在激光干涉儀引力波探測器中要盡可能地使用高激光功率,使用功率循環技術。可以有效地做到這一點,其基本的想法是把從干涉儀亮出來的光重新收集起來,再注入干涉儀中,進行循環利用。因為激光干涉儀引力波探測器的工作點選擇在暗紋條件,如果干涉儀內的光損耗很小,幾乎所有的入射光功率都會經載頻出,這是極大的浪費。在激光器和分光鏡之間放上一面鏡子,就能實現光能的回收。這面鏡子稱為功率循環鏡,它把這部分漏出的光與從激光器來的新鮮光混合,一起注入到干涉儀內,則干涉儀內的有效功率將增加。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測。精密儀器激光干涉儀哪個牌子好激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果...
激光干涉儀的使用方法:開機:接通電源打開電源開關,1分鐘后開始檢測。(因為剛開機激光器不穩定)。光路調整:旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點,顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測:調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加工固定的沉座)放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合,觀測顯示器是否出現干涉條紋,條紋越少精度越高。其干涉圖像與對準系統同步,無需切換,任何人都能簡單操作。高度調節結構選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸,可簡便的測量出曲率半徑。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量。蘇州機床設備激光干...
Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準槽,正對Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀初步調整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調整“整體”,再次對準反射鏡光靶。激光干涉儀,以激光波...
激光干涉儀在立式配置下,樣品的放置,夾持和調整更方便,提高了測試效率。立式架構整機占地更小;整個干涉腔,處于穩定的框架結構下,這樣對抗振要求更低,可省去昂貴和龐大的抗震平臺。立式配置對于某些特殊應用的特殊優勢,比如高精度曲率半徑測量,大口徑平面樣品的拼接測量。對于很多超高精度測量,要求樣品表面保持和工作狀態一致的條件下測量。工業現場測試環境下,立式配置下,樣品的夾持放置,更有效率,更加穩定。在某些應用場合,基于測試效率,樣品夾持,測試方式或精度的要求,立式配置會更有優勢。激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快的特點。杭州精密儀器激光干涉儀設備廠家激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機...
現代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨特的性質:單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量,普遍應用于各領域,已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性,自問世以來,已研制出多種激光干涉儀:單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量,具有非接觸、無損檢測的特點,已經在各個不同領域得到普遍的應用。激光干涉儀的注意事項:儀器應放置在干燥、清潔以...
激光干涉儀在數控機床檢定中的應用:隨著數控機床應用的普及,采用激光干涉儀對數控機床進行定位精度檢測已經成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量、誤差修正和控制,其中激光干涉儀應用比較多。與傳統的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時處理數據,為機床誤差修正提供依據,位置精度是機床的重要指標,目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等。雷尼紹XL-80激光干涉儀購買激光干涉儀的...
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件的配合下,激光干涉儀可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析。激光干涉儀的維護:儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內。成都工業激光干涉儀廠家鏡組的靈活使用:激...
為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測量系統,存在較大的零漂;同時由于空氣湍流,機床油霧,切削屑等會使光束發生偏移或波面扭曲,導致激光束強度發生變化,就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數。雙頻激光干涉儀的信號交流信號,因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。激光干涉儀受環境因素影響較大。上海大規模激光干涉儀激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大...
激光干涉儀的使用方法:開機:接通電源打開電源開關,1分鐘后開始檢測。(因為剛開機激光器不穩定)。光路調整:旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點,顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測:調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加工固定的沉座)放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合,觀測顯示器是否出現干涉條紋,條紋越少精度越高。其干涉圖像與對準系統同步,無需切換,任何人都能簡單操作。高度調節結構選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸,可簡便的測量出曲率半徑。激光干涉儀有哪些種類?遼寧通用激光干涉儀單頻激光干涉儀:從激光器發出的光束,經擴束...
激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。湖北通用激光干涉儀激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方...
激光干涉儀的應用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到蕞佳精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精...
激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀具有較高的精度和效率。定制激光干涉儀誠信服務激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔...
激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現較高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等。山西正規激光干涉儀激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器,隨...
激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。長沙精密測量激光干涉儀加工設計多功能激光干涉儀:主要適用于測量光脈沖、電脈沖以及磁脈沖的信號,如測量光強和電壓隨時間變化的波形...
