細胞培養芯片需根據不同細胞類型設計表面微結構,傳統光刻依賴掩模庫,難以滿足個性化需求。Polos 光刻機支持 STL 模型直接導入,某干細胞研究所在 24 小時內完成了神經干細胞三維培養支架的定制加工。其制造的微柱陣列間距可精確控制在 5-50μm,適配不同分化階段的細胞黏附需求。實驗顯示,使用該支架的神經細胞軸突生長速度提升 30%,為神經再生機制研究提供了高效工具,相關技術已授權給生物芯片企業實現量產。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。無掩模技術優勢:摒棄傳統掩模,圖案設計實時調整,研發成本直降 70%。四川BEAM-XL光刻機分辨率1.5微米
在構建肝臟芯片的血管化網絡時,某生物工程團隊使用 Polos 光刻機實現了跨尺度結構制備。其無掩模技術在 200μm 的主血管與 5μm 的blood capillary間precise銜接,血管內皮細胞貼壁率達 95%,較傳統光刻提升 30%。通過輸入 CT 掃描的真實肝臟血管數據,芯片成功模擬門靜脈與肝竇的血流梯度,使肝細胞功能維持時間從 7 天延長至 21 天。該技術為藥物肝毒性測試提供了接近體內環境的模型,某制藥公司使用后將候選藥物篩選周期縮短 40%,相關成果登上《Lab on a Chip》封面。湖北POLOSBEAM-XL光刻機光源波長405微米科研成果轉化:中科院利用同類技術制備跨尺度微盤陣列,研究細胞浸潤機制。
無掩模激光光刻:科研效率的revolution性提升!Polos-BESM系列采用無掩模激光直寫技術,用戶可通過軟件直接輸入任意圖案,省去傳統光刻中掩膜制備的高昂成本與時間。其405 nm紫外光源和亞微米分辨率(most小線寬0.8 m)支持5英寸晶圓的高精度加工,特別適合實驗室快速原型開發。閉環自動對焦系統(1秒完成)和半自動多層對準功能,remarkable提升微流體芯片和MEMS器件的研發效率62。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。
在微流體領域,Polos系列光刻機通過無掩模技術實現了復雜3D流道結構的快速成型。例如,中科院理化所利用類似技術制備跨尺度微盤陣列,研究細胞球浸潤行為,為組織工程提供了新型生物界面設計策略10。Polos設備的精度與靈活性可支持此類仿生結構的批量生產,推動醫療診斷芯片的研發。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。高頻元件驗證:成功開發射頻器件與IDC電容器,加速國產芯片產業鏈突破。
無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。無掩模技術優勢:摒棄傳統掩模,圖案實時調整,研發成本降低 70%,小批量生產經濟性突出。四川BEAM-XL光刻機分辨率1.5微米
工業4.0協同創新:與弗勞恩霍夫ILT合作優化激光能量分布,提升制造精度。四川BEAM-XL光刻機分辨率1.5微米
德國 Polos 光刻機系列以其緊湊的設計,在有限的空間內發揮著巨大作用。對于研究實驗室,尤其是空間資源緊張的高校和初創科研機構來說,設備的空間占用是重要考量因素。Polos 光刻機占用空間小的特點,使其能夠輕松融入各類實驗室環境。 盡管體積小巧,但它的性能卻毫不遜色。無掩模激光光刻技術保障了高精度的圖案制作,低成本的優勢降低了科研投入門檻。在小型實驗室中,科研人員使用 Polos 光刻機,在微流體、電子學等領域開展研究,成功取得多項成果。從微納結構制造到新型器件研發,Polos 光刻機證明了小空間也能蘊藏大能量,為科研創新提供有力支持。四川BEAM-XL光刻機分辨率1.5微米