秉承“斫雕為樸,芯程再啟”的企業宗旨,啟樸芯微致力于將先進的光刻、深硅刻蝕、鍵合等技術服務方案應用于實際生產中,不斷提升產品的性能和品質,以滿足客戶日益增長的多樣化需求。啟樸芯微自主研發的小型高光譜相機產品,以光功能芯片為,通過對連續的物體光譜進行高精度采集和分析,能夠獲取豐富的反射和輻射光譜信息,為科研、醫療、環境監測等領域提供了強有力的技術支持。啟樸芯微團隊充分發揮自身技術優勢,利用MEMS芯片結構輕便、精細度高、材料強度高等特點,研制具有自主知識產權的光譜濾波芯片及其成像系統,其通過像素級定標技術實現圖像精細分析,比較大限度避免強光干擾問題,極大提升了工業制造品檢測效率,為光學傳感技術的...
在產業化方面,啟樸芯微已實現多項突破。2023年,公司作為西北工業大學寧波研究院孵化的智能傳感芯片團隊企業,成功入庫寧波市科技型中小企業,并斬獲千萬元級訂單,彰顯其技術成果轉化的高效性4。2024年,公司被正式認定為****,進一步鞏固了其在MEMS領域的行業地位1。此外,啟樸芯微積極參與行業生態建設,例如在2024年深圳國際傳感器展會上展示其光譜濾波芯片、成像系統解決方案及一站式代工服務,與國際巨頭同臺競技,凸顯技術實力與市場競爭力。以MEMS光功能芯片為中心,加以啟樸芯微前沿技術的支撐,讓傳感更智能。湖南光學傳感芯片MEMS微納加工能力啟樸芯微團隊研發的微小型光譜成像系統,猶如一顆璀璨的科...
響應國家發展高性能、規?;圃旒夹g的號召,啟樸芯微團隊以敏銳的洞察力和強烈的使命感,瞄準國家在關鍵基礎零部件、**裝備、集成電路等領域的重要需求。他們面向更***的工業檢測應用前景,自主研發了消高反光特種視覺檢測系統。這一系統猶如一位“精細的守護者”,通過像素級定標技術實現圖像精細分析,比較大限度避免強光干擾問題。在實際應用中,過殺率和誤判率分別低于2.0%、0.3%,極大提升了工業制造品檢測效率。在研發過程中,團隊成功突破光功能**芯片定制化設計門檻,融合了當今世界先進的微米級、納米級半導體加工工藝,有效解決了產品模塊化、高精度定位組裝難題。這一系列的技術突破,展現了啟樸芯微團隊的技術前沿性...
作為當今世界先進的微米級、納米級半導體加工工藝,MEMS具有廣泛應用,以此種技術制成的光功能芯片,作為光學檢測系統的中心,可以通過對連續的物體光譜采集,以獲取反射、輻射光譜信息。多年來,啟樸芯微團隊持續攻關,將精細度高、可塑性強等優勢賦予MEMS工藝全流程,形成具有自主知識產權的MEMS光譜芯片、柔性檢測芯片加工體系。同時,立足客戶對于MEMS產業長期開發的需要,寧波啟樸芯微系統技術有限公司持續助力廣大客戶的技術迭代與項目推進,以B2B模式攜手合作伙伴,堅持以客戶為中心的服務理念,通過定制開發、項目互補和公司直營相結合的方式,建立生產人員直接溝通渠道,全程掌握從業務簽訂、開單生產到暫存、發貨等...
寧波啟樸芯微系統技術有限公司(以下簡稱“啟樸芯微”)是一家專注于微機電系統(MEMS)技術研發與產業化的****,成立于西北工業大學寧波研究院的孵化體系中,并在短時間內憑借技術創新與產業化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件設計、工藝開發及代工服務,擁有自主可控的8英寸MEMS工藝產線,兼容6/4英寸晶圓級加工,覆蓋光刻、深硅刻蝕、薄膜沉積、晶圓鍵合、激光切割等**工藝能力,為行業提供從結構設計到封裝測試的全鏈條服務36。其技術團隊在MEMS領域經驗豐富,尤其在光學類與SOI(絕緣體上硅)特色工藝方面具備***優勢,例如通過原子層沉積(ALD)技術實現高精度薄膜制備,提升器件性能與可靠性。啟樸芯...
