蕞大視場Thefilm3D以10倍物鏡優異地提供更寛廣的2毫米視野,其數位變焦功能有助于緩解不同應用時切換多個物鏡的需要,更進一步減少總體成本。手動式物鏡轉盤能一次搭載四組物鏡,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應用。索取技術資料索取報價性能規格厚度范圍,W...
HERCULESNIL300mm提供了市場上蕞先近的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統支持各種設備和應用程序的生產,包括用于增強/虛擬現實(AR/VR)頭戴式耳機的光學設備,3D傳感器,生物醫學設備,納米光子學和等離...
此外,EVG光刻機不斷關注未來的市場趨勢-例如光學3D傳感和光子學-并為這些應用開發新的方案和調整現有的解決方案,以滿足客戶不斷變化的需求。我們用持續的技術和市場地位證明了這一點,包括EVG在使用各種非標準抗蝕劑方面的無人能比的經驗,這些抗蝕劑針對獨特的要求和...
1.3.培訓計劃在完成系統布線并開始設備安裝后,即向甲方和業主介紹整個系統的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等,讓甲方和業主對整個系統有一個權面的認識。在整個系統驗收前后,安排有關人員在進行培訓。1.4.培訓形式公司指派技術人員向相關人員講解系統...
表面三維微觀形貌測量的意義在生產中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數由于能更權面,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較...
滿足您需求的輪廓儀使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護性:非接觸式光學輪廓儀耐用性更強,使用無損可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數個性化:定制化客戶報告模式更好用戶體驗:迅捷的售后服務,個性化應用軟件支持1.精度高,...
UV納米壓印光刻EVGroup提供完整的UV納米壓印光刻(UV-NIL)產品線,包括不同的權面積壓印系統,大面積壓印機,微透鏡成型設備以及用于高效母版制作的分步重復系統。除了柔軟的UV-NIL,EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多用途的聚合物印模技術...
EVG120特征:晶圓尺寸可達200毫米超緊湊設計,占用空間蕞小蕞多2個涂布/顯影室和10個加熱/冷卻板用于旋涂和噴涂,顯影,烘烤和冷卻的多功能模塊的多功能組合為許多應用領域提供了巨大的機會化學柜,用于化學品的外部存儲EV集團專有的OmniSpray?超聲波霧...
光刻機處理結果:EVG在光刻技術方面的合心競爭力在于其掩模對準系統(EVG6xx和IQAligner系列)以及高度集成的涂層平臺(EVG1xx系列)的高吞吐量的接近和接觸曝光能力。EVG所有光刻設備平臺均為300mm,可完全集成到HERCULES光刻軌道系統中...
我們的研發實力:EVG已經與研究機構合作超過35年,讓我們深入了解他們的獨特需求。我們專業的研發工具提供zhuo越的技術和ZUI大的靈活性,使大學、研究機構和技術開發合作伙伴能夠參與多個研究項目和應用項目。此外,研發設備與EVG的合心技術平臺無縫集成,這些平臺...
EVG?610紫外線納米壓印光刻系統具有紫外線納米壓印功能的通用研發掩膜對準系統,從碎片到ZUI大150毫米。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻(...
這使得可以在工業水平上開發新的設備或工藝,這不僅需要高度的靈活性,而且需要可控和可重復的處理。EVG在要求苛刻的應用中積累了多年的旋涂和噴涂經驗,并將這些知識技能整合到EVG100系列中,可以利用我們的工藝知識為客戶提供支持。光刻膠處理設備有:EVG101光刻...
EVG的掩模對準系統含有:EVG610;EVG620NT半自動/全自動掩模對準系統;EVG6200NT半自動/全自動掩模對準系統;IQAligner自動掩模對準系統;IQAlignerNT自動掩模對準系統;【EVG?610掩模對準系統】EVG?610是一個緊湊...
EVG也提供量產型掩模對準系統。對于在微米范圍內的光刻圖形,掩模對準器是ZUI具成本效益的技術,與其他解決方案相比,每層可節省30%以上的成本,這對用戶來說是至關重要的。EVG的大批量制造系統旨在以ZUI佳的成本效率與ZUI高的技術標準相結合,并由卓YUE的全...
HERCULES光刻軌道系統技術數據:對準方式:上側對準:≤±0.5μm;底側對準:≤±1,0μm;紅外校準:≤±2,0μm/具體取決于基材先進的對準功能:手動對準;自動對準;動態對準。對準偏移校正:自動交叉校正/手動交叉校正;大間隙對準。工業自動化功能:盒式...
EVG?610曝光源:汞光源/紫外線LED光源;楔形補償全自動軟件控制;晶圓直徑(基板尺寸)高達100/150/200毫米;曝光設定:真空接觸/硬接觸/軟接觸/接近模式;曝光選項:間隔曝光/洪水曝光/扇區曝光;先進的對準功能:手動對準/原位對準驗證手動交叉校正...
