IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀
本產品是同類產品中的高精確度高品質臭氧分析儀，它目前主要用于半導體、芯片、CVD，ALD等領域。由于它優異的品質，使得它成為那些需要長時期、高穩定地提供連續測量和工藝控制的客戶的正確選擇，長期使用的所有者成本低。是監測氣體發生設備、氣柜、氣體輸送系統以及半導體設備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環境監測、職業衛生和科學研究。
主要特點：
微機控制 · 紫外吸收技術
可訂購多達5個取樣點 壓力和溫度補償能力
內置現場編程，可編次序 · 定光學系統
每通道4-20mA隔離輸出 · 每通道雙報警
主要技術規格
l 取樣點數量：1，3或5個內置式多通道閥
l 量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可選。
l 精度等級：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)，
l 分辨率高：0.001ppm(0-1PPM)，0.01ppm(0-10PPM)
l 流量：內置泵，流量可調（不大于2L/m）
l 輸出：模擬4～20mA，以及數字輸出
l CE認證；內部自；RS-232通訊接口