在具備技術能力的基礎上,啟樸芯微持續助力廣大客戶的技術迭代與項目推進,通過定制開發、項目互補與公司直營相結合的方式,打造小型化、集成化的高分辨率特種光學相機模組和光學檢測解決方案,切實滿足客戶對于高性能、高精度產品服務的需求,遵循市場與生產對接流程,市場人員負責對接客戶方前后需求,建立生產人員直接溝通渠道并及時予以反饋,全程掌握從業務簽訂、開單生產到暫存、發貨等環節,為廣大客戶提供質量、效率與穩定性并具的服務體驗。啟樸芯微,將持續開展特種光學產品應用與推廣,助力行業發展!長沙傳感檢測系統MEMS微納加工需求咨詢寧波啟樸芯微的8英寸MEMS規?;庸し誒DM產線,是我國芯片產業的重要標志。它的...
啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是科技創新的典范。它的研發過程充滿了挑戰和機遇,團隊成員們憑借著堅定的信念和不懈的努力,成功突破了技術瓶頸。這一系統的應用,不僅提高了工業制造品的檢測效率,還推動了我國在工業檢測領域的技術進步。同時,它也為其他領域的技術創新提供了有益的借鑒。在未來,相信這一系統將在更多的領域得到應用,為我國科技發展做出更大的貢獻。寧波啟樸芯微的實驗區,是科技創新的圣地。先進的設備和***的科研人員,共同創造著科技的奇跡。8英寸MEMS規?;庸し誒DM產線在這里不斷發展壯大,為我國芯片產業的發展提供了強大的動力。**研發室和光學實驗室里的創新成果,不斷推動著科...
啟樸芯微團隊研發的微小型光譜成像系統,以其獨特的技術優勢在科技領域嶄露頭角。它的工作原理雖然復雜,但卻蘊含著巨大的價值。在食品、藥品、精細零部件等加工環境中的應用,為產品的質量控制提供了有效的手段。同時,它的技術發展也為未來的科技研究提供了新的思路。隨著科技的不斷進步,相信這一系統將在更多的領域得到應用,為人類社會的發展做出更大的貢獻。而小型多光譜相機和消高反光特種視覺檢測系統,也同樣是團隊科技創新的杰出成果,它們在不同的領域發揮著重要作用,共同推動著我國科技事業的發展?;诩庸つ芰Α⒓夹g研發路徑優勢,啟樸芯微持續凝聚MEMS領域專業人才,以實現工藝能力的突破。寧波流量傳感器MEMS微納加工價...
寧波啟樸芯微系統技術有限公司(以下簡稱“啟樸芯微”)是一家專注于微機電系統(MEMS)技術研發與產業化的****,成立于西北工業大學寧波研究院的孵化體系中,并在短時間內憑借技術創新與產業化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件設計、工藝開發及代工服務,擁有自主可控的8英寸MEMS工藝產線,兼容6/4英寸晶圓級加工,覆蓋光刻、深硅刻蝕、薄膜沉積、晶圓鍵合、激光切割等**工藝能力,為行業提供從結構設計到封裝測試的全鏈條服務36。其技術團隊在MEMS領域經驗豐富,尤其在光學類與SOI(絕緣體上硅)特色工藝方面具備***優勢,例如通過原子層沉積(ALD)技術實現高精度薄膜制備,提升器件性能與可靠性。MEM...
啟樸芯微團隊在科技探索的道路上從未停歇,他們持續攻關,不斷突破技術瓶頸。以光功能芯片為**的微小型光譜成像系統便是他們的杰出成果之一。這一系統猶如一雙敏銳的“科技之眼”,通過連續的光譜采集,在鏡頭前端精細獲取被檢測對象反射的寬波長混合光。隨后,分光元器件將這些混合光分散為不同頻率的單波長光,并投射到面陣相機上。計算機程序則像一位智慧的“大腦”,對數據進行校準和處理,**終形成連續性、高分辨率的光譜圖像數據。這一過程不僅反饋了空間信息,還包含了豐富的光譜信息,具有空間可識別性、超多波段、圖譜合一等***優點。在食品、藥品、精細零部件等加工環境下,該系統能夠保障品質安全,為行業發展提供了有力的技術...
