電子探針微區分析（EPMA）可對金屬材料進行微區成分和結構分析。它利用聚焦的高能電子束轟擊金屬樣品表面，激發樣品發出特征 X 射線、二次電子等信號。通過檢測特征 X 射線的波長和強度，能精確分析微區內元素的種類和含量，其空間分辨率可達微米級。同時，結合二次電子成像，可觀察微區的微觀形貌和組織結構。在金屬材料的失效分析中，EPMA 發揮著重要作用。例如，當金屬零部件出現局部腐蝕或斷裂時，通過 EPMA 對失效部位的微區進行分析，可確定腐蝕產物的成分、微區的元素分布以及組織結構變化，從而找出導致失效的根本原因，為改進材料設計和加工工藝提供有力依據，提高產品的質量和可靠性。

掃描開爾文探針力顯微鏡（SKPFM）可用于檢測金屬材料的表面電位分布，這對于研究材料的腐蝕傾向、表面電荷分布以及涂層完整性等具有重要意義。通過將一個微小的探針在金屬材料表面上方掃描，利用探針與表面之間的靜電相互作用，測量表面電位的變化。在金屬材料的腐蝕防護研究中，SKPFM 能夠檢測出表面不同區域的電位差異，從而判斷材料表面是否存在腐蝕活性點，評估涂層對金屬基體的防護效果。例如在海洋工程中，對于長期浸泡在海水中的金屬結構，利用 SKPFM 監測表面電位變化，可及時發現涂層破損或腐蝕隱患，采取相應的防護措施，延長金屬結構的使用壽命。