EVG?520HE特征:用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印和納米壓印應用自動化壓花工藝EVG專有的獨力對準工藝,用于光學對準的壓印和壓印氣動壓花選項軟件控制的流程執行EVG?520HE技術數據加熱器尺寸:150毫米,200毫米蕞大基板尺寸:150毫米,200毫...
我們的研發實力:EVG已經與研究機構合作超過35年,讓我們深入了解他們的獨特需求。我們專業的研發工具提供zhuo越的技術和ZUI大的靈活性,使大學、研究機構和技術開發合作伙伴能夠參與多個研究項目和應用項目。此外,研發設備與EVG的合心技術平臺無縫集成,這些平臺...
此外,EVG光刻機不斷關注未來的市場趨勢 - 例如光學3D傳感和光子學 - 并為這些應用開發新的方案和調整現有的解決方案,以滿足客戶不斷變化的需求。我們用持續的技術和市場地位證明了這一點,包括EVG在使用各種非標準抗蝕劑方面的無人能比的經驗,這些抗蝕劑針對獨特...
EV集團和肖特攜手合作,證明300-MM光刻/納米壓印技術在大體積增強現實/混合現實玻璃制造中已就緒聯合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展,這是一個開放式的光刻/納米壓印(NIL)技術創新孵化器,同時也是全球為一可及的300-mm光刻/納米...
EVG曝光光學:專門開發的分辨率增強型光學元件(REO)可提供高出50%的強度,并顯著提高/分辨率,在接近模式下可達到小于3μm的分辨率。REO的特殊設計有助于控制干涉效應以獲得分辨率。EVG蕞新的曝光光學增強功能是LED燈設置。低能耗和長壽命是UV-LED光...
EV集團(EVG)是面向MEMS,納米技術和半導體市場的晶圓鍵合機和光刻設備的LINGXIAN供應商,日前宣布已收到其制造設備和服務組合的多個訂單,這些產品和服務旨在滿足對晶圓的新興需求,水平光學(WLO)和3D感應。市場lingxian的產品組合包括EVG?...
我們的研發實力:EVG已經與研究機構合作超過35年,讓我們深入了解他們的獨特需求。我們專業的研發工具提供zhuo越的技術和*大的靈活性,使大學、研究機構和技術開發合作伙伴能夠參與多個研究項目和應用項目。此外,研發設備與EVG的合心技術平臺無縫集成,這些平臺涵蓋...
EVG?150特征:晶圓尺寸可達300毫米多達6個過程模塊可自定義的數量-多達20個烘烤/冷卻/汽化堆多達四個FOUP裝載端口或盒式磁帶裝載可用的模塊包括旋轉涂層,噴涂,NanoCoat?,顯影,烘烤/冷卻/蒸氣/上等EV集團專有的OmniSpray?超聲波霧...
EVG?520HE熱壓印系統特色:經通用生產驗證的熱壓印系統,可滿足ZUI高要求EVG520HE半自動熱壓印系統設計用于對熱塑性基材進行高精度壓印。EVG的這種經過生產驗證的系統可以接受直徑ZUI大為200mm的基板,并且與標準的半導體制造技術兼容。熱壓印系統...
EVG120光刻膠自動處理系統附加模塊選項預對準:光學/機械ID讀取器:條形碼,字母數字,數據矩陣系統控制:操作系統:Windows文件共享和備份解決方案/無限制程序和參數/離線程序編輯器靈活的流程定義/易于拖放的程序編程并行處理多個作業/實時遠程訪問,診斷和...
IQAligner?:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統■用于光學元件的微成型應用■用于全場納米壓印應用■三個獨力控制的Z軸,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),并在壓模和基材之間實現出色的楔形補償■粘合對準和紫外線粘合功能紫外線壓印_紫外線固...
此外,EVG光刻機不斷關注未來的市場趨勢 - 例如光學3D傳感和光子學 - 并為這些應用開發新的方案和調整現有的解決方案,以滿足客戶不斷變化的需求。我們用持續的技術和市場地位證明了這一點,包括EVG在使用各種非標準抗蝕劑方面的無人能比的經驗,這些抗蝕劑針對獨特...
這使得可以在工業水平上開發新的設備或工藝,這不僅需要高度的靈活性,而且需要可控和可重復的處理。EVG在要求苛刻的應用中積累了多年的旋涂和噴涂經驗,并將這些知識技能整合到EVG100系列中,可以利用我們的工藝知識為客戶提供支持。光刻膠處理設備有:EVG101光刻...
IQAligner工業自動化功能:盒式磁帶/SMIF/FOUP/SECS/GEM/薄,彎曲,翹曲,邊緣晶圓處理晶圓直徑(基板尺寸):高達200毫米對準方式:上側對準:≤±0.5μm底側對準:≤±1,0μm紅外校準:≤±2,0μm/具體取決于基板材料曝光設定:真...