激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發展趨勢,其特點是測量精度快、反應速度快、易于數字化測量。在測量中設計一個精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比,位移傳感器自動檢定系統與HP干涉儀對定位移進行測試對比,得出往復測試實驗結果。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。激光干涉儀的測量精度高。深圳坐標測量機激光干涉儀哪個牌子好雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具:研制低高度云臺支架。部分機床工作臺...
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意這些問題,無論是軟件抑或是電腦病毒,往往會影響到測量和使用。激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關?激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數均與激光波長有關,因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對的測量精度有著重要的影響。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。遼寧位移傳感器激光干涉儀加工生產激光干涉儀使用技巧;Z軸激光光路快速準直方法:用激光干涉儀...
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意使用的問題,無論是軟件矛盾、抑或是電腦病毒,往往會影響到測量和使用。激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀系統...
激光干涉儀是激光的應用之一,它以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。未來,激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統、光學系統等方面進行發展,從測量數據的可靠性、精確性,以及測量儀器的便攜性等,不斷改善激光干涉儀的各項性能。對激光干涉儀要小心輕放,避免強烈的沖擊震動。山東精密儀器激光干涉儀定制激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意使用的問題,無論是軟件矛盾、抑或是電腦病毒,往往會影響到測量和使用...
激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干涉儀:從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用。長沙激光干涉儀設備廠家激光干涉儀具有快速、高準確測量的優...
激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應用呢?可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準機床的回轉軸。內置國內外通用的標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線圖和數據報告。雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具。鄭州數控軸平面度激光干涉儀當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發,形成激光光束,通過放大激光...
多功能激光干涉儀,適用于測量光脈沖、電脈沖、磁脈沖和超快變電場以及超短光脈沖信號的變化。它含有超短脈沖發射光源、雙脈沖形成裝置、擴束器、微分時間延遲器、聚焦系統、干涉系統、轉換元件、干涉條紋和接收處理顯示系統、被測信號接口、同步裝置和補償元件。具有時間分辨率精度高、響應速度快、用途廣,可以實時測量的優點。多功能激光干涉儀由十一部分構成:超短脈沖發射光源1、雙脈沖形成裝置2、擴束器3、微分時間延遲器4、聚焦系統5、干涉系統6、轉換元件7、干涉條紋的接收處理顯示系統8、被測信號接口9、同步裝置10和補償元件11。其中,轉換元件7在干涉系統6的一個臂的光路A中,補償元件11是在干涉系統6的另一個臂的...
激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長有關,因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。總結起來,影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然,在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床。數控軸垂直度激光干涉儀供應廠...
激光干涉儀的使用方法:開機:接通電源打開電源開關,1分鐘后開始檢測。(因為剛開機激光器不穩定)。光路調整:旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點,顯示器上顯示完整的圓形圖像。透鏡面形檢測:調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加工固定的沉座)放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合,觀測顯示器是否出現干涉條紋,條紋越少精度越高。其干涉圖像與對準系統同步,無需切換,任何人都能簡單操作。高度調節結構選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸,可簡便的測量出曲率半徑。可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析。廣州數控軸幾何參量激光干涉儀銷售激光干涉儀有...
激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應用呢?可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準機床的回轉軸。內置國內外通用的標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線圖和數據報告。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。江蘇數控設備定位精度激光干涉儀供應商多功能激光干涉儀,適用于測量光脈沖、電脈沖、磁脈沖和超快變電場以及超短光脈沖信號的變化。它含有超短...
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件的配合下,激光干涉儀可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析。激光干涉儀是激光的應用之一。英國雷尼紹XL-80激光干涉儀廠家供應激光干涉儀是精度比較高的線性...
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意使用的問題,無論是軟件矛盾、抑或是電腦病毒,往往會影響到測量和使用。激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀要小...
激光干涉儀的應用:數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在,利用激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節,并給出按相關標準處理的統計結果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量。...
激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長有關,因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。總結起來,影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然,在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工...
現代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨特的性質:單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量,普遍應用于各領域,已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性,自問世以來,已研制出多種激光干涉儀:單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量,具有非接觸、無損檢測的特點,已經在各個不同領域得到普遍的應用。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。滄州激光干涉儀...
激光干涉儀發射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀發射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、防震、...