在微電子潔凈車間中,靜電控制是非常重要的,因為靜電可能會對微電子器件和工藝造成損害。以下是合景凈化工程公司整理的微電子潔凈車間常見的靜電控制措施:微電子潔凈車間的設計和布局應該考慮到靜電控制。地板、墻壁和天花板應該使用靜電耗散材料,以防止靜電積累。此外,車間內應該設置合適的防靜電工作臺和操作區,以便員工在操作微電子器件時能夠有效地控制靜電。工作人員在進入微電子潔凈車間之前,應該進行防靜電培訓,以了解如何避免靜電的產生和如何正確地操作防靜電設備和工具。此外,工作人員也應該穿著防靜電工作服和鞋子,以防止靜電的產生。微電子器件在生產過程中可能會產生靜電,因此應該采取一些措施來控制這種情況。例如,可以使用防靜電包裝材料來儲存和運輸微電子器件,也可以使用防靜電噴涂材料來對器件進行表面處理。為了確保靜電控制的有效性,微電子潔凈車間應該定期進行靜電檢測和維護。這包括對車間內的靜電耗散材料進行檢測和維護,以及對防靜電設備和工具進行檢查和維修。 實驗室內的標識應采用反光材料,在緊急情況下能清晰可見,引導人員疏散。安慶PCR實驗室裝修公司
實驗室開間的大小設定,必須考慮到實驗室模塊、功能分配、振動標準和后期發展等,寬度應該根據實驗室模塊的大小有相應變化,既保證靈活性又符合常規門窗設計,且形成統一的實驗室輔助連接的整體。實驗室模塊內不應設置柱,以免妨礙實驗室的內部流通和空間使用。結構系統與空調系統應緊密協調,防止互相干擾。給排水系統應與實驗室模塊相符合,且應設計靈活,并預留部分設施以保證實驗室的可靠和持續運行,還要盡量避免在實驗室區域做穿墻處理。在污、廢水系統方面,應設置生活污水與生產廢水分流排水管網。生活污水處理達到中水回用標準后備用,再回用于綠化及水景補水。科研生產廢水采取局部處理與集中處理相結合的方式。對被毒菌污染廢水及放射性廢水,就近設置失活及衰減處理裝置,嚴格控制,處理合格后排放。地面雨水經雨水管道有組織匯集,用流槽卵石層過濾后儲存回用,余量及洪水就近排入明渠。 上海高校實驗室建設對于生物實驗室,要嚴格遵循生物安全等級標準,設置緩沖間與傳遞窗,防止生物污染擴散。
管道連接與固定是實驗室氣體管道工程中的關鍵技術環節。在管道連接方面,匯流排與終端部分多采用卡套連接方式,這種連接方式便于減壓器和閥門的維護管理。管對管連接以及管對閥連接常采用套焊和插接焊,以確保連接的牢固性與密封性。焊接過程中,管道應由惰性氣體(如氮氣)保護,防止焊接部位氧化,保證焊接質量。對于螺紋連接,必須使用密封帶進行密封,防止氣體泄漏。在管道固定方面,管道固定件(管夾)應采用耐高溫的金屬材料制作,要求堅固、輕巧、耐用。管道線路每隔一定距離設置管夾,一般為1-米,在彎管處及閥門兩端也應設固定件,以承受管道的重量和振動,確保管道在運行過程中保持穩定,避免因晃動或位移導致管道損壞或連接部位松動。
防水與防潮設計對實驗室的長期穩定運行和設備儀器保護意義重大。在防水方面,實驗室地面和墻面要做好防水處理。地面可采用防水卷材或防水涂料施工,形成連續防水層,防止水滲漏到下層空間。衛生間、水槽等用水區域周邊墻面也要進行防水處理,高度一般不低于米,避免因濺水導致墻面受潮損壞。排水管道連接處要密封嚴密,采用專業密封膠或橡膠密封圈,防止漏水。對于有特殊防水要求的實驗室,如微生物實驗室,地面和墻面可采用整體無縫的防水涂層,便于清潔消毒,同時杜絕細菌滋生空間。在防潮方面,實驗室要做好通風換氣,降低室內濕度。可安裝通風設備,如排風扇、新風系統等,保持空氣流通。對于濕度較大地區或對濕度敏感的實驗區域,可設置除濕設備,如轉輪除濕機、冷凍除濕機等,將室內濕度控制在合適范圍。儀器設備存放區域可放置干燥劑,吸附空氣中水分,防止儀器生銹、電子元件受潮損壞。墻面和天花板可采用防潮材料,如防潮石膏板、防水乳膠漆等,提高建筑結構防潮性能。 為通風櫥配備風速監測裝置,確保通風效果達標,及時排出有害氣體與煙霧。
實驗室通風系統設計需多方面考量。首先要保證實驗室的安全性,滿足一定數量的換氣次數。在確定通風柜數量時,通常需根據工藝要求和功能布置來選擇。例如一些化學合成實驗室,由于實驗過程中會產生大量有害氣體,需要較多的通風柜。在計算換氣次數時,不僅要按照通風柜**大開啟面積計算通風量,還應校核通風柜**小開啟面積時的通風量和換氣次數。資料和經驗表明,很多時候通風柜并非全部同時使用,若**小開啟面積時的換氣次數小于要求,則需增加綜合排風系統,以確保室內空氣質量始終達標。實驗室通風采用全新風系統,通風柜的排氣不在室內循環。因為實驗室要求相對其他輔助區域為負壓,所以實驗室的新風量設計為排風量的70%-80%。另20%-30%的新風送至實驗室輔助房間、辦公、管理用房內走道等,再由門窗縫隙補充到房間。采用環保型裝修材料,減少有害氣體釋放,保障實驗人員身體健康與實驗環境安全。安慶PCR實驗室裝修公司
實驗室的隔斷材料應具備良好的隔音、防火性能,如采用彩鋼板或玻璃隔斷,保證實驗環境。安慶PCR實驗室裝修公司
對于一些對潔凈度要求極高的實驗室,如半導體制造實驗室、生物制藥實驗室、醫院手術室等,潔凈度設計是**環節。首先要根據實驗需求確定潔凈等級,如ISO14644-1標準將潔凈室分為不同等級,百級、千級、萬級等,每個等級對空氣中懸浮粒子濃度有嚴格規定。為達到相應潔凈等級,要采用合理的氣流組織形式,如單向流、非單向流。單向流通過使空氣以均勻速度沿單一方向流動,將室內污染物迅速排出,適用于對潔凈度要求極高區域;非單向流則通過混合室內空氣,稀釋污染物濃度,滿足一般潔凈度要求。空氣凈化設備是保障潔凈度的關鍵,需安裝高效過濾器,如HEPA過濾器,能過濾掉空氣中微小粒子,包括細菌、病毒、塵埃等。高效過濾器要定期更換,確保過濾效果。實驗室裝修材料要選擇不易產塵、易清潔的材質,墻面可采用彩鋼板,表面光滑平整,不易積塵;地面采用防靜電環氧自流平地坪,既能防止靜電吸附灰塵,又便于清潔消毒。同時,要嚴格控制人員和物品進出,人員進入需更換潔凈服、鞋套,經過風淋室吹淋去除身上灰塵;物品進入需進行清潔、消毒處理,避免將污染物帶入潔凈實驗室,維持實驗環境的高潔凈度。 安慶PCR實驗室裝修公司
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