輝光放電質譜（GDMS）技術能夠對金屬材料中的痕量元素進行高靈敏度分析。在輝光放電離子源中，氬離子在電場作用下轟擊金屬樣品表面，使樣品原子濺射出來并離子化，然后通過質譜儀對離子進行質量分析，精確測定痕量元素的種類和含量，檢測限可達 ppb 級甚至更低。在半導體制造、航空航天等對材料純度要求極高的行業，GDMS 痕量元素分析至關重要。例如在半導體硅材料中，痕量雜質元素會嚴重影響半導體器件的性能，通過 GDMS 精確檢測硅材料中的痕量雜質，可嚴格控制材料質量，*半導體器件的高可靠性和高性能。在航空發動機高溫合金中，痕量元素對合金的高溫性能也有影響，GDMS 分析為合金成分優化提供了關鍵數據。

金屬材料在加工過程中，如鍛造、軋制、焊接等，會在表面產生殘余應力。殘余應力的存在可能導致材料變形、開裂，影響產品的質量和使用壽命。表面殘余應力 X 射線檢測利用 X 射線與金屬晶體的相互作用原理，當 X 射線照射到金屬材料表面時，會發生衍射現象，通過測量衍射峰的位移，可精確計算出材料表面的殘余應力大小和方向。這種檢測方法具有無損、快速、精度高的特點。在機械制造行業，對關鍵零部件進行表面殘余應力檢測尤為重要。例如在航空發動機葉片的制造過程中，嚴格控制葉片表面的殘余應力，能確保葉片在高速旋轉和高溫環境下的結構完整性，避免因殘余應力集中導致葉片斷裂，*航空發動機的安全可靠運行。