備自動校準和誤差補償功能，能夠自動修正測量誤差，提高測量數據的準確性。此外，小型光柵尺的分辨率高，能夠捕捉到微小的位移變化，為精密制造和質量控制提供了有力的支持。無論是在航空航天、醫療器械，還是在汽車電子、半導體制造等領域，小型光柵尺都發揮著重要的作用，推動了制造業的快速發展。光柵尺分辨率選擇需匹配系統要求，過高參數可能增加...

在數控機床的日常運作中，光柵尺的作用不僅限于位置檢測，它還直接關系到機床的閉環控制系統。當機床接收到加工指令后，控制系統會根據光柵尺反饋的實際位置信息，不斷調整伺服電機的驅動電流，以實現工作臺或刀具的精確移動。這一過程需要光柵尺具備高速響應的能力，以確保機床能夠快速、準確地跟蹤指令軌跡。同時，光柵尺的高分辨率特性使得機床能夠識別并補償微小的位置誤差，進一步提升了加工精度。此外，光柵尺的維護也相對簡單，只需定期清理和校準，即可確保其長期穩定運行。可以說，光柵尺的應用極大地推動了數控機床技術的發展，為現代制造業的高質量發展提供了有力支持。超長光柵尺采用分段拼接技術，確保30米行程納米級定位精度。江...

光柵尺工作原理是基于莫爾條紋的形成和分析技術的一種精密位移測量方式。光柵尺主要由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。標尺光柵通常固定在機床的運動部件上，其上有一系列等間距的刻線；而光柵讀數頭則固定在機床的靜止部件上，包含指示光柵和檢測系統。當光柵讀數頭中的指示光柵與標尺光柵相互靠近并且存在微小角度時，兩者的線紋交叉會產生一系列明暗相間的莫爾條紋。這些條紋的形成是由于兩組線紋重疊產生的光波干涉效應，當兩線紋完全對齊時為亮區，錯開一定角度時則形成暗區。隨著標尺光柵隨機床部件移動，莫爾條紋的圖案會隨之變化。通過光電探測器或傳感器捕捉這些變化，可以分析出莫爾條紋的移動距離，進而轉換成機床部件的實際位移量。...

光柵尺作為一種高精度的位移測量裝置，其重要組成結構主要包括標尺光柵和光柵讀數頭兩部分。標尺光柵通常被固定在機床的固定部件上，而光柵讀數頭則安裝在機床的活動部件上。標尺光柵作為測量的基準，其精度和穩定性對于整個測量系統的性能至關重要。光柵讀數頭則是光柵檢測裝置的關鍵組件，內部集成了光源、會聚透鏡、指示光柵、光電元件及調整機構等多個精密部件。這些部件協同工作，使得光柵讀數頭能夠準確地捕捉到標尺光柵上的位移信息。真空環境用光柵尺采用無出氣材料，避免污染半導體制造的潔凈空間。山東光柵尺的作用光柵尺規格不僅關乎測量的精度，還直接影響到系統的集成和成本效益。在實際應用中，光柵尺需要與控制系統或數據采集設備...

在數控機床的日常運作中，光柵尺的作用不僅限于位置檢測，它還直接關系到機床的閉環控制系統。當機床接收到加工指令后，控制系統會根據光柵尺反饋的實際位置信息，不斷調整伺服電機的驅動電流，以實現工作臺或刀具的精確移動。這一過程需要光柵尺具備高速響應的能力，以確保機床能夠快速、準確地跟蹤指令軌跡。同時，光柵尺的高分辨率特性使得機床能夠識別并補償微小的位置誤差，進一步提升了加工精度。此外，光柵尺的維護也相對簡單，只需定期清理和校準，即可確保其長期穩定運行。可以說，光柵尺的應用極大地推動了數控機床技術的發展，為現代制造業的高質量發展提供了有力支持。復合式光柵尺集成溫度傳感器，實時補償熱膨脹引起的測量偏差。陜...

小型光柵尺作為一種高精度的測量工具，在現代制造業中扮演著至關重要的角色。它通常被安裝在機床、檢測設備以及各種自動化生產線上，用于精確測量位移和位置。與傳統測量工具相比，小型光柵尺具有體積小、重量輕、安裝方便等明顯優勢。其工作原理基于莫爾條紋效應，通過光柵尺上的刻線與讀數頭中的光電器件相互作用，將位移量轉化為電信號輸出，從而實現高精度的測量。此外，小型光柵尺還具有抗干擾能力強、穩定性高等特點，能夠在惡劣的工作環境中保持較高的測量精度。這使得它在半導體制造、精密機械加工、航空航天等領域得到了普遍應用，成為提升產品質量和生產效率不可或缺的重要工具。納米壓印設備采用差分式光柵尺設計，消除共模誤差提升重...

光柵尺作為一種高精度的位移測量裝置，普遍應用于數控機床、半導體制造、測量儀器及機器人技術等領域。在數控機床中，光柵尺用于控制刀具的精確移動，保證加工件的尺寸精度。其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大、檢測精度高、響應速度快的特點。光柵尺的工作原理使其能夠提供微米級甚至納米級的測量精度，并且由于是基于光學原理，不易受到外界電磁干擾，具有高穩定性和耐用性。此外，光柵尺的非接觸式測量方式不會對被測物體造成磨損，適用于各種精密測量場合。隨著科技的發展，光柵尺的精度和應用范圍還在不斷提升，未來的光柵尺可能會更加微型化、集成化，實現更智能化的測量和控制。復合式光柵尺集成溫度傳感器，實時補償熱膨脹引起...

電子光柵尺的工作流程是一個復雜而精確的過程。光柵讀數頭通過內部的光源照射標尺光柵，形成光學信號。這些信號包含了標尺光柵的位移信息，當光學信號入射到光電檢測器上時，會產生與光學信號亮度成正比的電流。這個電流信號隨后被轉化為數值信號，可以通過A/D轉換器將模擬信號轉換為數字信號進行記錄和處理。數值信號經過處理得到物理量的數值輸出，如位移、速度等。電子光柵尺不僅具有高精度和穩定性好的優點，而且其測量輸出的信號為數字脈沖，具有檢測范圍大、響應速度快的特點。這使得電子光柵尺在數控機床、精密儀器、制造業等多個領域有著普遍的應用，成為精密測量的重要工具。雙頻激光干涉儀可標定光柵尺的測量不確定度，構建計量溯源...