皮秒飛秒激光切割等技術,在超薄金屬加工領域大放異彩。皮秒、飛秒激光,是指激光脈沖持續時間分別達到皮秒(10 秒)、飛秒(10秒)量級。極短脈沖讓能量高度集中,作用于材料時,能在極小區域,實現精細的材料去除。在 0.01 - 0.08mm 超薄金屬加工中,皮秒飛秒激光切割精度極高,切縫寬度可低至微米級,熱影響區極小,能很大程度保持金屬原有性能,避免因熱變形影響產品質量。打孔時,可打出直徑微小且孔壁光滑的微孔。開槽、劃線同樣精細,可用于超薄金屬掩膜板切割,光學狹縫片,光闌片,叉指電極等方面應用。精度高,無毛刺,無變形。表面微結構激光加工方面,可在金屬表面雕刻出微納尺度的圖案、紋理。這些微結構能改變金屬表面的光學、力學、化學性能,表面耐磨性、耐腐蝕性,超疏水性等。透光縫切割入射狹縫片精細小孔光柵金屬遮光片皮秒飛秒激光加工。太倉石墨烯薄膜超快激光皮秒飛秒激光加工水濕潤結構加工
加工原理皮秒和飛秒激光具有極短脈沖寬度,能在瞬間將能量高度集中于薄陶瓷微小區域,使材料在極短時間內吸收能量,發生氣化、等離子體化等過程,實現材料去除,完成切割、打孔、開槽操作。這種超短脈沖作用極大減少了對周圍材料的熱影響區域。切割加工在薄陶瓷切割中,激光束**聚焦于陶瓷表面,沿著預設路徑掃描。憑借高能量密度,可快速切斷陶瓷,切縫狹窄且整齊,邊緣質量高,無明顯崩邊、裂紋等缺陷。能滿足各種復雜形狀切割需求,無論是精細圖案還是異形輪廓都能精確完成。打孔加工對于打孔,聚焦的激光束垂直作用于薄陶瓷表面,瞬間能量釋放使材料逐層去除,形成高精度小孔。孔徑可精細控制,從微米級到毫米級均可實現,孔壁光滑,圓度好,適用于需要微孔的應用場景。開槽加工開槽時,激光以特定功率和掃描速度在陶瓷表面往復掃描,開出寬度均勻、深度可控的槽。槽壁平整度高,能滿足電子封裝、微流控芯片等對開槽精度要求高的領域,確保與其他部件的精確配合。薄陶瓷皮秒飛秒激光加工技術以其獨特優勢,在現代制造業中為薄陶瓷加工提供了解決方案,助力相關產業提升產品性能與質量。太倉石墨烯薄膜超快激光皮秒飛秒激光加工水濕潤結構加工精細開槽狹縫片激光切割金屬光柵片不銹鋼光學窄縫片精密加工。
飛秒激光在切割薄膜時能體現出較高的精度。例如,在加工碳納米管薄膜微孔時,分析了激光參數對材料加工結果的影響規律。結果表明,波長為515nm的飛秒激光更適合用于碳納米管薄膜的切割,在推薦的工藝參數下可獲得良好的切割質量3。在對Tedlar復合材料-鋁薄膜(厚度為2μm)進行表面飛秒激光刻蝕時,當激光輸出功率為4.0W、光斑直徑為40μm和掃描速率為500mm/s的工藝條件下,鋁膜圖形激光刻蝕后尺寸精度及相對位置精度均優于10μm,滿足技術要求。并且研究發現,單位時間內極多數量飛秒激光脈沖的積累作用,使得鋁膜表面的作用區域溫度在極短時間內快速升高并超過鋁的熔點和氣化溫度,表面鋁膜**終被刻蝕去除。但當激光功率增大到5.5W時,界面處溫度達到了513.19K,超過了基底Tedlar材料的最高使用溫度,并在基底材料表面燒蝕產生點坑;當掃描速度從350mm/s增大至600mm/s時,出現的間斷點尺寸從1.2μm增大到2.7μm,造成激光刻蝕加工尺寸誤差高于10μm11。
熱影響區小是皮秒飛秒激光加工的***特點。在傳統激光加工中,較長的脈沖持續時間會使熱量有足夠時間向周圍材料擴散,導致較大范圍的熱影響區,可能引起材料性能改變。而皮秒飛秒激光脈沖寬度極短,在材料還未來得及將熱量傳導出去時,加工過程就已完成。如在加工光學晶體時,皮秒飛秒激光加工能有效避免因熱影響導致的晶體光學性能下降,確保光學元件的高質量生產。皮秒飛秒激光在微納加工領域表現***。在制造微納結構的電子器件時,皮秒激光能夠精確控制加工尺寸和形狀。通過精心設計激光參數,如脈沖能量、重復頻率等,可以在材料表面制造出納米級別的圖案和結構。例如,在半導體芯片制造中,利用皮秒激光加工技術制作納米級的電路圖案,有助于提高芯片的集成度和運算速度,推動電子技術不斷向更高性能發展。超白玻璃片切割劃線FTO導電玻璃打孔異形孔皮秒飛秒激光精密加工。
皮秒激光在微納光學元件的制造中發揮著關鍵作用。在制作衍射光學元件時,皮秒激光能夠精確地在材料表面刻蝕出微小的衍射結構,這些結構的尺寸和形狀精度直接影響光學元件的衍射效率和光學性能。通過皮秒激光加工制作的微納衍射光柵,具有高精度的周期性結構,可廣泛應用于光譜分析、光通信等領域,推動了光學技術向微型化、集成化方向發展。飛秒激光在制造超小型衛星的零部件方面具有獨特優勢。超小型衛星對零部件的尺寸、重量和性能要求極為嚴格,飛秒激光的高精度加工能力能夠制造出微小而復雜的結構,滿足超小型衛星的特殊需求。例如,利用飛秒激光加工制作衛星上的微傳感器、微執行器等關鍵部件,有助于提高衛星的性能和可靠性,同時降低衛星的重量和制造成本,促進衛星技術的發展和應用。磁性陶瓷片激光切割狹縫 氮化硼陶瓷基體精密開槽加工。太倉石墨烯薄膜超快激光皮秒飛秒激光加工水濕潤結構加工
紫外皮秒激光切割機用PET/PI/3M膠/電磁膜等0碳化。太倉石墨烯薄膜超快激光皮秒飛秒激光加工水濕潤結構加工
皮秒激光在微流控芯片的制造中發揮著重要作用。微流控芯片需要在微小的芯片內部構建復雜的微通道網絡,以實現對微小流體的精確操控。皮秒激光能夠在多種材料上精確地加工出微通道,通道的尺寸精度和表面質量直接影響微流控芯片的性能。通過皮秒激光加工制作的微流控芯片,可廣泛應用于生物醫學分析、化學合成、環境監測等領域,為實現微型化、集成化的分析檢測系統提供了關鍵的制造技術。飛秒激光在超硬材料加工方面具有獨特優勢。金剛石、立方氮化硼等超硬材料具有極高的硬度和耐磨性,傳統加工方法難以對其進行有效加工。飛秒激光的高能量密度和短脈沖特性能夠在超硬材料表面產生強烈的沖擊和熱效應,實現對超硬材料的去除和加工。在制造超硬材料刀具時,飛秒激光可用于對刀具表面進行微結構化處理,提高刀具的切削性能和使用壽命,為超硬材料在機械加工等領域的應用提供了新的加工手段。太倉石墨烯薄膜超快激光皮秒飛秒激光加工水濕潤結構加工