這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經可逆計數器計數后,由電子計算機進行當量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件,還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。實時測量:可以實現實時監測和數據采集,適合動態測量。江蘇本地雙頻激光干涉儀維保
非接觸式測量:激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀,這對于測量易碎或精細的物體非常有用。多功能性:激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作。抗干擾能力強:雙頻激光干涉儀對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強。五、注意事項與維護注意事項:儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。在移動儀器時,應托住底座以防止導軌變形。光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放以防止發霉。江蘇本地雙頻激光干涉儀維保激光的出現在世界計量史上具有重大的意義。
另一方面,當可動棱鏡移動時,前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號,而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f,結果依然是一個交流信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。即使不做細分也可達到μm量級,細分后更可達到nm量級。應用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,配上適當的附件還可測量角度、直線度、平面度、振動距離及速度等等
邁克爾遜干涉儀,是1881年美國物理學家邁克爾遜和莫雷合作,為研究“以太”漂移而設計制造出來的精密光學儀器。它是利用分振幅法產生雙光束以實現干涉。通過調整該干涉儀,可以產生等厚干涉條紋,也可以產生等傾干涉條紋。主要用于長度和折射率的測量,若觀察到干涉條紋移動一條,便是M2的動臂移動量為λ/2,等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變λ/2。在近代物理和近代計量技術中,如在光譜線精細結構的研究和用光波標定標準米尺等實驗中都有著重要的應用。利用該儀器的原理,研制出多種**干涉儀。 [1]激光器產生兩束頻率相近的激光(如利用塞曼效應或聲光調制),頻率分別為f1和f2。
三角運算給出其中疊加后的振幅為可以看到, 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數, 這種幅度的變化有時候在空間表現為周期性的條紋。 這種條紋有時候叫做干涉條紋, 由于相位差變化引起的幅度變化有時也稱為條紋移動。分類干涉儀的分類有不同分法按照結構區分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類, 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀, 而Sagnac干涉儀, 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀(鐘錫華, 陳熙謀, 2002) [3]。測量精度不受空氣湍流的影響,無需預熱時間。工業園區購買雙頻激光干涉儀性價比
即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。江蘇本地雙頻激光干涉儀維保
激光的出現在世界計量史上具有重大的意義。用穩頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,干涉儀的測量范圍可以**的擴展;而且由于它的光束發散角小,能量集中,因而它產生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變為電訊號,并由計數器一個不漏的記錄下來,從而提高了測量速度和測量精度,比如說我國自行設計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀,可以在20分鐘之內把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢,精度達到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證。江蘇本地雙頻激光干涉儀維保
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