在科技產品的創新之路上,啟樸芯微團隊同樣展現出非凡的實力。他們研發的小型多光譜相機,由同時搭載的多個鏡頭、濾波模組組成,如同一個精密的“信息收集器”。每個鏡頭能夠識別通過的不同窄波段光譜,形成復合信息,并通過光纖傳輸元件將圖像實時回傳至計算機處理。計算機則像一位技藝高超的“畫家”,將這些信息轉化為較為穩定的多光譜圖形化數據,呈現給使用者。團隊先后完成多鏡頭式、分孔徑式的多光譜相機樣機試制,這些樣機可面向人體膚質、工業制品、植物等不同使用環境進行檢測工作。同時,團隊自主完成了配套PC端應用程序后端搭建、應用界面美化設計、自動識別設置,使產品更加貼合實際使用需求,為用戶帶來了全新的科技體驗。啟樸芯...
精耕細耘,以業為本。面對目前國內光學傳感領域實際需求,啟樸芯微同樣將展出由項目團隊自主研發的小型高光譜相機產品。該系統以光功能芯片為中心,通過對連續的物體光譜采集,以獲取反射、輻射光譜信息。多年以來技術團隊持續攻關,將結構輕便、精細度高、材料強度高、可定制性等技術優勢賦予光譜成像系統的研制工藝,形成了具有自主知識產權的光譜濾波芯片及其成像系統,同時通過自主掌握MEMS晶圓級加工制造能力,實現集成芯片和模塊化光譜成像相機的自主研制,可以為典型目標的探測識別提供了有力保障。寧波啟樸芯微系統技術有限公司自主可控8英寸MEMS研發中試ODM產線,具有MEMS制造優勢。株洲前沿領域MEMS微納加工能力啟...
啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是工業檢測領域的一次**。它的出現,解決了傳統檢測方法中的諸多難題。通過像素級定標技術和先進的半導體加工工藝,實現了圖像的精細分析和產品的高精度定位組裝。過殺率和誤判率的降低,提高了檢測效率和產品質量。這一系統的成功應用,不僅為企業帶來了經濟效益,還提升了我國在工業檢測領域的國際競爭力。同時,它也為其他領域的技術創新提供了借鑒和參考。寧波啟樸芯微的8英寸MEMS規模化加工服務ODM產線,是我國芯片產業發展的重要支撐。它的建立,標志著我國在芯片制造領域取得了重大突破。先進的設備和完善的設施,為芯片的研發和制造提供了有力的保障。服務200余家高校、科...
響應國家發展高性能、規?;圃旒夹g的號召,啟樸芯微團隊以敏銳的洞察力和強烈的使命感,瞄準國家在關鍵基礎零部件、**裝備、集成電路等領域的重要需求。他們面向更***的工業檢測應用前景,自主研發了消高反光特種視覺檢測系統。這一系統猶如一位“精細的守護者”,通過像素級定標技術實現圖像精細分析,比較大限度避免強光干擾問題。在實際應用中,過殺率和誤判率分別低于2.0%、0.3%,極大提升了工業制造品檢測效率。在研發過程中,團隊成功突破光功能**芯片定制化設計門檻,融合了當今世界先進的微米級、納米級半導體加工工藝,有效解決了產品模塊化、高精度定位組裝難題。這一系列的技術突破,展現了啟樸芯微團隊的技術前沿性...
啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是科技創新的典范。它的研發過程充滿了挑戰和機遇,團隊成員們憑借著堅定的信念和不懈的努力,成功突破了技術瓶頸。這一系統的應用,不僅提高了工業制造品的檢測效率,還推動了我國在工業檢測領域的技術進步。同時,它也為其他領域的技術創新提供了有益的借鑒。在未來,相信這一系統將在更多的領域得到應用,為我國科技發展做出更大的貢獻。寧波啟樸芯微的實驗區,是科技創新的搖籃。先進的設備和***的科研人員,共同孕育著科技的希望。8英寸MEMS規模化加工服務ODM產線在這里不斷發展壯大,為我國芯片產業的發展提供了強大的動力。**研發室和光學實驗室里的創新成果,不斷推動著科...
