需結合工藝需求、生產規模、預算及環保要求,以下建議:
1.工藝類型根據鍍層種類選擇設備,例如鍍鉻需耐高溫鍍槽,鍍金需高精度整流器。前處理/后處理流程決定是否需要超聲波清洗機、甩干機等配。
2.生產規模中小批量:優先選擇模塊化設備(如可擴展的鍍槽、單機過濾機),降低初期投入。大規模量產:考慮自動化生產線(如機器人上下料、PLC集中控制系統),提升效率。
3.鍍層質量要求高精度產品(如電子元件):需配備在線檢測設備(如X射線測厚儀)、恒溫恒濕控制系統。普通五金件:可選基礎檢測設備(如磁性測厚儀)。
1.鍍槽材質:酸性選聚丙烯(PP),高溫強堿選聚四氟乙烯(PTFE)。尺寸:根據工件大小和產能計算槽體容積,預留10%-20%余量避免溢出。
2.整流器優先選擇高頻開關電源(節能30%以上),輸出電流需覆蓋最大負載的120%。復雜工藝(如脈沖電鍍)需配置可編程整流器。
3.過濾系統精密電鍍(如PCB):采用多級過濾(濾芯+超濾膜),精度≤1μm。常規電鍍:選用袋式過濾機,精度5-25μm即可。
4.環保設備廢氣處理:酸霧量大時選噴淋塔+活性炭吸附廢水處理:重金屬廢水需配備離子交換或反滲透(RO)系統 電鍍槽體的防腐內襯采用聚四氟乙烯(PTFE),耐受強酸堿與高溫,延長設備使用壽命 30% 以上。廣西真空電鍍設備
陽極氧化線的主要組成部分
1. 前處理系統
目的:表面油污、氧化皮和雜質,確保氧化膜與基體結合牢固。
工序:
除油-堿蝕 / 酸洗-多級水洗
2. 陽極氧化處理系統
氧化槽:
材質:耐酸堿的 PP、PVC 或玻璃鋼,內置陰極板(鉛板、不銹鋼)和導電裝置。
控制裝置:
電解液類型:
硫酸:常用,成本低,膜透明度高,適合裝飾性氧化(如鋁型材染色)。
草酸:膜硬度高、耐磨性強,用于硬質氧化(如航空零件)。
鉻酸:膜層柔軟、孔隙少,適合復雜工件或疲勞敏感零件(如汽車部件)。
3.后處理系統(功能拓展)
染色(可選):利用氧化膜的多孔性吸附有機染料或金屬鹽,實現顏色定制。
封孔(關鍵工序):
熱水封孔:使氧化膜水合生成 AlOnHO,堵塞孔隙,提升耐腐蝕性。
蒸汽封孔:高溫蒸汽加速水合,適合厚膜(如硬質氧化)。
化學封孔:鎳鹽 / 鈷鹽溶液,形成氫氧化物沉淀封孔
干燥:熱風循環或烘箱去除水分,防止封孔后白斑。
4.自動化控制系統
輸送設備:懸掛式鏈條、龍門行車或機械手,實現工件在各槽間的自動傳輸。
參數監控:PLC 或工業電腦實時監測電壓、電流、電解液濃度、溫度、pH 值,自動補加藥劑或調整工藝參數。 電子元器件電鍍設備生產過程掛具設計作為電鍍設備附件,采用導電性能優異的銅合金或不銹鋼,減少接觸電阻以保障電流均勻傳導。
陽極氧化線的特點
1.膜層與基體一體化:氧化膜為金屬自身氧化物,結合力遠超電鍍或噴涂的外來涂層,不易脫落。
2.功能可定制化:
防腐:致密膜層隔絕腐蝕介質,鋁陽極氧化膜耐鹽霧可達 500 小時以上。
耐磨:硬質陽極氧化膜(厚度 50~200μm)硬度接近陶瓷,適用于活塞、齒輪等機械部件。
裝飾:通過染色或電解著色實現多樣化外觀(如手機殼、建筑鋁型材)。
絕緣 / 散熱:高電阻率膜層用于電器絕緣,多孔結構可提升散熱效率(如 LED 燈具)。
3.環保特性:傳統鉻酸工藝含重金屬,需配套廢水處理;現代主流為硫酸陽極氧化 + 無鉻封孔,環保性提升。4.材料適應性:主要針對鋁、鎂、鈦等輕金屬,鋼鐵等材料因氧化膜疏松少用。
一、設備概述:
適用于電鍍鋅、鍍鎳、鍍錫、鍍鉻、鍍銅、鍍鎘等有色金屬;鍍金、鍍銀等貴重金屬的精密電鍍。
降低孔隙率,晶核的形成速度大于成長速度,促使晶核細化。
改善結合力,使鈍化膜擊穿,有利于基體與鍍層之間牢固的結合。
改善覆蓋能力和分散能力,高的陰極負電位使普通電鍍中鈍化的部位也能沉積,掛鍍生產線設備,減緩形態復雜零件的突出部位由于沉積離子過度消耗而帶來的“燒焦”“樹枝狀”沉積的缺陷,對于獲得一個給定特性鍍層的厚度可減少到原來1/3~1/2,節省原材料。
降低鍍層的內應力,改善晶格缺陷、雜質、空洞、瘤子等,容易得到無裂紋的鍍層,減少添加劑。
有利于獲得成份穩定的合金鍍層。
改善陽極的溶解,不需陽極活化劑。
改進鍍層的機械物理性能,如提高密度,降低表面電阻和體電阻,提高韌性、耐磨性、抗蝕性,而且可以控制鍍層硬度。 環保型電鍍設備的廢氣收集系統采用蜂窩狀活性炭吸附塔,深度處理酸霧廢氣,確保排放達標。
是一種于半導體制造中金屬化工藝的精密設備,主要用于在半導體晶圓、芯片或微型元件表面沉積均勻的金屬鍍層。其在于通過可控的電化學或化學鍍工藝,實現高精度、高一致性的金屬覆蓋,滿足集成電路封裝、先進封裝及微機電系統等領域的特定需求
與傳統滾鍍不同,半導體滾鍍更注重工藝潔凈度、鍍層精度及與半導體材料的兼容性。
1.金屬互連:在晶圓上形成銅導線。
2.凸塊制備:沉積錫、銅、金等材料,用于芯片與基板的電氣連接。
3.阻擋層/種子層鍍覆:鍍鈦、鉭等材料,防止金屬擴散并增強附著力。
1.電鍍槽:
材質:耐腐蝕材料,避免污染鍍液
鍍液循環系統:維持鍍液成分均勻,過濾顆粒雜質
2.旋轉載具:
晶圓固定裝置:真空吸附或機械夾持,確保晶圓平穩旋轉
轉速控制:通過伺服電機調節轉速,優化鍍層均勻性
3.陽極系統:
可溶性/不溶性陽極:銅、鉑等材料,依鍍層需求選擇
陽極位置調節:控制電場分布,減少邊緣效應
4.供液與噴淋系統:
多點噴淋頭:均勻分配鍍液至晶圓表面,避免氣泡滯留
流量控制:精確調節鍍液流速,匹配不同工藝需求
5.控制系統:
PLC/工控機:集成溫度、pH值、電流密度等參數監測與反饋。
配方管理:存儲不同鍍層的工藝參數 電鍍設備中的掛鍍裝置,通過掛具懸掛工件,適用于汽車零件等中大件,可實現鍍層均勻附著。廣西脈沖電鍍設備
滾鍍設備采用帶孔滾筒裝載小工件,旋轉翻滾中完成電鍍,高效處理螺絲、電子元件等批量小件。廣西真空電鍍設備
掛鍍工藝:晶圓固定在掛具上,浸入電鍍液,通過精細控制電流、電壓及溶液成分,在表面沉積均勻金屬層。
電鍍槽:耐腐蝕材質,配備溫控、循環過濾系統,維持鍍液均勻性
掛具與陽極:鈦或鉑金陽極,掛具設計適配晶圓尺寸,確保電場分布均勻
自動化傳輸:機械臂自動上下料,減少人工污染風險
控制系統:PLC/計算機實時調控電流密度、電鍍時間、pH值等參數
高均勻性:通過脈沖電鍍或水平電鍍技術(如ECP),減少邊緣效應,實現亞微米級鍍層均勻性
低缺陷率:鍍液雜質控制(<0.1ppm)與膜厚在線監測,降低孔洞、結節等缺陷
高產能:支持多晶圓并行處理
銅互連:在邏輯芯片中沉積多層銅導線,替代傳統鋁工藝以降低電阻
TSV填充:為3D封裝提供垂直導電通道,實現芯片堆疊
凸塊電鍍:在晶圓表面形成錫、銅柱凸塊,用于Flip-Chip鍵合
RDL(重布線層):沉積銅層實現芯片I/O端口的重新布局
半導體掛鍍設備通過精密電化學控制與自動化技術,解決了納米級金屬沉積的均勻性與可靠性難題,是先進芯片制造與封裝的裝備。其性能直接關聯芯片的導電性、散熱及良率 廣西真空電鍍設備