納米硬度檢測是深入探究金屬材料微觀力學性能的關鍵手段。借助原子力顯微鏡，能夠對金屬材料微小區域的硬度展開測量。原子力顯微鏡通過極細的探針與材料表面相互作用，利用微小的力來感知表面的特性變化。在金屬材料中，不同的微觀結構區域，如晶界、晶粒內部等，其硬度存在差異。通過納米硬度檢測，可清晰地分辨這些區域的硬度特性。例如在先進的半導體制造中，金屬互連材料的微觀性能對芯片的性能和可靠性至關重要。通過精確測量納米硬度，能確保金屬材料在極小尺度下具備良好的機械穩定性，保障電子器件在復雜工作環境下的正常運行，避免因微觀結構的力學性能不佳導致的電路故障或器件損壞。
掃描開爾文探針力顯微鏡（SKPFM）可用于檢測金屬材料的表面電位分布，這對于研究材料的腐蝕傾向、表面電荷分布以及涂層完整性等具有重要意義。通過將一個微小的探針在金屬材料表面上方掃描，利用探針與表面之間的靜電相互作用，測量表面電位的變化。在金屬材料的腐蝕防護研究中，SKPFM 能夠檢測出表面不同區域的電位差異，從而判斷材料表面是否存在腐蝕活性點，評估涂層對金屬基體的防護效果。例如在海洋工程中，對于長期浸泡在海水中的金屬結構，利用 SKPFM 監測表面電位變化，可及時發現涂層破損或腐蝕隱患，采取相應的防護措施，延長金屬結構的使用壽命。