小型多光譜相機是科技與生活的緊密結合。它的出現,改變了人們的生活方式。在人體膚質檢測、工業制品檢測、植物檢測等領域的應用,使得人們能夠更加方便地獲取信息,做出更加科學的決策。啟樸芯微團隊自主研發的配套PC端應用程序,為用戶提供了更加便捷的服務。這一產品的成功,不僅體現了科技的力量,也展示了團隊的創新能力和市場洞察力。啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是工業檢測領域的一次重大創新。它的出現,解決了傳統檢測方法中的諸多難題,提高了檢測效率和產品質量。通過像素級定標技術和先進的半導體加工工藝,實現了圖像的精細分析和產品的高精度定位組裝。這一系統的成功應用,為我國工業檢測領域的發展帶來了...
啟樸芯微團隊研發的微小型光譜成像系統,在科技領域具有重要的意義。它的出現,為光譜分析技術帶來了新的發展機遇。在食品、藥品、精細零部件等加工環境中的應用,不僅提高了檢測的準確性和效率,還為產品的質量控制提供了科學依據。同時,它的技術特點也為未來的科技研究提供了新的方向。隨著科技的不斷進步,相信這一系統將在更多的領域得到應用和發展,為人類社會的進步做出更大的貢獻。啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是科技創新的典范。它的研發過程充滿了挑戰和機遇,團隊成員們憑借著堅定的信念和不懈的努力,成功突破了技術瓶頸。這一系統的應用,不僅提高了工業制造品的檢測效率,還推動了我國在工業檢測領域的技術進...
小型多光譜相機是科技與生活的緊密結合。它的出現,改變了人們的生活方式。在人體膚質檢測、工業制品檢測、植物檢測等領域的應用,使得人們能夠更加方便地獲取信息,做出更加科學的決策。啟樸芯微團隊自主研發的配套PC端應用程序,為用戶提供了更加便捷的服務。這一產品的成功,不僅體現了科技的力量,也展示了團隊的創新能力和市場洞察力。啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是工業檢測領域的一次重大創新。它的出現,解決了傳統檢測方法中的諸多難題,提高了檢測效率和產品質量。通過像素級定標技術和先進的半導體加工工藝,實現了圖像的精細分析和產品的高精度定位組裝。這一系統的成功應用,為我國工業檢測領域的發展帶來了...
隨著技術進步,MEMS正朝著更高集成度、多功能化和智能化方向發展。例如,將MEMS與納米技術結合(NEMS),可制造更敏感的傳感器;新材料(如氮化鋁、碳化硅)的引入提升了器件耐高溫和抗腐蝕性能。此外,MEMS與人工智能(AI)的結合催生了“智能傳感器”,能夠實時數據分析和自適應校準。然而,挑戰依然存在:復雜三維結構的制造需要更高精度的工藝控制;微型化帶來的可靠性問題(如機械疲勞、封裝密封性)亟待解決;多學科交叉設計對研發團隊提出了更高要求。未來,隨著5G、自動駕駛和柔性電子技術的普及,MEMS將在新型人機交互、生物醫學植入設備等領域開辟更廣闊的應用場景,但其商業化仍需突破成本與量產一致性的瓶頸...
啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是工業檢測領域的一次**。它的出現,解決了傳統檢測方法中的諸多難題。通過像素級定標技術和先進的半導體加工工藝,實現了圖像的精細分析和產品的高精度定位組裝。過殺率和誤判率的降低,提高了檢測效率和產品質量。這一系統的成功應用,不僅為企業帶來了經濟效益,還提升了我國在工業檢測領域的國際競爭力。同時,它也為其他領域的技術創新提供了借鑒和參考。寧波啟樸芯微的8英寸MEMS規模化加工服務ODM產線,是我國芯片產業發展的重要支撐。它的建立,標志著我國在芯片制造領域取得了重大突破。先進的設備和完善的設施,為芯片的研發和制造提供了有力的保障。服務200余家高校、科...
啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是工業檢測領域的一次重大創新。它的出現,解決了傳統檢測方法中的諸多難題,提高了檢測效率和產品質量。通過像素級定標技術和先進的半導體加工工藝,實現了圖像的精細分析和產品的高精度定位組裝。這一系統的成功應用,為我國工業檢測領域的發展帶來了新的機遇和挑戰。在未來,相信它將不斷發展和完善,為我國科技發展做出更大的貢獻。寧波啟樸芯微的8英寸MEMS規?;庸し誒DM產線,是我國芯片產業的重要標志。它的建立,標志著我國在芯片制造領域取得了重大進展。先進的設備和完善的設施,為芯片的研發和制造提供了有力的支持。服務眾多高校、科研院所和科創企業的成績,彰顯了其在...
啟樸芯微擁有先進的8英寸MEMS研發與微納加工服務中試線,實驗區內設置有激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機、電子束蒸鍍儀、鍵合機、濕法腐蝕系統、磁控濺射儀、原子層沉積設備、化學機械拋光機、自動涂膠顯影系統等整套技術設備,配套百級/萬級室內MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室,可以全支持8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級加工,生產過程中嚴格遵守企業內部生產定標準與客戶方需求,遵循生產員與質檢員登記對接制度,針對不同業務進度進行檢驗工作。在具備技術能力的基礎上,啟樸芯微持續助力廣大客戶的技術迭代與項目推進!無錫智能制造MEMS微納加工配套服務在市場拓展方面,啟樸芯微積極與高校、科研院所和相關行業企業開展合...
針對目前MEMS產品在研發、制造過程的實驗成本高、質量不穩定、適配性差等問題,啟樸芯微積極開展MEMS產品定制設計服務,以適應未來更廣的工業檢測應用前景。在光學測量MEMS中心器件設計中,團隊團隊成功突破光功能中心芯片定制化設計門檻,有效解決了產品模塊化、高精度定位組裝難題。迎合MEMS技術在生物醫療、農業糧食、交通工程等領域的關鍵基礎零部件、高級裝備設計制造需求,啟樸芯微自主掌握的MEMS晶圓級加工制造能力,實現以微小型光譜成像、柔性測量、特種視覺檢測為的模塊化系統自主研制,為本省高性能、規模化制造技術發展提供了有力保障。精耕細耘,以業為本,啟樸芯微為廣大客戶提供更加出色的傳感技術產品和服務...
響應國家發展高性能、規?;圃旒夹g的號召,啟樸芯微團隊以敏銳的洞察力和強烈的使命感,瞄準國家在關鍵基礎零部件、**裝備、集成電路等領域的重要需求。他們面向更***的工業檢測應用前景,自主研發了消高反光特種視覺檢測系統。這一系統猶如一位“精細的守護者”,通過像素級定標技術實現圖像精細分析,比較大限度避免強光干擾問題。在實際應用中,過殺率和誤判率分別低于2.0%、0.3%,極大提升了工業制造品檢測效率。在研發過程中,團隊成功突破光功能**芯片定制化設計門檻,融合了當今世界先進的微米級、納米級半導體加工工藝,有效解決了產品模塊化、高精度定位組裝難題。這一系列的技術突破,展現了啟樸芯微團隊的技術前沿性...
啟樸芯微擁有先進的8英寸MEMS研發與微納加工服務中試線,實驗區內設置有激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機、電子束蒸鍍儀、鍵合機、濕法腐蝕系統、磁控濺射儀、原子層沉積設備、化學機械拋光機、自動涂膠顯影系統等整套技術設備,配套百級/萬級室內MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室,可以全支持8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級加工,生產過程中嚴格遵守企業內部生產定標準與客戶方需求,遵循生產員與質檢員登記對接制度,針對不同業務進度進行檢驗工作。啟樸芯微,由市場人員負責對接客戶方前后需求,建立生產人員直接溝通渠道,保障客戶項目安全!株洲流量傳感器MEMS微納加工技術指導8英寸MEMS研發中試ODM產線,配套激光隱...
