ITO蝕刻液影響蝕刻速率的因素:堿性氯化銅蝕刻液。溶液pH值的影響。蝕刻液的pH值應保持在8.0~8.8之間,當pH值降到8.0以下時,一方面對金屬抗蝕層不利;另一方面,蝕刻液中的銅不能被完全絡合成銅氨絡離子,溶液要出現沉淀,并在槽底形成泥狀沉淀,這些泥狀沉淀能在加熱器上結成硬皮,可能損壞加熱器,還會堵塞泵和噴嘴,給蝕刻造成困難。如果溶液pH值過高,蝕刻液中氨過飽和,游離氨釋放到大氣中,導致環境污染;同時,溶液的pH值增大也會增大側蝕的程度,從而影響蝕刻的精度。ITO顯影劑就是一種納米導光性能的材料合成的。江蘇TIO顯影藥劑廠家聯系電話
ITO導電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎上,利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫(俗稱ITO)膜加工制作成的。液晶顯示器特用ITO導電玻璃,還會在鍍ITO層之前,鍍上一層二氧化硅阻擋層,以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內液晶里擴散。檔次高的液晶顯示器特用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進行拋光處理,以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器特用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃,所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此,之后的液晶顯示器都會沿浮法方向,規律的出現波紋不平整情況。江蘇TIO蝕刻藥水現貨供應ITO酸性蝕刻液較容易再生與回收,從而減少污染。
ITO蝕刻液影響蝕刻速率的因素:酸性氯化銅蝕刻液。Cl-含量的影響。溶液中氯離子濃度與蝕刻速率有著密切的關系,當鹽酸濃度升高時,蝕刻時間減少。在含有6N的HCl溶液中蝕刻時間至少是在水溶液里的1/3,并且能夠提高溶銅量。但是,鹽酸濃度不可超過6N,高于6N鹽酸的揮發量大且對設備腐蝕,并且隨著酸濃度的增加,氯化銅的溶解度迅速降低。添加Cl-可以提高蝕刻速率的原因是:在氯化銅溶液中發生銅的蝕刻反應時,生成的Cu2Cl2不易溶于水,則在銅的表面形成一層氯化亞銅膜,這種膜能夠阻止反應的進一步進行。過量的Cl-能與Cu2Cl2絡合形成可溶性的絡離子(CuCl3)2-,從銅表面上溶解下來,從而提高了蝕刻速率。
影響ITO蝕刻液側蝕的因素很多,下面概述幾點:1)蝕刻方式:浸泡和鼓泡式蝕刻會造成較大的側蝕,潑濺和噴淋式蝕刻側蝕較小,尤以噴淋蝕刻效果較好。2)蝕刻液的種類:不同的蝕刻液化學組分不同,其蝕刻速率就不同,蝕刻系數也不同。例如:酸性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數通常為3,堿性氯化銅蝕刻液的蝕刻系數可達到4。近來的研究表明,以硝酸為基礎的蝕刻系統可以做到幾乎沒有側蝕,達到蝕刻的線條側壁接近垂直。這種蝕刻系統正有待于開發。ITO顯影液在電子行業的一般要求是超凈和高純。
ITO顯影液的用途:銀鹽膠片顯影用的藥液稱顯影液。用于黑白膠片顯影的顯影液稱黑白顯影液,用于彩色膠片顯影的稱彩色顯影液。顯影液的主要成分是顯影劑。為了完善性能,通常還加一些其他成分,諸如促進顯影的促進劑,防止顯影劑氧化的保護劑,防灰霧生成的灰霧阻止劑和防灰霧劑等。通過對各組分不同用量的調配可以得到不同性能的顯影液,如微粒顯影液、高反差顯影液等。工業上說的顯影劑,是針對半導體晶片而言。系列有顯影劑、光刻膠等。ITO顯影劑是一種X光無法穿透的藥劑。江蘇銅黑化現貨供應
ITO酸性蝕刻液一般用于多層印制板的內層電路圖形的制作或微波印制板陰板法直接蝕刻圖形的制作。江蘇TIO顯影藥劑廠家聯系電話
溫度對ITO酸性氯化銅蝕刻液速率的影響:隨著溫度的升高,蝕刻速率加快,但是溫度也不宜過高,一般控制在45~55℃范圍內。溫度太高會引起HCl過多地揮發,造成溶液組分比例失調。另外,如果蝕刻液溫度過高,某些抗蝕層會被損壞。溫度對ITO堿性氯化銅蝕刻液速率的影響:蝕刻速率與溫度有很大關系,蝕刻速率隨著溫度的升高而加快。蝕刻液溫度低于40℃,蝕刻速率很慢,而蝕刻速率過慢會增大側蝕量,影響蝕刻質量;溫度高于60℃,蝕刻速率明顯增大,但NH3的揮發量也很大程度增加,導致污染環境并使蝕刻液中化學組分比例失調。故溫度一般控制在45~55℃為宜。江蘇TIO顯影藥劑廠家聯系電話
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