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標準化PDMS芯片產線：公司自建的PDMS芯片產線采用全自動化模塑工藝，涵蓋原料混煉、真空脫泡、高溫固化（80℃/2 h）及等離子親水化處理等關鍵環節。產線配備高精度模具（公差±2 μm）與光學檢測系統，可批量生產單分子檢測芯片、液滴生成芯片等產品。例如，液滴...

MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測： 光電導取樣光電導取樣是基于光導天線(photoconductiveantenna,PCA)發射機理的逆過程發展起來的一種探測THz脈沖信號的探測技術。如要對THz脈沖信號進行探測，首先，需將一個未加偏置電壓的P...

目前微流控創新的許多應用都被報道用于惡性tumour的檢測和cure。據報道，apparatus微流控芯片用于研究特定身體（如大腦，肺，心臟，腎臟，腸道和皮膚）的生理過程。值得注意的是，微流控創新在之前的COVID 19大流行形勢中發揮著重要作用，特別是在cu...

基于微流控技術的生物醫學，應用微流控技術在藥物篩選、蛋白質組學、醫學診斷、生物傳感器和組織工程等方面有著很好的應用前景。微流控芯片技術在藥物開發、農藥殘留分析、檢測和食品安全傳感中發揮著重要作用，芯片也可以與其他各種設備集成，即比色計，熒光計和分光光度計。它有...

微流控芯片是微流控技術實現的主要平臺。其裝置特征主要是其容納流體的有效結構（通道、反應室和其它某些功能部件）至少在一個緯度上為微米級尺度。由于微米級的結構，流體在其中顯示和產生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發展出獨特的分析產生的性能。微流控芯片的特點及發展優...

MEMS制作工藝ICP深硅刻蝕： 在半導體制程中，單晶硅與多晶硅的刻蝕通常包括濕法刻蝕和干法刻蝕兩種方法各有優劣，各有特點。濕法刻蝕即利用特定的溶液與薄膜間所進行的化學反應來去除薄膜未被光刻膠掩膜覆蓋的部分，而達到刻蝕的目的。因為濕法刻蝕是利用化學反...

MEMS制作工藝ICP深硅刻蝕： 在半導體制程中，單晶硅與多晶硅的刻蝕通常包括濕法刻蝕和干法刻蝕兩種方法各有優劣，各有特點。濕法刻蝕即利用特定的溶液與薄膜間所進行的化學反應來去除薄膜未被光刻膠掩膜覆蓋的部分，而達到刻蝕的目的。因為濕法刻蝕是利用化學反...

微流控芯片的組成：微流控芯片由主體芯片、流體控制模塊、信號采集模塊和外部控制模塊組成。主體芯片是一個微通道網絡，由微流道、微閥門、微泵等構成；流體控制模塊負責流體的輸入、輸出和控制；信號采集模塊用于采集傳感器的信號；外部控制模塊用于控制芯片的操作。微流控芯片的...

MEMS制作工藝-微流控芯片： 微流控芯片技術(Microfluidics)是把生物、化學、醫學分析過程的樣品制備、反應、分離、檢測等基本操作單元集成到一塊微米尺度的芯片上，自動完成分析全過程。微流控芯片（microfluidicchip）是當前微全...

腎臟組織微流控器官芯片（KoC）：傳統方法或常規方法的局限性，例如細胞功能和生理學的變化或不適當，使得腎單位的病理生理學研究不準確且容易出錯。相比之下，與微流控技術的集成已被證明可以產生更好和更精確的結果。KoC基本上是通過將腎小管細胞與微流控芯片技術相結合來...

國內政策大力推動MEMS產業發展：國家政策大力支持傳感器發展，國內MEMS企業擁有好的發展環境。我國高度重視MEMS和傳感器技術發展，在2017年工信部出臺的《智能傳感器產業三年行動指南（2017-2019）》中，明確指出要著力突破硅基MEMS加工技術、MEM...

微流控芯片對自身抗體檢測：自身抗體可以在大多數自身免疫性疾病中發現，如系統性紅斑狼瘡、系統性硬化等，此外也有證據表明自身抗體與心血管疾病、慢性tumour等疾病相關，部分自身抗體具有致病性、疾病特異性和診斷性。在疾病早期或疾病前期，自身抗體濃度便會升高，因而自...

ThinXXS公司Thomas Stange博士認為，雖然原型設計價格高且有風險，微制造技術已不再是微流控產品商業化生產的主要障礙。對于他們公司所操縱的高價藥品測試和診斷市場，校準和工藝慣性才是主要的障礙。ThinXXS于6月推出了一款新的微芯片產品QPlat...

玻璃與硅片微流道精密加工：深圳市勃望初芯半導體科技有限公司依托深硅反應離子刻蝕（DRIE）技術，實現玻璃與硅片基材的高精度微流道加工。針對玻璃芯片，通過光刻掩膜與氫氟酸濕法刻蝕工藝，可制備深寬比達10:1、表面粗糙度低于50nm的微通道網絡，適用于高通量單細胞...