寧波啟樸芯微自主可控國內首條8英寸MEMS規?;庸し誒DM產線,實驗區內設置有激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機、電子束蒸鍍儀、鍵合機、濕法腐蝕系統、磁控濺射儀、原子層沉積設備、化學機械拋光機、自動涂膠顯影系統等整套技術設備,加工區域1000余平方米,具備**研發室、光學實驗室,配套百級/萬級室內MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室,可以***支持8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級MEMS技術研發和加工制造,自建立以來已服務200余家高校、科研院所和科創企業,并先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務型示范平臺、寧波市重點實驗室、浙江省重點實驗室等。啟樸芯微,將持續開展特種光學產品應用與推廣...
啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是工業檢測領域的一次重大突破。它的出現,解決了傳統檢測方法中的諸多難題。通過像素級定標技術和先進的半導體加工工藝,實現了圖像的精細分析和產品的高精度定位組裝。過殺率和誤判率的降低,提高了檢測效率和產品質量。這一系統的成功應用,標志著我國在工業檢測領域達到了國際先進水平。寧波啟樸芯微的8英寸MEMS規模化加工服務ODM產線,是我國芯片產業發展的重要支撐。它的建立,標志著我國在芯片制造領域取得了重大突破。先進的設備和完善的設施,為芯片的研發和制造提供了有力的保障。服務200余家高校、科研院所和科創企業的成績,彰顯了其在行業內的**地位。獲批浙江省ME...
啟樸芯微團隊研發的微小型光譜成像系統,以其獨特的技術優勢在科技領域嶄露頭角。它的工作原理雖然復雜,但卻蘊含著巨大的價值。在食品、藥品、精細零部件等加工環境中的應用,為產品的質量控制提供了有效的手段。同時,它的技術發展也為未來的科技研究提供了新的思路。隨著科技的不斷進步,相信這一系統將在更多的領域得到應用,為人類社會的發展做出更大的貢獻。而小型多光譜相機和消高反光特種視覺檢測系統,也同樣是團隊科技創新的杰出成果,它們在不同的領域發揮著重要作用,共同推動著我國科技事業的發展。寧波啟樸芯微系統技術有限公司,配備MEMS微納加工實驗室,激光隱切機、光刻機深硅刻蝕機等完善的技術設備。重慶智能傳感芯片ME...
啟樸芯微團隊自主研發的消高反光特種視覺檢測系統,是科技創新的典范。它的研發過程充滿了挑戰和機遇,團隊成員們憑借著堅定的信念和不懈的努力,成功突破了技術瓶頸。這一系統的應用,不僅提高了工業制造品的檢測效率,還推動了我國在工業檢測領域的技術進步。同時,它也為其他領域的技術創新提供了有益的借鑒。在未來,相信這一系統將在更多的領域得到應用,為我國科技發展做出更大的貢獻。走進寧波啟樸芯微的實驗區,仿佛置身于一個科技的神話世界。先進的設備閃爍著科技的光芒,科研人員們忙碌的身影充滿了活力和激情。8英寸MEMS規?;庸し誒DM產線在這里高效運轉,每一個環節都充滿了科技的力量。**研發室里的創新成果,光學實...
精耕細耘,以業為本。面對目前國內光學傳感領域實際需求,啟樸芯微同樣將展出由項目團隊自主研發的小型高光譜相機產品。該系統以光功能芯片為中心,通過對連續的物體光譜采集,以獲取反射、輻射光譜信息。多年以來技術團隊持續攻關,將結構輕便、精細度高、材料強度高、可定制性等技術優勢賦予光譜成像系統的研制工藝,形成了具有自主知識產權的光譜濾波芯片及其成像系統,同時通過自主掌握MEMS晶圓級加工制造能力,實現集成芯片和模塊化光譜成像相機的自主研制,可以為典型目標的探測識別提供了有力保障。寧波啟樸芯微系統技術有限公司自主可控8英寸MEMS研發中試ODM產線,具有MEMS制造優勢。天津流量傳感器MEMS微納加工配套...