某revolution生物醫學研究機構致力于開發快速、precise的疾病診斷技術。在研發一種用于早期tumor篩查的微流體診斷芯片時,采用了德國 Polos 光刻機。利用其無掩模激光光刻技術,科研團隊成功制造出擁有復雜微通道網絡的芯片。這些微通道能精確控制生物樣本與檢測試劑的混合及反應過程,極大提高了檢測的靈敏度和準確性。以往使用傳統光刻技術制備此類芯片,不only周期長,且精度難以保證。而 Polos 光刻機使制備周期縮短了近三分之一,助力該機構在tumor早期診斷研究上取得重大突破,相關成果已發表在國際authority醫學期刊上。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。POLOS 光刻機:桌面級設計,2-23μm 可調分辨率,兼容 4 英寸晶圓,微機電系統加工誤差 < 5μm。江蘇PSP光刻機可以自動聚焦波長
在微流體領域,Polos系列光刻機通過無掩模技術實現了復雜3D流道結構的快速成型。例如,中科院理化所利用類似技術制備跨尺度微盤陣列,研究細胞球浸潤行為,為組織工程提供了新型生物界面設計策略10。Polos設備的精度與靈活性可支持此類仿生結構的批量生產,推動醫療診斷芯片的研發。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。湖北桌面無掩模光刻機光源波長405微米科研成果轉化:中科院利用同類技術制備跨尺度微盤陣列,研究細胞浸潤機制。
形狀記憶合金、壓電陶瓷等智能材料的微結構加工需要高精度圖案定位。Polos 光刻機的亞微米級定位精度,幫助科研團隊在鎳鈦合金薄膜上刻制出復雜驅動電路,成功制備出微型可編程抓手。該抓手在 40℃溫場中可實現 0.1mm 行程的precise控制,抓取力達 50mN,較傳統微加工方法性能提升 50%。該技術被應用于微納操作機器人,在單細胞膜片鉗實驗中成功率從 40% 提升至 75%,為細胞級precise操作提供了關鍵工具。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。
在制備用于柔性顯示的納米壓印模板時,Polos 光刻機的亞微米級定位精度(±50nm)確保了圖案的均勻復制。某光電實驗室使用該設備,在石英基底上刻制出周期 100nm 的柱透鏡陣列,模板的圖案保真度達 99.8%,邊緣缺陷率低于 0.1%。基于此模板生產的柔性 OLED 背光模組,亮度均勻性提升至 98%,厚度減至 50μm,成功應用于下一代折疊屏手機,相關技術已授權給三家面板制造商。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和醫療公司提供了利用其功能的機會。德國工藝:精密制造基因,10 年以上使用壽命,維護成本低,設備殘值率達 60%。
SPS POLOS 以桌面化設計降低設備投入成本,無需掩膜制備費用。其光束引擎通過壓電驅動快速掃描,單次寫入區域達400 m,支持光刻膠如AZ5214E的高效曝光。研究案例顯示,該設備成功制備了間距3 m的微圖案陣列和叉指電容器,助力納米材料與柔性電子器件的快速原型驗證。無掩模光刻技術可以隨意進行納米級圖案化,無需使用速度慢且昂貴的光罩。這種便利對于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上沒有任何妥協的情況下,將該技術帶到了桌面上,進一步提升了其優勢。Polos-BESM 光刻機:無掩模激光技術,成本降低 50%,任意圖案輕松輸入,適配實驗室微納加工。江蘇PSP光刻機可以自動聚焦波長
生物界面創新:微納結構可控加工,為組織工程提供新型仿生材料解決方案。江蘇PSP光刻機可以自動聚焦波長
Polos光刻機與弗勞恩霍夫ILT的光束整形技術結合,可定制激光輪廓以優化能量分布,減少材料蒸發和飛濺,提升金屬3D打印效率7。這種跨領域技術融合為工業級微納制造(如光學元件封裝)提供新思路,推動智能制造向高精度、低能耗方向發展Polos系列broad兼容AZ、SU-8等光刻膠,通過優化曝光參數(如能量密度與聚焦深度)實現不同材料的高質量加工。例如,使用AZ5214E時,可調節光束強度以減少側壁粗糙度,提升微結構的功能性。這一特性使其在生物相容性器件(如仿生傳感器)中表現outstanding26。江蘇PSP光刻機可以自動聚焦波長