微流控芯片反應信號的收集和分析的難題：由于反應體系較小，故而只產生較低的信號強度，如何收集并分析芯片中產生的信號，是微流控芯片研究的另一項重點，因此，微流控芯片大多需要龐大的信號讀取和分析設備。近年來便攜性、自動化、敏感的新型微流控芯片讀取設備受到科研人員關注...

微針電極與組織液提取芯片的創新加工技術：微針電極作為生物檢測與給藥的前沿器件，需兼顧機械強度與生物相容性。公司采用干濕結合刻蝕工藝，在硅或硬質塑料基板上制備直徑10-100μm、高度500-1000μm的微針陣列，針尖曲率半徑控制在5μm以內，確保穿刺過程的低...

神經電子芯片的MEMS微納加工技術與臨床應用：神經電子芯片作為植入式醫療設備的**組件，對微型化、生物相容性及功能集成度提出了極高要求。公司依托0.35/0.18μm高壓工藝，成功開發多通道神經電刺激SoC芯片，可實現無線充電與通訊功能，將控制信號轉化為精細電...

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模，然后在陽模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽模剝離后就...

ThinXXS公司Thomas Stange博士認為，雖然原型設計價格高且有風險，微制造技術已不再是微流控產品商業化生產的主要障礙。對于他們公司所操縱的高價藥品測試和診斷市場，校準和工藝慣性才是主要的障礙。ThinXXS于6月推出了一款新的微芯片產品QPlat...

lab-on-chip 產生的應用目的是實現微全分析系統的目標－芯片實驗室，目前工作發展的重點應用領域是生命科學領域。當前（2006）研究現狀：創新多集中于分離、檢測體系方面；對芯片上如何引入實際樣品分析的諸多問題，如樣品引入、換樣、前處理等有關研究還十分薄弱...

數十微米級微流控芯片的多樣化結構設計與制造：針對10-100μm尺度的微流控芯片需求，公司提供包括蛇形流道、梯度混合腔、閥門陣列等多樣化結構的定制加工。顯微鏡下可見的復雜三維結構，通過光刻膠模塑、熱壓成型及激光切割等工藝實現，適用于細胞培養、酶聯免疫反應（EL...

lab-on-chip 產生的應用目的是實現微全分析系統的目標－芯片實驗室，目前工作發展的重點應用領域是生命科學領域。當前（2006）研究現狀：創新多集中于分離、檢測體系方面；對芯片上如何引入實際樣品分析的諸多問題，如樣品引入、換樣、前處理等有關研究還十分薄弱...

微流控與金屬片電極的鑲嵌工藝技術：微流控與金屬片電極的鑲嵌工藝實現了流體通道與固態電極的無縫集成，適用于電化學檢測、電滲流驅動等場景。加工過程中，首先在硅片或玻璃基板上制備微流道（深度50-200μm，寬度100-500μm），然后將預加工的金屬片電極（如不銹...

微機電系統是指集微型傳感器、執行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統，是一個智能系統。主要由傳感器、作動器和微能源三大部分組成。微機電系統具有以下幾個基本特點，微型化、智能化、多功能、高集成度。微機電系統。它是通過系統的微型化、集...

微流控芯片小批量生產的成本優化策略：針對研發階段與中小批量訂單需求，公司構建了“快速原型-工藝優化-小批量試產”的全流程成本控制體系。在快速原型階段，采用3D打印硅模（成本較傳統光刻降低60%）與手工鍵合，7個工作日內交付首版樣品；工藝優化階段通過DOE（實驗...

金屬流道PDMS芯片與PET基板的鍵合工藝：金屬流道PDMS芯片通過與帶有金屬結構的PET基板鍵合，實現柔性微流控芯片與剛性電路的集成，兼具流體處理與電信號控制功能。鍵合前，PDMS流道采用氧等離子體活化處理（功率100W，時間30秒），使表面羥基化；PET基...

腸道微流控芯片（GoC）：GoC系統模仿人類腸道的生理學。它解釋了腸道的主要功能，即消化、營養物質的吸收、腸神經的調節、體內廢物的排泄、以及伴隨微生物共生體的人體腸道的病理生理學。GoC模型主要用于精確復制具有所需微流控參數的腸道體內環境。Kim等人研究了當人...

MEMS制作工藝-太赫茲特性： 1.相干性由于它是由相千電流驅動的電偶極子振蕩產生，或又相千的激光脈沖通過非線性光學頻率差頻產生，因此有很好的相干性。THz的相干測量技術能夠直接測量電場振幅和相位，從而方便提取檢測樣品的折射率，吸收系數等。 2...

MEMS制作工藝柔性電子的常用材料： 碳納米管（CNT）由于其高的本征載流子遷移率，導電性和機械靈活性而成為用于柔性電子學的有前途的材料，既作為場效應晶體管（FET）中的溝道材料又作為透明電極。管狀碳基納米結構可以被設想成石墨烯卷成一個無縫的圓柱體，...

微流控芯片加工的跨尺度集成技術與系統整合;公司突破單一尺度加工限制，實現納米級至毫米級結構的跨尺度集成，構建功能復雜的微流控系統。在芯片實驗室（Lab-on-a-Chip）中，納米級表面紋理（粗糙度 Ra＜50nm）促進細胞外基質蛋白吸附，微米級流道（寬度 5...