二次離子質譜(SIMS)能夠對金屬材料進行深度剖析,精確分析材料表面及內部不同深度處的元素組成和同位素分布。該技術通過用高能離子束轟擊金屬樣品表面,使表面原子濺射出來并離子化,然后通過質譜儀對二次離子進行分析。在半導體制造中,對于金屬互連材料,SIMS 可用于檢測金屬薄膜中的雜質分布以及金屬與半導體界面處的元素擴散情況,這對于提高半導體器件的性能和可靠性至關重要。在金屬材料的腐蝕研究中,SIMS 能夠分析腐蝕產物在材料表面和內部的分布,深入了解腐蝕機制,為開發更有效的腐蝕防護方法提供依據。
超聲波探傷是一種廣泛應用于金屬材料內部缺陷檢測的無損檢測技術。其原理是利用超聲波在金屬材料中傳播時,遇到缺陷(如裂紋、氣孔、夾雜物等)會發生反射、折射和散射的特性。探傷儀產生高頻超聲波,并通過探頭將其傳入金屬材料內部,然后接收反射回來的超聲波信號。根據信號的特征,如反射波的幅度、傳播時間等,判斷缺陷的位置、大小和形狀。超聲波探傷具有檢測靈敏度高、檢測速度快、對人體無害等優點。在航空航天領域,對金屬結構件進行超聲波探傷至關重要。例如飛機的機翼、機身等關鍵部件,在制造和使用過程中,通過定期的超聲波探傷檢測,能及時發現內部可能存在的微小缺陷,避免這些缺陷在飛機飛行過程中擴展導致嚴重的安全事故,保障飛機的飛行安全。